*需考虑二者侧面的平整度以及二者宽度的匹配程度，无需对二者的轴向长度进行过于精确的加工，从而降低了工艺成本。为简化驱动轴3的制造工艺，推荐地，如图5所示，浙江PE半导体与电子工程塑料零件定制加工管壳，驱动连接部310的侧面包括至少一个定位平面311，以使得驱动连接部310的横截面为非圆形。在本实用新型的实施例中，通过在驱动连接部310的侧面加工出至少一个定位平面311来形成非圆形的横截面，简化了驱动轴3的结构和制造工艺，浙江PE半导体与电子工程塑料零件定制加工管壳，降低了驱动轴3的制造成本。为提高驱动轴3和驱动衬套2上应力分布的均匀性，推荐地，如图5所示，浙江PE半导体与电子工程塑料零件定制加工管壳，驱动连接部310的侧面包括两个定位平面311，驱动连接部310的侧面还包括两个圆柱面312，两个定位平面311平行设置，两个圆柱面312分别连接两个定位平面311的两侧边，以形成驱动连接部310的完整侧面。需要说明的是，在本推荐实施方式中，驱动连接部310在加工前为圆柱体，定位平面311直接在圆柱体的侧面切割得到，未被切割到的即是图5中所示的圆柱面312。本实用新型的发明人发现，使用*由多个平面构成的异形孔进行传动时，棱线处容易产生较高的应力，导致驱动轴3和驱动衬套2的使用寿命下降。因此，本实用新型的实施例中设置两圆柱面312衔接在定位平面311之间。我们材料加工完更平整、不易变形。浙江PE半导体与电子工程塑料零件定制加工管壳

    以避免轴承座10与工艺腔碰撞导致传送组件精度下降。为进一步提高传动筒4的稳定性，避免外界物质进入轴承座10，推荐地，如图3、图4所示，工艺盘组件还包括密封衬套5，密封衬套5环绕设置在传动筒4的外壁上。需要说明的是，密封衬套5与轴承座之间为固定连接关系，如图4所示，推荐地，密封衬套5的内壁上还设置有用于容纳密封圈的密封圈槽，在传动筒4转动时，与轴承座固定连接的密封衬套5持续地与传动筒4摩擦。为提高密封衬套5的耐磨性能，推荐地，密封衬套5为不锈钢材料。在实验研究中，发明人还发现，现有的半导体设备工艺效果不佳的原因在于，个别轴套类部件上的密封件在传动机构的运动过程中会逐渐沿轴向移动，偏离预定位置，造成半导体设备的气密性下降。为解决上述技术问题，推荐地，如图3、图4、图13所示，工艺盘组件还包括挡环7，传动筒4的外壁上形成有挡环槽43，挡环7环绕传动筒4设置在挡环槽43中，挡环7的外径大于密封衬套5朝向工艺盘01一端的内径，以使得密封衬套5无法沿轴向运动通过挡环槽43所在的位置。在本实用新型的实施例中，传动筒4的外壁上形成有挡环槽43，并在挡环槽43中设置挡环7，从而可以阻止密封衬套5轴向偏离，进而避免了避免外界物质进入轴承座10。江苏FRP半导体与电子工程塑料零件定制加工要求并其生产过程依照优良制造标准（GMP）控制。

    附图标记说明01：工艺盘1：工艺盘转轴2：驱动衬套210：***衬套部211：驱动通孔211a：避让槽220：第二衬套部221：轴通孔222：定位凸起3：驱动轴310：驱动连接部320：驱动轴体部311：定位平面312：圆柱面4：传动筒41：内凸台结构42：外凸台结构43：挡环槽5：密封衬套6：波浪管7：挡环8：调平件9：传动架91：传动法兰92：法兰连接件10：轴承座101：上法兰102：下法兰11：升降机构12：电机13：定位块具体实施方式以下结合附图对本实用新型的具体实施方式进行详细说明。应当理解的是，此处所描述的具体实施方式*用于说明和解释本实用新型，并不用于限制本实用新型。本实用新型的发明人在实验中发现，工件在工艺盘上出现摆放位置偏移的问题是工艺盘与相应的旋转传动组件之间出现滑移导致的。发明人在进行过大量实验研究后发现，在现有的半导体设备中，为了实现向工艺盘传递扭矩，通常采用圆柱面摩擦传动的方式带动，而正是该摩擦传动方式使得传动件的摩擦面长时间发生相对转动，导致配合面发生摩擦磨损，进而影响了对位精度。因此，为解决上述技术问题，作为本实用新型的***个方面，提供一种半导体设备中的工艺盘组件，如图1至3所示，工艺盘组件包括工艺盘01和工艺盘转轴1。

    本实用新型涉及半导体设备领域，具体地，涉及一种半导体设备中的工艺盘组件，以及一种包括该工艺盘组件的半导体设备。背景技术：半导体设备通常由工艺腔和设置在工艺腔内的工艺盘组成，工艺盘用于承载待加工的工件，工件与工艺腔中通入的工艺气体发生化学反应或者由工艺气体形成沉积物沉积在工件表面，完成晶片的外延等半导体工艺。为了保证工艺盘上热量的均匀性，通常采用电机等设备驱动工艺盘旋转，目前的工艺盘驱动机构通常包括滑动轴、衬套和石英转轴。其中，石英转轴用于驱动工艺盘旋转，衬套套设在滑动轴上，石英转轴套设在衬套上，且滑动轴、衬套和石英转轴三者轴线重合，衬套通过贴合面之间的摩擦作用将滑动轴的扭矩传递至石英转轴上。然而，基于这种结构目前的半导体设备经常出现工件放偏、工艺效果不佳、工艺盘旋转卡顿等问题。技术实现要素：本实用新型旨在提供一种用于半导体设备的工艺盘组件，该工艺盘组件能够解决上述技术问题中的至少一者。为实现上述目的，作为本实用新型的***个方面，提供一种半导体设备中的工艺盘组件，包括工艺盘和工艺盘转轴，所述工艺盘转轴用于驱动所述工艺盘旋转，所述工艺盘组件还包括驱动轴和驱动衬套。提高生产率及产品寿命。

    内凸台的中心形成有沿厚度方向贯穿内凸台的凸台孔，调平件8的中心形成有沿厚度方向贯穿调平件8的调平孔，驱动轴3上形成有调平螺纹孔，中心螺钉依次穿过调平孔、凸台孔和调平螺纹孔，以将调平件8和驱动轴3固定在内凸台上，调平件8能够调整中心螺钉与传动筒4之间的角度。本实用新型对调平件8与驱动轴3如何夹持内凸台结构41不做具体限定，例如，如图3所示，调平件8中形成有多个沿轴向延伸的调平通道，调平通道中设置有调平球，调平件8还包括多个调平螺钉，调平螺钉与调平球一一对应，调平螺钉能够推动调平球沿调平通道移动；调平件8中还形成有多个径向延伸的楔形通道，楔形通道与调平通道一一对应，且楔形通道沿径向贯穿调平件8的调平通道外侧的外壁，楔形通道中设置有楔形块，楔形块能够在调平球移动至楔形通道位置时被调平球顶入楔形通道，与传动筒4的内壁接触。在发现工艺盘转轴1或工艺盘01的角度出现偏差时，将工艺盘01偏高一侧对应的调平螺钉拧入对应的调平通道，该调平螺钉顶部推动对应的调平球靠近楔形通道，调平球将对应的楔形块推出楔形通道，从而增加调平件8与传动筒4在该侧内壁之间的距离，进而使工艺盘转轴1的轴线向该侧转动，实现将工艺盘01偏高的一侧调低。耐热聚合物可用作耐高温薄膜绝缘材料、耐高温纤维、耐高温涂料、 耐高温粘合剂等。江苏FRP半导体与电子工程塑料零件定制加工要求

各种尼龙板及零件加工。浙江PE半导体与电子工程塑料零件定制加工管壳

    所述在真空条件、700℃～900℃下进行加热处理的步骤中，加热处理的时间为1h～4h。在其中一个实施例中，所述将所述造粒粉成型，得到***预制坯的步骤包括：将所述造粒粉先进行模压成型，成型压力为70mpa～170mpa，保压时间为10s～90s，然后进行等静压成型，成型压力为200mpa～400mpa，保压时间为60s～180s，得到所述***预制坯。在其中一个实施例中，所述将所述造粒粉成型，得到***预制坯的步骤之后，所述将所述***预制坯与第二碳源混合加热的步骤之前，还包括：将所述***预制坯以℃/min～℃/min的速率升温至900℃，保温2h～4h，进行排胶；及/或，所述将所述***预制坯与第二碳源混合加热，使所述第二碳源呈液态，然后加压至3mpa～7mpa，得到第二预制坯的步骤之后，所述将所述第二预制坯和硅粉混合的步骤之前，还包括：将所述第二预制坯以℃/min～℃/min的速率升温至900℃，保温2h～4h，进行排胶。在其中一个实施例中，所述***碳源和所述第二碳源相互独立地选自石墨、炭黑、石油焦、糠醛、聚碳硅烷、沥青、酚醛树脂及环氧树脂中的至少一种；及/或。浙江PE半导体与电子工程塑料零件定制加工管壳

免责声明： 本页面所展现的信息及其他相关推荐信息，均来源于其对应的用户，本网对此不承担任何保证责任。如涉及作品内容、 版权和其他问题，请及时与本网联系，我们将核实后进行删除，本网站对此声明具有最终解释权。