所述***衬套部的外径小于所述第二衬套部的外径，所述定位凸起形成在所述第二衬套部的外壁上，且所述第二衬套部与所述工艺盘转轴的安装孔相配合。推荐地，所述工艺盘组件还包括传动筒，天津PF 半导体与电子工程塑料零件定制加工24小时服务，所述驱动轴和所述驱动衬套设置在所述传动筒内，且所述驱动轴背离所述工艺盘转轴的一端与所述传动筒固定连接，所述传动筒用于带动所述驱动轴转动。推荐地，所述工艺盘组件还包括密封衬套，所述密封衬套环绕设置在所述传动筒的外壁上；所述工艺盘组件还包括挡环，所述传动筒的外壁上形成有挡环槽，所述挡环环绕所述传动筒设置在所述挡环槽中，所述挡环的外径大于所述密封衬套朝向所述工艺盘一端的内径。推荐地，所述工艺盘组件还包括调平件，所述传动筒的内壁上形成有内凸台结构，所述内凸台结构环绕传动筒的内壁设置，所述调平件与所述驱动轴固定连接，且沿轴线方向分别设置在所述内凸台结构的两侧，以将所述内凸台结构夹持在所述调平件与所述驱动轴之间，所述调平件能够调整其自身与所述传动筒之间的角度。推荐地，所述驱动轴与所述工艺盘转轴中至少一者的材料为奥氏体不锈钢，天津PF 半导体与电子工程塑料零件定制加工24小时服务。作为本实用新型的第二个方面，还提供一种半导体设备，天津PF 半导体与电子工程塑料零件定制加工24小时服务，包括工艺腔和工艺盘组件，其中。各种尼龙板及零件加工。天津PF 半导体与电子工程塑料零件定制加工24小时服务

    本实用新型涉及半导体设备领域，具体地，涉及一种半导体设备中的工艺盘组件，以及一种包括该工艺盘组件的半导体设备。背景技术：半导体设备通常由工艺腔和设置在工艺腔内的工艺盘组成，工艺盘用于承载待加工的工件，工件与工艺腔中通入的工艺气体发生化学反应或者由工艺气体形成沉积物沉积在工件表面，完成晶片的外延等半导体工艺。为了保证工艺盘上热量的均匀性，通常采用电机等设备驱动工艺盘旋转，目前的工艺盘驱动机构通常包括滑动轴、衬套和石英转轴。其中，石英转轴用于驱动工艺盘旋转，衬套套设在滑动轴上，石英转轴套设在衬套上，且滑动轴、衬套和石英转轴三者轴线重合，衬套通过贴合面之间的摩擦作用将滑动轴的扭矩传递至石英转轴上。然而，基于这种结构目前的半导体设备经常出现工件放偏、工艺效果不佳、工艺盘旋转卡顿等问题。技术实现要素：本实用新型旨在提供一种用于半导体设备的工艺盘组件，该工艺盘组件能够解决上述技术问题中的至少一者。为实现上述目的，作为本实用新型的***个方面，提供一种半导体设备中的工艺盘组件，包括工艺盘和工艺盘转轴，所述工艺盘转轴用于驱动所述工艺盘旋转，所述工艺盘组件还包括驱动轴和驱动衬套。上海HIPS半导体与电子工程塑料零件定制加工多厚熟练机加工能力，支持仿真系统NPI应用发展。

    为实现传动筒4的平稳传动，可选地，如图1至图3所示，工艺盘组件还包括传动架9，传动架9的一端与传动筒4背离波浪管6的一端固定连接，传动架9的另一端用于与电机12的输出轴连接，传动架9用于带动传动筒4转动。本实用新型对传动架9的结构不做具体限定，例如，如图3所示，传动架9包括一对传动法兰91和用于连接两传动法兰91的法兰连接件92。推荐地，下方的传动法兰91通过联轴器与电机12的输出轴连接。为保证所述工艺盘组件运动的流畅性，推荐地，驱动轴3、传动筒4和工艺盘转轴1中至少一者的材料为奥氏体不锈钢。本实用新型的发明人在研究中发现，现有的半导体设备出现旋转卡顿的问题是因为运动件之间的润滑油脂液化泄露，导致润滑效果变差。进过进一步研究后，发明人发现是运动件中的部分钢铁材料结构在高速旋转的过程中因电磁感应效应产生发热现象，其发热量过大引起润滑油脂液化。因此，本实用新型中推荐地选择驱动轴3、传动筒4和工艺盘转轴1的材料为奥氏体不锈钢。奥氏体不锈钢的材料与现有技术中运动件常采用的304不锈钢相比，电阻率更低，在相同转速下电磁感应发热量更小，从而避免了润滑油脂泄露，保证了所述工艺盘组件运动的流畅性。作为一种推荐的实施方式。

    塑胶材料项目投资立项申请报告.***章项目基本情况一、项目概况（一）项目名称塑胶材料项目（二）项目选址某某产业示范园区项目属于相关制造行业，投资项目对其生产工艺流程、设施布置等都有较为严格的标准化要求，为了更好地发挥其经济效益并综合考虑环境等多方面的因素，根据项目选址的一般原则和项目建设地的实际情况，该项目选址应遵循以下基本原则的要求。（三）项目用地规模项目总用地面积（折合约）。（四）项目用地控制指标该工程规划建筑系数，建筑容积率，建设区域绿化覆盖率，固定资产投资强度。（五）土建工程指标项目净用地面积，建筑物基底占地面积，总建筑面积，其中规划建设主体工程，项目规划绿化面积。（六）设备选型方案项目计划购置设备共计139台（套），设备购置费。（七）节能分析1、项目年用电量，折合。2、项目年总用水量，折合。3、“塑胶材料项目投资建设项目”，年用电量，年总用水量，项目年综合总耗能量（当量值）。达产年综合节能量，项目总节能率，能源利用效果良好。（八）环境保护项目符合某某产业示范园区发展规划，符合某某产业示范园区产业结构调整规划和国家的产业发展政策；对产生的各类污染物都采取了切实可行的治理措施。我们的材料经过大量的测试，能够在苛刻的化学条件下，甚至是特殊的热条件下使用。

    企业优势竭诚并努力为客户提供质量服务获得更多客户信赖专业现有设备CNC加工中心近百余台，具有专业的技术团队诚信公司实行现代化企业管理，导入ISO2000生产管理系统创新追求***、迅速改善、诚信经营；追求优品质、高效率的服务宗旨走进博杰利恩携手共创美好的明天WalkintoBojielien企业文化荣誉资质设备展示公司成立于2010年,主要以生产电脑、手机、医疗器械等设备的金属、塑胶零件及配套产品加工、自动化配件的加工、昆山CNC加工、上海CNC加工、苏州CNC加工以及各类治具的设计和加工。公司实行现代化企业管理，导入ISO2000生产管理系统，现有设备CNC加工中心近百余台，具有专业的技术团队，竭诚并努力为客户提供质量服务。CNC精密零件加工有哪些优势在机械加工行业中，昆山CNC加工精度往往在很大程度上决定了加工零件的质...、定制、型材分类及用途，我们位于上海这个国际大都市，基本什么都不缺，只有你想不到，没有上海做不...简单描述下铝制品2018-07-03铝制品是采用铝合金为主要原料加工而成的生活用品、工业用品的统称。铝，是...致敬经典：2017版诺基亚7610概念设计2018-07-03T之家7月24日消息，昆山CNC加工随着复刻版诺基亚3310的成功。也有高分子聚合物材料、耐热材料。安徽HIPS半导体与电子工程塑料零件定制加工加工件

且在整个价值链中，具备可追溯性；天津PF 半导体与电子工程塑料零件定制加工24小时服务

    驱动衬套2包括***衬套部210和第二衬套部220，从而在驱动轴3与驱动衬套2连接时，驱动连接部310与***衬套部210中的驱动通孔211匹配；在驱动衬套2与工艺盘转轴1连接时，工艺盘转轴1的安装孔与第二衬套部220的侧面相配合。即，本实用新型的实施例中工艺盘转轴1与驱动衬套2之间的配合面以及驱动衬套2与驱动轴3之间的配合面是轴向错开的。如图10、图12所示，三者连接在一起后，工艺盘转轴1与驱动衬套2的***衬套部210之间存在空隙，驱动轴3与驱动衬套2的第二衬套部220之间存在空隙，从而在三者进行装配时，驱动通孔211过紧时***衬套部210可以向其外侧的缝隙膨胀，安装孔过紧时第二衬套部220可以向其内侧的缝隙适当地形变，从而避免了工艺盘转轴1、驱动衬套2和驱动轴3安装时因结构过于紧凑导致零件没有任何形变空间，并**终被过高的应力破坏的现象发生。此外，本实用新型的实施例中设置工艺盘转轴1、驱动衬套2和驱动轴3两两之间配合面轴向错开，还能够在工艺盘组件进行启动或急停等变速运动时，利用驱动衬套2自身的弹性，使驱动衬套2的顶面与底面之间发生微小的相对转动，以缓冲过高的扭矩对传动件造成的损伤。为提高工艺盘转轴1、驱动衬套2与驱动轴3之间的同轴度。天津PF 半导体与电子工程塑料零件定制加工24小时服务

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