由于硅加工技术的快速发展，早期微针的加工技术研究更多地围绕硅材料展开。MEMS微针是直径为几十微米、长度在100μm以上的针状结构，上海固体微针加工制造。因为微针的尺寸小，在刺入皮肤中不易触及痛觉神经而产生痛疼感，上海固体微针加工制造，因此用这种MEMS微针来给药具有无痛，上海固体微针加工制造、可以自我给药操作的技术优势。由于微针需要具有良好的力学性能和生物相容性才能满足其应用的安全性要求，所以微针的选材、结构设计及其相应的制备技术直接关系到微针的功效。MEMS微针从问世以来由于其显而易见的技术优势引起了研究人员的关注。微针既需要有足够的机械强度穿透皮肤，又需要制造微针的材料有一定的安全性。上海固体微针加工制造

利用化学溶液湿法腐蚀的微针可以降低微针的制作成本，制作过程中不需要大型的刻蚀设备，在普通实验室就能够完成工艺制作。但腐蚀过程比较难以精确控制，并且需要进行实时观察，而且不确定因素还较多。溶液湿法腐蚀对硅片的晶向、腐蚀的温度、腐蚀的时间和掩膜形状的要求都是非常严格的。由于掩膜形状和腐蚀晶向的选择性，溶液湿法腐蚀形成的微针形状像山峰，所以比干法刻蚀形成的微针短，直径比较大，所以单位面积的微针数量比干法刻蚀的微针数量少。北京中晶微针定制微针作用在皮肤上时仍有一定的风险性。

采用各向同性和各向异性蚀刻工艺制备硅微针,但对于蚀刻工艺的控制仍是待解决的关键问题。Dizon使用离子研磨方法制作了实心针尖的硅微观结构。后来 Henry 使用反应离子蚀刻方法制作了具有高纵横比的硅固体微针阵列。Chun制备了二氧化硅微针, 其使用深度反应离子蚀刻、各向异性刻蚀以及硅玻璃键合三种技术,达到了精确控制生物物质注入细胞的目的。Chen利用 p+型硅的各向异性自停腐蚀技术,制成了集成微流体管和微电极的硅微针,监测了小猪在不同化学刺激下神经反应信号的变化。

随着人们物质生活水平的提高，大家对生命健康越来越重视，医疗领域得到了空前发展，微针阵列器件应运而生，为生物医学领域注入了新的活力，形成了新的安全高效 的治方法，具有以下优点：一是微针阵列具有尺寸小，生物相容性好等特点。可以应用于传统医疗器械不能触及的狭小空间；二是微针阵列的接触面积小，可以为患者提供更好的运动自由度，给使用者带来更小的损伤；三是微针的精度高，能够准确控制刺入皮肤的深度，可应用于精密医疗仪器。微针针对不同的应用场景有不同的材质。

硅材料具有良好的机电、传感特性, 资源丰富,且硅微细加工技术已成熟, 所以硅微针受到人们的格外青睐。硅微针主要利用各向同性和各向异性刻蚀工艺来制备,刻蚀过程的控制一直是一个难点。N. Wilke 利用计算机软件对刻蚀进行了模拟, 优化了微针制作工艺。Takay uki Shibata利用深层反应离子刻蚀的冲孔效应制作出了顶部为半球形的空心SiO2微针阵列，利用硅材料来制备微针, 可充分发挥硅微加工工艺成熟的优势, 然而硅微针所存在的易断裂而滞留于皮肤导致的工作有效性与安全性不高的问题, 直接影响了硅材料在微针上的应用。微针可进行局部位置的给药。江苏硅微针研发

初始的微针制备过程复杂且容易断裂。上海固体微针加工制造

通常情况来看,固体实心微针的优势在于可以刺穿细胞膜,增加皮肤的渗透性,以此来达到将疫苗释放、渗透、传输至血液或细胞中的目的。到目前为止,在市面上常见的固体微针大多数是由硅材料和金属材料制作而成。虽然金属微针力学强度较好,但是由于这种材料的自身生物相容性比较差,如果在使用过程中不小心折断,残留在皮肤里,就会使人体皮肤产生的损伤。由聚合物制成的微针则与常规的固体微针不同,它不仅具有足够的力学强度来刺穿人体皮肤角质层,同时还拥有优越的生物相容性。上海固体微针加工制造

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