在双面研磨抛光机加工中，主要是利用安装在研磨头圆周上的干砂条，由涨开的机构将砂条沿着径向打开，是其压向工件的孔壁，与此同时，能够使研磨头做着选择运动或直线往复运动，会对孔进行低速的研磨以及摩擦抛光处理。旋转以及往复运动，油石上的磨粒会在孔的表面进行切削轨迹成交叉，因而能够获得工件表面粗糙度较小的工件加工表面。在径向进行加压的运动中，主要是油石进行进给运动，加压的压力会变大，进给量也会变大。在研磨中进行切削，油石的工件表面、压力以及被加工工件表面的三者之间变化情况有着一定关系，需要采取不同的加工方法。1、定压进给的双面研磨抛光机研磨过程中，福建五金精密磨平面加工，主要有说那个阶段，脱落阶段、破碎切削阶段以及堵塞切削阶段。在脱落阶段中，加工初始阶段的时候，由于孔的表面粗糙度、油石与孔壁之间的实际接触面积比较小，所接触的压力比较大，工件表面的粗糙表面会很快的被磨除，在接触压力过大的时候，磨粒会在切削力的作用下自行的出现脱落，露出新的磨粒。出现破碎切削阶段，在随着研磨进行过程中，孔的表面会变得很光滑，接触的面积也会逐渐的增大，福建五金精密磨平面加工，在单位面积的接触压力下降，福建五金精密磨平面加工，切削效率降低，同时切下的切削小且细，不是依靠新磨粒进行切削。 在研磨过程中破碎后仍保持一定的锋刃，可作为硬质合金材料研磨磨料优先。福建五金精密磨平面加工

    对外延片以Lapping的方式虽然加工品质较好。但是移除率太低，比较高也只能达到3um/min左右，如果全程使用Lapping的话，此加工就需耗时约2h，时间成本过高。目前的解决方式是在Lapping之前加入Grinding的制程，通过钻石砂轮与减薄机的配合来达到快速减薄的目的。，既能达到较高的移除率，又能修复Grinding制程留下的较深刮伤。一般来说切割过程中发生裂片都是由于Grinding制程中较深的刮伤没有去除，因此此时对钻石液的要求也比较高。除了裂片之外，有些芯片厂家为了增加芯片的亮度，在Lapping的制程之后还会在外延片背面镀铜，此时对Lapping之后的表面提出了更高的要求。虽然有些刮伤不会引起裂片，但是会影响背镀的效果。此时可以采用3um多晶钻石液或者更小的细微性来进行Lapping制程，以达到更好的表面品质。 福建五金精密磨平面加工随着单位压力的增大，研磨作用增加，研磨效率提高。

    什么是精密平面研磨抛光加工？原始的定义是指在一块很平坦的定盘上（如花岗石、铸铁…等，都叫LAP），把加工物放在上面，均匀地移动，使它因摩擦而产生一个很好的平面，它就是LAPPING，只是手工随著机械加工业的神速进展，就发展出单面LAPPING机及双面精磨机，这几年又配合手机加工行业蓬勃发展，又发展出很多专业用途的磨精度机器。抛光液的性能直接影响到抛光后工件的表面质量，是平面研磨抛光加工的关键要素之一。抛光液一般包括超细的固体磨粒(如纳米A120:及Si0:磨粒等)、表面活性剂以及氧化剂和稳定剂等几部分，其中固体磨粒产生切削作用，去除发生化学变化需要切除的部位，氧化剂产生化学腐蚀溶解作用，溶解切屑。在抛光过程中，抛光液中磨粒的种类、形状、大小、浓度、化学成分、PH值、粘度、流速和流动的途径都会对去除速度产生影响。对不同材料的工件进行抛光时，所需要抛光液的成份、PH值也不尽相同同。PH值影响工件的表面质量和去除率表现在对磨料的分解与溶解度、被抛表面刻蚀及氧化膜的形成、悬浮度(胶体稳定性)等方面，因此需要严格控制抛光液的PH值。

    平面研磨机分为很多种，按照所磨工件的大小分为小型，中型和大型。小型研磨机一般磨200mm以内的工件，中型研磨机一般磨600mm以内的工件，大型平面研磨机一般指能磨600-1000mm以上的大型金属板材。平面研磨机主要有真空主轴、砂轮架、滑座、工作台、床身、冷却液系统、液压传动系统以及电机，修正轮，加压气缸，铝底座，压重块等共同组成起来的。介绍一下中小型平面研磨机的结构和组成。平面研磨机的构造：(1)真空主轴，用于固定工件(2)砂轮架——安装砂轮并带动砂轮作高速旋转，砂轮架可沿滑座燕尾导轨作手动或液动横向间隙运动。(3)滑座——安装砂轮架并带动砂轮架沿立柱导轨作上下运动。(4)立柱——支承滑座及砂轮架。(5)工作台——安装工件并由液压系统驱动作往复直线运动。(6)床身——支承工作台、安装其它部件。(7)冷却液系统——向磨削区提供冷却液(皂化油)。(8)液压传动系统——其组成有：1)动力元件——为油泵，供给液压传动系统压力油;2)执行元件——为油缸，带动工作台等部件运动;3)控制元件——为各种阀，控制压力、速度、方向等;4)辅助元件——如油箱、压力表等。液压传动与机械传动相比具有传动平稳，能过载保护，可以较大范围实现无级调速等优点。(9)电机。

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    无级调速简称CV(continuouslyviable)变速，是通过两组可以改变直径的齿轮或者皮带轮组成，由链条或皮带连接，通过改变齿轮或皮带轮的直径来控制变速比平面抛光机是采用无级调速系统控制，那么其变速控制方法是怎样的呢?平面抛光机在进行研磨加工有三个阶段，即开始阶段、正式阶段和结束阶段，开始阶段磨具升速旋转，正式阶段磨具恒速旋转，结束阶段磨具降速旋转，其特征在于，在研磨加工开始阶段，人为控制磨具转速的加速度从零由慢到快地增大，当磨具转速升到正式研磨速度的一半时，加速度的变化出现一个拐点，控制磨具转速的加速度由最大值由快到慢地减小，直到磨具转速达到正式的研磨速度，磨具转速的加速度降为零。平面抛光机的主机采用调速电机驱动，配置大功率减速系统，软启动、软停止，运转平稳。通过上、下研磨盘、太阳轮、游星轮在加工时形成四个方向、速度相互协调的研磨运动，达到上下表面同时研磨的高效运作。平面抛光机是采用无级调速系统控制，可轻易调整出适合研磨各种部件的研磨速度。采用电—气比例阀闭环反馈压力控制，可调控压力装置。上盘设置缓降功能，有效的防止薄脆工件的破碎。通过一个时间继电器和一个研磨计数器。 平面度要求较高。采用车削加工方式，在切削条件理想状态下精度可保持在0.02左右。福建五金精密磨平面加工

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    研磨速度研磨速度是控制余量去除速度和研磨表面质量的重要工艺参数。图5为工件余量去除、研磨便面粗糙度与研磨速度的关系曲线。为了获得规定的表面粗糙度而必须耗费的研磨时间大于去除余量所需的时间，就应适当降低研磨速度，反之一样，而平面研磨时速度可参照表2选取研磨速度。研磨速度对余量去除和表面粗糙度的影响对研具的磨损影响很大。研磨速度过快时，研具急剧磨损，可能引起工件的热变形，直接影响加工精度。因此，为了避免研磨磨损过快，可根据实际情况，在表2基础上选取1/3~1/2范围进行研磨。研磨时间通常密封面在研磨前，通过其他加工方式获得预加工精度，研磨开始阶段，因研磨剂磨粒锋利，微切削作用强，零件研磨表面的几何形状误差和粗糙度较快得以纠正。随着研磨时间延长，磨粒钝化，微切削作用下降，不仅加工精度不能提高，反而因热量增加造成表面质量下降。所以，粗研时在规定工艺参数内，选用较粗的研磨剂、较高速度和研磨压力下进行研磨，以较快地消除几何形状误差和切去较大的加工余量，通常即可完成粗磨，以密封面全部研磨出为准。一般精研时间约为5min~10min，超过10min研磨效果不明显。抛光完成研磨后的密封面，便面采用酒精或清洗器密封面。

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