在真空泵选型前，我们必须弄清楚几个基础概念：真空，理论上是指容积里面不含有任何的物质。（现实中是不存在真正的真空的）通常把容器内气压低于正常大气压（101325 Pa）的都称之为真空状态。真空度表示处于真空状态下的气体稀簿程度，通常用压力值来表示。实际应用中，真空度，通常有真空和相对真空两种说法。从真空表所读得的数值称真空度。真空度数值是表示出系统压强实际数值低于大气压强的数值，从表上表示出来的数值又称为表压强，业界也称为极限相对压强，即： 真空度=大气压强-压强(大气压强一般取101325Pa，上海VP0925A真空泵，上海VP0925A真空泵，水环式真空泵极限压强3300Pa；旋片式真空泵极限压强约10Pa)。水环真空泵中气体压缩是等温的，上海VP0925A真空泵，可抽除易燃、易爆的气体。上海VP0925A真空泵

对于微型真空泵抽气端阻力的大小可以用仪器测定，把它与泵的技术参数"进气口允许较大阻力"Por值比较就可以知道选型是否合适。通常根据经验采用简便的方法确定，比如下述几种情况都属于负载较大(即泵的抽气端阻力较大)，只能在微型真空泵范围内选型：在泵的抽气端要接很长的管道，或管道弯曲点多、弯曲厉害甚至会阻塞封闭，或管道内孔很小(比如小于φ2毫米)；在管路上有节流阀、电磁阀、气路开关、过滤器等元件；泵抽气口与密闭容器连接，或该容器虽未密闭但进气量较小；泵抽气口与吸盘连接，用于吸附物体(如集成块、精密工件等)；⑤泵的抽气端与过滤容器相连，容器口放置滤网，用于加速液体过滤。上海VP0925A真空泵真空泵抽速的抽气量一般单位用L/S和m³/h来表示。

低温分子泵在真空镀膜装置上应用，既提高了生产效率又改善了膜层质量。随着我国半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展，分子泵应该是我国真空泵制造业发展的重点。首先，分子泵要从小到大建立完整的系列，并研究开发出各种复合分子泵、牵引泵和低温分子泵，以满足不同场合的需要。国外干泵市场的不断增长，其主要驱动来自于半导体行业、化学工业、薄膜产业的迅速发展。在日本，半导体行业已全部用干式真空泵代替油封式机械泵。

真空泵整体结构不匀称，泵的重心偏向电动机和齿轮箱一侧。折叠液环泵，虽然液环泵属于粗真空泵，但在中国的石油、化工、电力、轻纺、造纸、医药等领域仍然有着很大的市场。液环泵工作原理在国外，液环泵的销售额占全部真空泵市场的14%，只次于干泵，由于液环泵大部分是铸件，加工要求也不高，属劳动密集型产品，所以国产液环泵在价格上有竞争优势，关键是要改进设计，缩小体积，减轻重量，提高效率，降低能耗。折叠滑阀泵，由于滑阀泵比较耐用、可靠，国内外各种真空炉、镀膜机以及干燥、浸渍等设备都是用滑阀泵作为前级泵。液环式真空泵是带有多叶片的转子偏心装在泵壳内。

真空泵达到一定临界压力时，往往抽速会减小，这样前级泵的排气流量可能会小于主泵的排气流量，这种流量的不一致破坏了流量连续性的要求，必然会引起真空机组不能正常工作。但如在高低真空泵之间再连接一台中真空泵，便可起到承上启下的作用，流量连续，而且各泵皆可工作在较好的状态。罗茨泵能工作在中真空范围，是适合的，故又称罗茨增压泵，由于其压缩比不高，正好可连接几Pa至几百Pa的范围。当三级高真空机组进入较高的真空度时，由于主泵的排气流量明显减少，此时只靠一台较小的前级泵便可维持抽气的连续性，在实际运用中这是经常采用的方法，这样可减少机组的能耗。对于较大型的高真空应用设备，也可适当加强前级泵的预抽能力，进一步缩短抽气时间。上海VP0925A真空泵

往复真空泵活塞从右端向左端运动，此时吸气阀关闭。上海VP0925A真空泵

罗茨泵和油增压泵都可以作为中真空泵，分子增压泵有极高的压缩比，这除了使它能获得清洁真空外还具有优异的高真空性能，同时在中真空范围也有较强的抽气能力。这就使分子增压泵成为目前兼有中高真空性能的真空泵，所以只需要与低真空泵配合便能组成性能堪比三级机组的高真空机组。具体地讲由于分子增压泵耐压高，所以可使前级泵易于处于高流量状态；而分子增压泵吸入压力高，减缓了前级泵的预抽负担。这样可以使系统尽快地进入工作压力，保证了设备的使用效率。上海VP0925A真空泵

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