Shibata T,Yamanaka S利用深度反应离子蚀刻的冲孔效应,制造出具有半球形顶部的中空 SiO2 微针的半球阵列,但是此方法生物相容性不好,还需要进一步验证SiO2微针的力学性能。Hasegawa Y, Yasuda Y对单晶硅进行微加工,使其具有小曲率半径,然 后利用各向异性湿法蚀刻制造了一种硅微针，浙江硅微针加工,通过该微针在金属板上形成压痕，浙江硅微针加工，浙江硅微针加工,成功制造出了针尖高度高、密度大的微针阵列。岳瑞峰等人采用微加工技术批量制造出高度和阵列密度分别为 140μm 和 730cm的硅基实心微针阵列,并通过体外、体内实验研究了其对透皮给药的影响。MEMS微针从问世以来一直是研究人员比较关注的方面。浙江硅微针加工

经皮给药系统是指为预防疾病而通过皮肤吸收将药物输送到作用部位的一种给药系统,它可以避免一些口服给药的副作用、注射引起的创伤和疼痛,从而提高药物的依从性,为人体提供了一种新的给药的方法。微针给药法因其无痛和使用方便的特点被证明 是一种先进的方法,也因其能增强细胞的免疫原性而有利于免疫接种,已经被用于病症的免疫。目前,促进药物透皮的策略有多种,如改变药物的物理化学性质、改变表皮、穿透表皮和电驱动。主动方式的促进药物透皮的策略包括热消融、电消融、机械消融、其他方法等。浙江高晶微针电极20世纪90年代才制作出硅微针。

20世纪90年代,微针由硅制成。硅具有晶体结构，硅的湿法腐蚀是各向异性。其性质取决于晶格中的排列,显示出不同的弹性模量。物理特性使硅成为一种通用材料。硅衬底可以精确制造,且能批量生产,因此可以生产不同尺寸和形状的微针。但硅的成本及其耗时复杂的制造工艺限制了硅在微针中的应用。此外,还有一些生物相容性问题,因为硅很脆,可能会一部分断裂并留在皮肤中,从而导致出现健康问题。为了改善硅微针的脆性、提高微针的生物相容性,可以用溅射方法在其表面沉积一层金属膜。

硅基微针是采用单晶硅材料加工制备而成，采用半导体光刻、刻蚀等加工工艺，顶端直径可以达到几十纳米。硅微针一般长度在80～300um，主要穿刺表皮层，达到皮肤的真皮层，但不会刺到皮下组织，不会接触到皮下组织的末梢神经，所以使用过程一般无疼痛感，并且不会有出血现象。硅微针也用来作为注塑模具，通过翻模注塑工艺，制备可溶性微针产品。目前我司生产的微针分为低晶微针、中晶微针、高晶微针和超高晶微针，其中低晶微针针高范围在100um~120um，针间距为400um；中晶微针针高范围在120um~180um，针间距为400um；高晶微针针高范围在180um~250um，针间距为650um；超高晶微针针高范围在250um~300um，针间距为650um；芯片尺寸可根据客户要求定制。生物医学和MEMS的发展推动了微针在药物传输与分析等相关领域的应用。

涂层微针是由涂有药物溶液或分散体的实心微针组成。微针被药物溶液或药物分散层包围。随后药物从该层中溶解, 药物被快速释放。可以装载的药物量取决于针尖涂层的厚度和针的尺寸。近年来,涂层微针逐步替代了固体微针,它们的制备材料与制备方法相似,但涂层微针的针尖表面被药物溶液包围,使用时药物可随微针进入皮肤后快速释放。因此其操作步骤更为简单,具有长时间保持药物活性的优势。因此涂层微针、空心微针和可溶性微针在给药领域的应用较为普遍。设计不同的微针类型，可适用于不同性质的药物输送,使给药的方式具有多样化。江苏硅基微针定制

可溶性微针是利用模具将药物制作成针尖。浙江硅微针加工

传统的给药的方式有口服和注射两种。这两种方式都有其缺点,口服的主要问题是胃肠道对药物的降解作用和肝脏的首过效应; 静脉注射具有痛感,需要有专门医护知识的人员进行操作。微针阵列提供了一种新型传送药物的方法,可增强经皮肤对药物分子的传输, 实现高效、无痛投药。从微针在经皮给药应用上的作用方式分析,主要有4种使用微针透皮给药的方法: 1) 使用实心微针刺入皮肤, 增加皮肤的渗透性, 然后贴皮给药。 2) 将药物涂在在微针上,然后将微针刺入皮肤,进行给药。 3) 用含药物的聚合物材料做成微针,然后将微针刺入皮肤。 4) 通过空心微针注射。浙江硅微针加工

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