制备硅微针的工艺流程如下。首先通过湿法氧化在硅片两面形成二氧化硅层, 对正面的 二氧化硅层进行图形化; 接着进行深反应离子刻蚀，北京MEMS微针封装, 当硅片被刻穿时,二氧化硅层阻止了刻蚀, 刻蚀只能向其他方向进行, 从而形成半球形结构,这就是冲孔效应; 再对硅片进行氧化, 去除底部的二氧化硅层, 后面刻蚀硅片得到微针阵列。该法充分利用硅深 刻蚀能力及硅和二氧化硅两种材料间的选择性加工得到批量化中空硅微针阵列，北京MEMS微针封装，北京MEMS微针封装, 剩余的硅成为二氧化硅微针的支撑体,并可进一步与微流体系统键合集成。水溶性微针是使用可生物降解的材料制成。北京MEMS微针封装

目前，文献中报道较多的干电极的制作材料主要包括：单晶硅、金属（钛、镍、不锈钢）、 高分子聚合物和玻璃等。有人在单晶硅片上采用深反应离子刻蚀技术工艺制备了高度较高的实心微针阵列。有人在钛薄板上利用微加工工艺制备了钛微针用于经皮给药系统的研究。有人利用深曝光的方法制备了甲基丙稀酸甲酯（PMMA）微针用于脑机接口系统。虽然干电极的制作材料多种多样，其基材的选择主要考虑以下几个因素：1）材料的生物相容性；2）微针阵列的机械强度；3）材料加工工艺的复杂度及工艺成本。浙江固体微针定制微针可代替传统的注射给药的方式。

可溶性微针又可称为水溶性微针。可溶性微针是使用可生物降解的材料制成,例如载有药物的各种聚合物和糖。主要的制备技术是微模塑法、热压、注塑成型和铸造。使用时将微针插入皮肤后,发生溶解,释放药物。由于不溶性微针可能会留下废物引起健康问题,可溶性微针已被普遍用于递送疫苗。随着微针的溶解和降解过程,包封的疫苗可以逐渐释放并进入真皮,从而引起免疫反应。使用可溶性微针递送的疫苗主要包括亚单位疫苗、多糖疫苗、灭活疫苗、重组疫苗、DNA 疫苗等。

心电图可记录心脏的电活动过程,它对心脏基本功能及其病理研究方面具有重要的参考价值。传统的生物电势电极是由Ag/AgCl制作而成的, 这种电极有很多缺点: 1) 需要皮肤准备。 2)使用电解凝胶很不方便,会给人体带来不适感。 3)一次性,不能重复使用。基于微针阵列的微电极可刺穿皮肤的角质层, 这样就避开了皮肤角质层高阻抗的特性,与传统电势电极相比,不需要皮肤准备和电解凝胶,使用方便,有利于长期测量使用。 L.M.Yu利用空心硅微针制作出了用于心电图测试的电极。这种电极能获得高信噪比的信号,而且使用方便,对人体没有什么副作用,比较适合老年人在家使用。MEMS微针从问世以来一直是研究人员比较关注的方面。

利用化学溶液湿法腐蚀的微针可以降低微针的制作成本，制作过程中不需要大型的刻蚀设备，在普通实验室就能够完成工艺制作。但腐蚀过程比较难以精确控制，并且需要进行实时观察，而且不确定因素还较多。溶液湿法腐蚀对硅片的晶向、腐蚀的温度、腐蚀的时间和掩膜形状的要求都是非常严格的。由于掩膜形状和腐蚀晶向的选择性，溶液湿法腐蚀形成的微针形状像山峰，所以比干法刻蚀形成的微针短，直径比较大，所以单位面积的微针数量比干法刻蚀的微针数量少。利用湿法腐蚀制作的硅微针为八边形棱锥。上海中晶微针模具

生物医学推动了微针在药物传输等领域的应用。北京MEMS微针封装

空心微针与微米级的注射针较为相似,同样是输送液体成分至皮内。蒋宏民探索出的一种利用MEMS技术结合传统光刻和倾斜旋制备环氧树脂中空微针阵列的方法。该方法在现有技术上的改进升级,对设备的要求更低,由此制备所得空心微针的锥形较为光滑,具有良好的针尖部分,生物相容性也增强,作用时对皮肤的损伤较小。尽管如此,该方法也有一定的缺点,如制备步骤较为繁琐,需要经过多次浇注及脱模,同时还需要用到溅射镀膜工艺,增加了整体的加工难度,使得制备效率有所降低。北京MEMS微针封装

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