压电纳米定位台的特点：压电纳米定位台内部采用无摩擦柔性铰链导向机构，一体化的结构设计。机构放大式驱动原理，内置高性能压电陶瓷，可实现高精度位移，定位精度可达纳米级。具有超高的导向精度，有高刚性、高负载、无摩擦等特点。压电纳米位移台典型应用压电纳米定位台凭借高稳定性、高分辨率等优良特性，广泛应用于半导体设备、显微成像、纳米技术、激光与光学、航天航空、生物医学、航天航空等领域。直推式的压电纳米位移台，其机械行程一般较小（50μm-300μm）；机械行程与控制精度往往不会跨数量级（当机械行程在微米级时，控制精度在纳米级），但有的应用场景需要使用在较大机械行程（1mm-3mm）的同时，保证较高的控制精度（1nm）；直推式的驱动方式就无法满足这种应用场景的需求，需要采用特殊的压电步进电机的设计，用多组垂直与水平向差分式压电陶瓷组，交替运动实现步进运动，就可以实现满足较高控制精度的大行程运动。 压电纳米定位台内部采用无摩擦柔性铰链导向机构，一体化的结构设计。高稳定度纳米电磁偏转平台

干涉物镜就是将显微镜物镜与干涉仪结合起来设计而成的一种特殊的显微镜物镜。它的原理是一束光通过分光镜后，将光直接射向样品表面和内置反光镜，从样品表面反射的光线和内置反射镜反射的光线再结合，就产生了干涉图案。干涉物镜可用在非接触光学压型测量设备上，通过此物镜可得到表面位图和表面测量参数等，也可用来检测表面粗糙度，测量精度非常高，在一个波长之内。在系统工作时，通过纳米移动台驱动待测样本表面在垂直方向上均匀、缓慢、连续运动，改变测量光路与参考光路的光程差。垂直扫描的过程中，相机依次获取一系列的白光干涉图，通过三维形貌恢复算法计算并定位出每个像素点的零光程差位置，即可得到相应的高度信息，从而恢复出待测表面的三维形貌。 纳米定位台多少钱纳米位移系统只有经过有效校准，才能成为真正的高精度定位系统。

纳米技术是21世纪重要的科学技术之一，它将引起一场新的工业发展浪潮。纳米技术是包括纳米电子、纳米材料、纳米生物、纳米机械、纳米制造、纳米测量、纳米物理纳米化学等诸多科学技术在内的一组技术的汇聚，其目的是研究、发展和加工结构尺寸小于100nm的材料、装置和系统，以获得具有所需功能和性能的产品。科技发达国家为抢占这一高新技术生长点、制高点，竞相将纳米技术列为21世纪战略性基础研究的优先项目。纳米测量技术是纳米技术的重要组成部分，对于纳米材料的发展。纳米器件和系统的研究与开发具有十分重要的意义。纳米测量技术的内涵涉及纳米尺度的评价、成份、微细结构和物性的纳米尺度的测量，它是在纳米尺度上研究材料和件的结构与性能、发现新现象、发展新方法、创造新技术的基础。纳米技术主要研究微观尺度的物体和现象，同时微纳米检测技术也主要指微米和纳米尺度和精度的检测技术。与广义的测量技术相比，纳采测量技术具有被测量的尺度小以及以非接触测量手段为主等主要特点。

压电驱动纳米定位平台是指以压电陶瓷驱动器作为驱动元件，以柔性铰链机构为支撑导向的微位移运动平台，是实现动态纳米控制不可或缺的关键部分。在微操作器，磁盘驱动、原子力显微镜、扫描隧道显微镜、纳米压印、纳米操纵等领域有着广泛的应用。该平台由压电陶瓷驱动器、柔性铰链微位移机构、微位移测量传感器和控制系统组成。适用范围：激光卫星通信、激光雷达、超分辨率光学成像、光学测量、显微成像、半导体检测、表面检测、高密度存储 压电纳米定位台凭借高稳定性、高分辨率等优良特性。

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“纳米定位”则是它的功能，它的移动端面可以产生纳米级精度的步进运动。高稳定度纳米电磁偏转平台

压电纳米位移台的命名是由三部分组成：“压电”指执行器种类，是以PZT压电陶瓷叠堆作为驱动源；“纳米”指精度等级，移动端面在PZT压电陶瓷的驱动下，可以实现纳米级精度的步进或连续运动；“位移系统”指运动方式，其实现的是X、Y、Z向一维或多维的平移运动。压电纳米位移系统是将PZT压电陶瓷与柔性铰链结构、金属壳体结构相结合，并配备有机械固定安装接口与负载安装接口。压电纳米位移系统可直接带动负载进行微位移调节，其运动面有螺纹孔用于安装固定负载。此外，压电纳米位移系统可集成于各类高精密装备，为其提供纳米级运动控制、光路控制等。 高稳定度纳米电磁偏转平台

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