TOPConSE设备采用硼硅玻璃（BSG）作为掺杂源，通过一系列工艺步骤，实现在硅片上形成高硼掺杂的P++层，并且优化了选择发射极的制备工艺。

硼硅玻璃（BSG）作为掺杂源：硼硅玻璃是一种含有高浓度硼的玻璃材料，它可以作为TOPCon太阳能电池的掺杂源。使用BSG作为掺杂源可以确保硼掺杂的准确性和均匀性，从而提高电池的性能和稳定性。

通过扩散炉推进高硼表面浓度的P++层：在TOPConSE设备的工艺流程中，首先使用扩散炉将硼硅玻璃中的硼元素扩散到硅片表面，形成高硼掺杂的P++层。它决定了硼掺杂浓度和分布。

不进行氧化：在形成P++层之后，通常需要进行氧化工艺以保护硅片表面。但是，在TOPConSE设备中，选择不进行氧化操作，而是依赖P++层作为激光掺杂源。这一决策简化了工艺流程并提高了生产效率。

激光掺杂和氧化工艺：在形成P++层之后，TOPConSE设备使用激光技术对硅片进行掺杂和选择性氧化。激光能量触发P++层中的硼原子，使其能够有效地掺入硅基体中。同时，激光还可以选择性地对特定区域进行氧化，形成隧穿氧化层和多晶硅层，这是TOPCon太阳能电池的重要结构。

解决硼掺浓度问题并简化选择发射极的制备工艺：通过使用BSG作为掺杂源和调整工艺参数。 设备采用单侧上下料，对接一个自动上下料系统。浙江TOPCon晶硅光伏推荐厂家

TOPCon激光设备（型号：HL-KZPCNS-HO），该激光系统用于选择性激光加工工艺。设备使用双轨设置，每条单轨配置相应的激光器标记系统，具备较高的产能与生产灵活性。此设备支持自动上下料系统，可满足客户现场AGV系统对接要求，花篮从AGV自动上料至激光设备的上料输送皮带，经自动取料机构从花篮取出硅片后，直接输送到后端的激光标记工位，然后通过CCD视觉定位后进行激光标记，标记完成后的硅片经由下料输送皮带输送到下料花篮，满料后再由输送皮带输送到现场对接的AGV。安徽TOPCon太阳能光伏推荐厂家利用 TOPCon SE 设备，提升光伏电池的发电量和质量。

海目星在光伏行业快速布局，已经将TOPCon激光掺杂技术应用于生产，目前已在客户端实现0.25%以上的效率增益。然而，随着TOPCon电池转换效率的不断提高，电池转换效率逐渐接近极限。为了突破这一瓶颈，海目星技术团队经过不断优化材料和工艺，成功研发出激光辅助快速烧结技术（LAS）。这一技术在TOPCon电池上取得了新的突破。根据验证结果显示，LAS技术可以有效提高电池转换效率，增益在0.2%以上。该技术在于利用激光辅助快速烧结对硅片正面的金属浆料进行处理，使硅片正面的浆料和硅片形成良好的欧姆接触。同时，通过荷电效应优化栅线电极、改善接触电阻，从而实现高效率太阳能光伏电池的输出，大幅度提升TOPCon电池的光电效率。在光伏行业的未来发展中，海目星将继续提前布局，针对TOPCon电池、HJT电池、BC电池等新技术进行产业化和创新研究。始终坚持以客户和行业需求为出发点，不断提升自身的激光应用和自动化整体水平。与行业同仁携手共进，共同迈入全球光伏智造升级的新机遇期。

设备安全防护

1）安全⻔：设备装有激光防护安全观察窗，并装有安全⻔保护开关。当安全⻔保护开关打开时，设备立即停止动作处于暂停状态，激光器处于关闭状态；当安全⻔保护开关关闭时，设备处于正常生产运行状态。

2）急停开关：当设备出现故障时，可按急停按钮，设备停止运行。

3）安全光闸：当安全⻔打开时，光路安全光闸关闭，激光无法到达加工台面。

4）安全光栅：与安全⻔一起组成双安全⻔控制，进一步提高设备安全等级。

5）所有电器、配电箱及控制箱的设计安装，符合国家电器技术的安全标准，所有机械安装符合国家有关规定的要求和精度等级。

6）设备主体支架有良好的紧固性，不会因为使用时间⻓或是碰撞导致设备松动。

7）电器装置及电线线缆布局合理规范、具有清晰的标识标记，各个线端上有标注线号并加套管，其电气控制系统具有良好的接地保护、短路、断路、漏电保护功能，并符合GB6829-2008《剩余电流动作保护电器的一般要求》、GB50169-2006《电气装置安装工程接地装置施工及验收规范》、GB50168-2006《电气装置安装工程电缆线路施工及验收规范》等标准的相关要求。 TOPCon激光直掺工艺在生产中操作简便，降低对操作人员的技能要求，便于快速投产。

花篮升降横移模组：升降模组：由带刹⻋装置的伺服电机配合螺纹丝杆，带动花篮上下运动，刹⻋装置可保证在掉电状态下花篮位置不会改变。横移模组：由电机驱动同步带，带动花篮平稳横向移动，用于空花篮在上下料之间转存。硅片输送模组：硅片输送模组皮带输送装置可平稳轻柔地将硅片输送至缓存机构和空花篮中。皮带输送模组由步进电机、聚氨酯定制皮带以及主从动轮组成，确保硅片在平皮带线上快速稳定运输。对中校正机构；由同步带带动两侧滚轮同时向中间运动，用来导正硅片的位置，保证其位置精度。采用TOPCon激光直掺设备，有效降低生产过程中的能耗，节约成本。光伏推荐厂家

整机采用工业 PC 控制、模块化柔性化编程设计。浙江TOPCon晶硅光伏推荐厂家

采用专业的高负压除尘过滤系统，确保切割粉尘抽除干净。

控制系统：

1）采用高性能计算机控制系统

2）控制软件由海目星自主研发，具有自主知识产权。

3）人机界面采用专业先进的图形用户界面，操作简单，界面友好，易于掌握。能根据需要完成轨迹编辑和修改，同时兼容DXF图形导入。

4）基本功能：具有密码验证登录、安全⻔保护、报警灯等必备安全功能，工艺参数，设备参数、操作和维护记录等存储功能，具备多级操作权限，可远程诊断处理。

5）具有声光三色报警指示灯，急停按钮。 浙江TOPCon晶硅光伏推荐厂家

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