多种有机材料已成为微加工领域的主力军，江苏硅微针晶圆，其中用来制作微针阵列的主要材料是PMMA，而SU-8和PDMS常被选择为制作过程中的辅助材料。利用PMMA材料制作顶端角为45°的微针阵列结构，其制作方法采用双深X射线曝光，在电极正反两面溅射金属以实现正反两面电连接。PLGA(聚乳酸-羟基乙酸共聚物)制作的倾斜的微针，其中微针长度为400um，顶部直径为30um，底部直径为100um，江苏硅微针晶圆。SU-8材料制作的塔形的微针阵列，主要采用正反两面紫外曝光和反应离子刻蚀的方法制作而成，微针高为350um，底端直径为70um。PMMA材料制作的塔形的微针阵列，是由SU-8微针阵列翻模而成。由于微针的深宽比较大，江苏硅微针晶圆，依靠PMMA本身的硬度无法顺利刺入皮肤因此需要在PMMA微针表面覆盖一层金属以增加其硬度。微针主要是通过在皮肤上形成微小通道。江苏硅微针晶圆

制备硅微针的工艺流程如下。首先通过湿法氧化在硅片两面形成二氧化硅层, 对正面的 二氧化硅层进行图形化; 接着进行深反应离子刻蚀, 当硅片被刻穿时,二氧化硅层阻止了刻蚀, 刻蚀只能向其他方向进行, 从而形成半球形结构,这就是冲孔效应; 再对硅片进行氧化, 去除底部的二氧化硅层, 后面刻蚀硅片得到微针阵列。该法充分利用硅深 刻蚀能力及硅和二氧化硅两种材料间的选择性加工得到批量化中空硅微针阵列, 剩余的硅成为二氧化硅微针的支撑体,并可进一步与微流体系统键合集成。江苏超高晶微针模具涂层微针是将药物涂抹于整个针体。

水凝胶微针是由水凝胶聚合基质制备而成,其制备方法与可溶性微针相似。通常由交联态的水凝胶或者超溶胀聚合物制备而成,如羧甲基纤维素和支链淀粉等。水凝胶微针在给药时,微针阵列在插入皮肤后会迅速吸收间质液,导致水凝胶肿胀,在凝胶内产生连续畅通的孔道,药物通过组织液渗透和扩散进入皮肤组织内。药物递送完成后可以完好地从皮肤中取出,不存在针体残留问题。此外,水凝胶微针还可以通过调节水凝胶纤维的交联密度来控制药物释放速率。

J.Held利用硅的干法刻蚀制作出了基于微针的电极。微针外层是氮化硅钝化层, 在顶部露出金属层,当有脉冲通过时,顶部金属层发出的电场会在细胞膜脂上开一个口,使电极进入细胞,从而进行电流记录。电极进入细胞通过电场在细胞膜脂上开口的过程被称为电穿孔。电穿孔也是目前治病症的一种方法,将化学疗法和电穿孔结合起来能提高治病症的效率,并能实现局部治。N. Wilke利用干法刻蚀和湿法刻蚀制作出了用于电穿孔的空心硅微针电极。在电穿孔的同时,空心微针还可进行药物传输。另外在微针的底部设有温度传感器, 可监测电极插入人体时的温度变化,增加了电极工作的安全性。利用湿法腐蚀制作的硅微针为八边形棱锥。

20世纪90年代,微针由硅制成。硅具有晶体结构，硅的湿法腐蚀是各向异性。其性质取决于晶格中的排列,显示出不同的弹性模量。物理特性使硅成为一种通用材料。硅衬底可以精确制造,且能批量生产,因此可以生产不同尺寸和形状的微针。但硅的成本及其耗时复杂的制造工艺限制了硅在微针中的应用。此外,还有一些生物相容性问题,因为硅很脆,可能会一部分断裂并留在皮肤中,从而导致出现健康问题。为了改善硅微针的脆性、提高微针的生物相容性,可以用溅射方法在其表面沉积一层金属膜。微针技术具有广阔的应用前景。北京高晶微针加工

微针比传统的注射给药有比较多的优点。江苏硅微针晶圆

随着人们物质生活水平的提高，大家对生命健康越来越重视，医疗领域得到了空前发展，微针阵列器件应运而生，为生物医学领域注入了新的活力，形成了新的安全高效 的治方法，具有以下优点：一是微针阵列具有尺寸小，生物相容性好等特点。可以应用于传统医疗器械不能触及的狭小空间；二是微针阵列的接触面积小，可以为患者提供更好的运动自由度，给使用者带来更小的损伤；三是微针的精度高，能够准确控制刺入皮肤的深度，可应用于精密医疗仪器。江苏硅微针晶圆

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