微针是针尖的直径为几十到几百纳米, 高度在30um以上的针状结构，江苏高晶微针设计。微针在生物医学领域有比较广泛的应用。采用微针阵列给药或者采样, 不仅具有微量、无痛的特点, 而且可以使生化检验的精度、可靠性和效率大幅度提高。微针和MEMS中的微流体、微分析系统相结合, 可以实现生化检测分析的微型化和集成化。有关微针的制备方法和应用研究的报道越来越多，江苏高晶微针设计, 随着近年来相关研究的进一步深入, 又有一些新型的微针制备方法被陆续开发, 尤其在应用研究方面取得了长足进步，江苏高晶微针设计。为了提高微针的生物相容性，可以在表面沉积一层金属。江苏高晶微针设计

硅基微针是采用单晶硅材料加工制备而成，采用半导体光刻、刻蚀等加工工艺，顶端直径可以达到几十纳米。硅微针一般长度在80～300um，主要穿刺表皮层，达到皮肤的真皮层，但不会刺到皮下组织，不会接触到皮下组织的末梢神经，所以使用过程一般无疼痛感，并且不会有出血现象。硅微针也用来作为注塑模具，通过翻模注塑工艺，制备可溶性微针产品。目前我司生产的微针分为低晶微针、中晶微针、高晶微针和超高晶微针，其中低晶微针针高范围在100um~120um，针间距为400um；中晶微针针高范围在120um~180um，针间距为400um；高晶微针针高范围在180um~250um，针间距为650um；超高晶微针针高范围在250um~300um，针间距为650um；芯片尺寸可根据客户要求定制。浙江低晶微针晶圆微针可以通过深反应离子刻蚀制作。

采用各向同性和各向异性蚀刻工艺制备硅微针,但对于蚀刻工艺的控制仍是待解决的关键问题。Dizon使用离子研磨方法制作了实心针尖的硅微观结构。后来 Henry 使用反应离子蚀刻方法制作了具有高纵横比的硅固体微针阵列。Chun制备了二氧化硅微针, 其使用深度反应离子蚀刻、各向异性刻蚀以及硅玻璃键合三种技术,达到了精确控制生物物质注入细胞的目的。Chen利用 p+型硅的各向异性自停腐蚀技术,制成了集成微流体管和微电极的硅微针,监测了小猪在不同化学刺激下神经反应信号的变化。

制备硅微针的工艺流程如下。首先通过湿法氧化在硅片两面形成二氧化硅层, 对正面的 二氧化硅层进行图形化; 接着进行深反应离子刻蚀, 当硅片被刻穿时,二氧化硅层阻止了刻蚀, 刻蚀只能向其他方向进行, 从而形成半球形结构,这就是冲孔效应; 再对硅片进行氧化, 去除底部的二氧化硅层, 后面刻蚀硅片得到微针阵列。该法充分利用硅深 刻蚀能力及硅和二氧化硅两种材料间的选择性加工得到批量化中空硅微针阵列, 剩余的硅成为二氧化硅微针的支撑体,并可进一步与微流体系统键合集成。微针也可用来制作微电极。

通常情况来看,固体实心微针的优势在于可以刺穿细胞膜,增加皮肤的渗透性,以此来达到将疫苗释放、渗透、传输至血液或细胞中的目的。到目前为止,在市面上常见的固体微针大多数是由硅材料和金属材料制作而成。虽然金属微针力学强度较好,但是由于这种材料的自身生物相容性比较差,如果在使用过程中不小心折断,残留在皮肤里,就会使人体皮肤产生的损伤。由聚合物制成的微针则与常规的固体微针不同,它不仅具有足够的力学强度来刺穿人体皮肤角质层,同时还拥有优越的生物相容性。微针目前的应用主要集中在美容方面。江苏高晶微针设计

微针可以用作透皮给药的辅助工具。江苏高晶微针设计

涂层微针是由涂有药物溶液或分散体的实心微针组成。微针被药物溶液或药物分散层包围。随后药物从该层中溶解, 药物被快速释放。可以装载的药物量取决于针尖涂层的厚度和针的尺寸。近年来,涂层微针逐步替代了固体微针,它们的制备材料与制备方法相似,但涂层微针的针尖表面被药物溶液包围,使用时药物可随微针进入皮肤后快速释放。因此其操作步骤更为简单,具有长时间保持药物活性的优势。因此涂层微针、空心微针和可溶性微针在给药领域的应用较为普遍。江苏高晶微针设计

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