微针在医学、美容等领域的应用和更多类型微针的不断涌现,促使着这项科技的进一步发展。从原来的单一空心微针到现如今的空心微针阵列,使用起来也更为高效。微针阵列不仅结构坚固,而且针尖锋利、作用面积大,因此更加便于穿刺且无疼痛感，江苏空心微针晶圆。微针的制作方法也在与时俱进,成品率高，江苏空心微针晶圆、成本低的优点也为其批量化生产带来帮助。经皮给药等依靠微针阵列技术作为辅助工具的手段，价格也因此下调，江苏空心微针晶圆,可以进入大众市场。此外,电解质分析装置也可以用到微针阵列,达到无痛感少量抽血并能有效分析其中各种离子浓度。微针阵列经过多年的摸索，其工艺逐渐趋于成熟。江苏空心微针晶圆

硅材料具有良好的机电、传感特性, 资源丰富,且硅微细加工技术已成熟, 所以硅微针受到人们的格外青睐。硅微针主要利用各向同性和各向异性刻蚀工艺来制备,刻蚀过程的控制一直是一个难点。N. Wilke 利用计算机软件对刻蚀进行了模拟, 优化了微针制作工艺。Takay uki Shibata利用深层反应离子刻蚀的冲孔效应制作出了顶部为半球形的空心SiO2微针阵列，利用硅材料来制备微针, 可充分发挥硅微加工工艺成熟的优势, 然而硅微针所存在的易断裂而滞留于皮肤导致的工作有效性与安全性不高的问题, 直接影响了硅材料在微针上的应用。江苏微针阵列随着新型加工材料和技术的进展,可以建立统一的微针技术标准,以提高微针技术的安全性。

微针作为透皮给药的新型方式,微针透皮给药具有微创、易制备、患者易用药优点,在病症、自身免疫性疾病等方面能起到很好的效果。对于病症这一方面,微针主要还是通过递送免疫检查点的抑制剂来进行的,利用微针可以进行局部给药的特点,只需相对较低剂量的药物就能够达到预期的治效果,同时还可以降低自身免疫功能紊乱的风险。微针透皮给药与皮下注射相比,微针在递送不同抗原或多肽时,表现出的皮肤滞留时间更长,自身反应性细胞增殖减少,进而诱导耐受。

采用各向同性和各向异性蚀刻工艺制备硅微针,但对于蚀刻工艺的控制仍是待解决的关键问题。Dizon使用离子研磨方法制作了实心针尖的硅微观结构。后来 Henry 使用反应离子蚀刻方法制作了具有高纵横比的硅固体微针阵列。Chun制备了二氧化硅微针, 其使用深度反应离子蚀刻、各向异性刻蚀以及硅玻璃键合三种技术,达到了精确控制生物物质注入细胞的目的。Chen利用 p+型硅的各向异性自停腐蚀技术,制成了集成微流体管和微电极的硅微针,监测了小猪在不同化学刺激下神经反应信号的变化。微针可以通过深反应离子刻蚀制作。

涂层微针是由涂有药物溶液或分散体的实心微针组成。微针被药物溶液或药物分散层包围。随后药物从该层中溶解, 药物被快速释放。可以装载的药物量取决于针尖涂层的厚度和针的尺寸。近年来,涂层微针逐步替代了固体微针,它们的制备材料与制备方法相似,但涂层微针的针尖表面被药物溶液包围,使用时药物可随微针进入皮肤后快速释放。因此其操作步骤更为简单,具有长时间保持药物活性的优势。因此涂层微针、空心微针和可溶性微针在给药领域的应用较为普遍。生物医学和MEMS的发展推动了微针在药物传输与分析等相关领域的应用。浙江低晶微针加工制造

20世纪90年代才制作出硅微针。江苏空心微针晶圆

空心微针也叫中空微针,通常由金属、玻璃、陶瓷或硅制成。微针充当药物存储库,药物分散体或溶液存在于微针针尖的中空空间中。在插入时,通道中的中空空间中的药物直接释放到表皮中。然而,空心微针在插入时有皮肤组织堵塞针头的风险,会阻碍药物流动。制剂以及昂贵的制造成本也限制了空心微针的使用，但空心微针在递送生物大分子药物如胰岛素、核酸、疫苗方面显示出巨大的潜力。目前已报道的使用空心微针递送的疫苗主要有灭活疫苗、重组疫苗与合成肽疫苗等。江苏空心微针晶圆

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