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压电纳米整体移动台 北京微纳光科仪器供应

信息介绍 / Information introduction

压电纳米定位台具有移动面,是通过带有柔性铰链的机械结构将压电陶瓷产生的位移及出力等进行输出,分直驱与放大两种结构。以压电陶瓷作为驱动源,结合柔性铰链机构实现X轴、Z轴、XY轴、XZ轴、XYZ轴精密运动的压电平台,驱动形式包含压电陶瓷直驱机构式、放大机构式。具有体积小、无摩擦、响应速度快等特点,配置高精度传感器,可实现纳米级分辨率及定位精度且具有较高的可靠性,在精密定位领域中发挥着主要作用。近年来,由于光通信技术飞速发展,光纤连接器作为光通信比较基本的光源器件,所以对其质量及可靠性有了更严格的要求。为了提高光纤连接及光信号传输的效率,因此光纤端面的检测至关重要。为得到光纤端面的三维参数,通常根据光学干涉来进行测量。其中由压电陶瓷控制器控制的压电纳米定位台用于移动3D干涉仪系统中的干涉物镜或光纤连接器以产生位相移动,分5步位相移动,每移动一步后由CCD摄像头读取干涉条纹。 纳米定位台底座固定方法。压电纳米整体移动台

带宽:平台运动的振幅下降3dB的频率范围。它反映了平台可以跟随驱动信号的速度。漂移:位置随时间的变化,包括温度变化和其他环境的影响。漂移可能来自于机械系统和电子设备。摩擦。摩擦被定义为运动过程中接触面之间的阻力。因为他们使用弯曲,所以摩擦可能是恒定的或与速度有关。而Piezoconcept的纳米定位器是无摩擦的。滞后:前向扫描和后向扫描之间的定位误差。闭环控制是这个问题的理想解决方案,通过使用高分辨率硅传感器网络提供反馈信号来完成。正交性误差:两个定义的运动轴的角度偏移,使其相互之间成为正交。它可以被解释为串扰的一部分。阶跃响应时间:阶跃响应时间是纳米定位器从指令值的10%到指令值的90%所需的时间。阶跃响应时间反映了系统的动态特性。显微镜压电物镜定位器哪家专业在极端环境下研究纳米尺度下的物理学与材料学已成为学术研究的热点。

    频率响应频率响应本质上是设备在给定频率下响应输入信号的速度指示。压电系统对命令信号响应迅速,具有更高的谐振频率,产生更快的响应速率以及更高的稳定性和带宽。然而,应注意的是,纳米定位设备的谐振频率会受到施加负载的影响,负载的增加会降低谐振频率,从而降低纳米定位器的速度和精度。4.稳定和上升时间纳米定位系统能在短距离内进行高速位移。这意味着稳定时间是关键因素。这里的时间指的是,在随后拍摄图像或测量之前,运动速度降低到可接受水平时所需的时长。相比之下,上升时间是纳米定位平台在两个命令点之间移动的时间间隔;通常比稳定时间快得多,重要的是,上升时间不包括纳米定位平台稳定所需的时间。这两个因素都会影响产品准确性和可重复性,应包含在任何系统规范中。5.数字控制解决频率响应以及稳定和上升时间的挑战在很大程度上取决于系统控制器的正确选择。如今,我们的产品都是比较先进的数字设备,集成了精密电容式传感机制,能够在亚微米位置精度和高速下实现出色的控制。

纳米定位平台的高级数字控制至关重要。尤为明显的是,它可根据速度、分辨率和有效负载精确调整系统的性能特征,同时消除不必要的共振频率影响。使用定制的软件算法和陷波滤波器的组合来实现这一性能,后者能够在狭义的频率范围内衰减信号。因此,可以更大限度地减少接近共振频率的频率影响,有效地降低第二频率对动态定位的影响。算法模块工具箱可优化平台性能。速度和加速度控制算法能够使平台比单纯依赖位置控制的设备实现更高级的操作带宽驱动。虽然后者采用PID控制位置,但无法提供足够的精度来控制高速运动。如果需要在移动平台时进行控制以产生精确的波形或斜坡,则需要更多的控制。轨迹控制能够使平台轴快速移动到几纳米以内的精确位置,而不会引起平台共振。通过使用这些控制方法,可以实现超过共振频率50%的带宽,而经典PID控制的带宽只有10%左右。 压电纳米定位台配备有机械固定安装接口与负载安装接口。

压电纳米位移台断电时保持自锁,从而不消耗能量,不发热,可以很好的保持位置的机械稳定性。由压电马达驱动的纳米位移台一般把马达安装在位移台的基座上,而动子则是安装位移台滑动台面部分,压电驱动纳米位移台没有传统电磁马达(伺服或步进电机)驱动的位移台所需的丝杆或蜗轮蜗杆组部件,是一个直接驱动,稳定性更高,惯性更小,没有回程间隙和机械部件之间的空回,响应时间没有所延迟。压电陶瓷的形变量小,可以达到非常高的平台位移精度,可以说压电马达驱动的位移台是名副其实的纳米位移台。 压电纳米定位台的命名由它的驱动源及其功能相结合而来的。精密定位台哪家好

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压电驱动纳米定位平台是指以压电陶瓷驱动器作为驱动元件,以柔性铰链机构为支撑导向的微位移运动平台,是实现动态纳米控制不可或缺的关键部分。在微操作器,磁盘驱动、原子力显微镜、扫描隧道显微镜、纳米压印、纳米操纵等领域有着广泛的应用。该平台由压电陶瓷驱动器、柔性铰链微位移机构、微位移测量传感器和控制系统组成。适用范围:激光卫星通信、激光雷达、超分辨率光学成像、光学测量、显微成像、半导体检测、表面检测、高密度存储 压电纳米整体移动台

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