所述驱动轴包括驱动轴体部和驱动连接部，所述驱动衬套套设在所述驱动连接部外部，所述工艺盘转轴的底端形成有安装孔，所述驱动衬套部分设置在所述安装孔中，所述工艺盘转轴通过所述驱动衬套、所述驱动连接部与所述驱动轴体部连接，其中，所述驱动连接部的横截面为非圆形，所述驱动衬套的套孔与所述驱动连接部相匹配，所述工艺盘转轴的所述安装孔与所述驱动衬套相匹配，所述驱动轴旋转时，带动所述驱动衬套及所述工艺盘转轴旋转。推荐地，所述驱动衬套的外壁上形成有至少一个定位凸起，所述安装孔的侧壁上形成有至少一个定位槽，所述定位凸起一一对应地插入所述定位槽中。推荐地，江西PF 半导体与电子工程塑料零件定制加工推荐厂家，所述驱动连接部的侧面包括至少一个定位平面，以使得所述驱动连接部的横截面为非圆形。推荐地，所述驱动连接部的侧面包括两个所述定位平面，以及设置在两个所述定位平面之间的两个圆柱面。推荐地，江西PF 半导体与电子工程塑料零件定制加工推荐厂家，所述驱动衬套包括相互连接的***衬套部和第二衬套部，所述***衬套部和所述第二衬套部沿所述工艺盘转轴的轴线方向排列，江西PF 半导体与电子工程塑料零件定制加工推荐厂家，所述第二衬套部位于所述***衬套部朝向所述驱动轴体部的一侧，所述套孔包括形成在所述***衬套部中的驱动通孔和形成在所述第二衬套部中的轴通孔，所述驱动通孔与所述驱动连接部匹配。还用作耐化学腐蚀材料和硬质材料等.江西PF 半导体与电子工程塑料零件定制加工推荐厂家

    圆弧避让槽6，圆弧基准台7，底座8，半导体零件9。具体实施方式下面结合附图对本实用新型作进一步的描述：参照图1至图3所示，一种针对半导体零件的抓数治具，包括抓数治具1，所述抓数治具1包括设置的**基准块2以及与**基准块2垂直连接的第二基准块3，所述第二基准块3与**基准块2一体成型；所述**基准块2的一侧设置有**基准面4，所述第二基准块3上设置有第二基准面5，所述第二基准面5垂直于**基准面4，所述**基准面4和第二基准面5的连接处设置有与**基准块2和第二基准块3连接的圆弧避让槽6；所述**基准块2和第二基准块3远离圆弧避让槽6的一侧设置有圆弧基准台7，所述圆弧基准台7的圆心位于**基准面4与第二基准面5的连接处。采用此技术方案，设置的**基准面4和第二基准面5有助于半导体零件9的贴合；设置的圆弧避让槽6不*有助于抓数治具1的加工，而且有助于半导体零件9的贴合；设置的圆弧基准台7有助于通过圆弧的切边抓数以计算或抓取半导体零件9的尺寸以及导角的尺寸。作为推荐，所示抓数治具1还设置有底座8，所示底座8上均匀排列有四个或四个以上抓数治具1；四个或四个以上所述的抓数治具1其**基准面4或第二基准面5在同一直线上。采用此技术方案，以便于批量检测抓数。江西PF 半导体与电子工程塑料零件定制加工推荐厂家由于该材料的线性热膨胀系数（CLTE）较低、公差配置可更紧。

    所述工艺盘组件为前面所述的工艺盘组件，所述工艺盘组件的工艺盘设置在所述工艺腔中。在本实用新型提供的工艺盘组件以及半导体设备中，工艺盘转轴通过驱动衬套、驱动连接部与驱动轴体部连接，驱动连接部的横截面为非圆形，而驱动衬套的套孔与驱动连接部相匹配，工艺盘转轴的安装孔与驱动衬套相匹配。从而通过非圆柱体的驱动连接部与驱动衬套上的异形孔之间的配合将扭矩传递至驱动衬套，进而基于安装孔与驱动衬套的配合关系传递至工艺盘转轴，从而能够避免驱动轴与驱动衬套之间发生相对滑动，提高了工艺盘转轴旋转角度的控制精度，进而提高了工件的放置精度。附图说明附图是用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的具体实施方式一起用于解释本实用新型，但并不构成对本实用新型的限制。在附图中：图1是本实用新型提供的工艺盘组件的结构示意图；图2是图1所示的工艺盘组件的a-a向剖视图；图3是图2中虚线圈出部分的放大示意图；图4是图3的局部放大示意图；图5是本实用新型提供的工艺盘组件中驱动轴的结构示意图；图6是本实用新型提供的工艺盘组件中驱动衬套的结构示意图；图7是本实用新型提供的工艺盘组件中驱动衬套与驱动轴连接后的结构示意图。

    PbS）很早就用于无线电检波，氧化亚铜（Cu2O）用作固体整流器，闪锌矿（ZnS）是熟知的固体发光材料，碳化硅（SiC）的整流检波作用也较早被利用。硒（Se）是**早发现并被利用的元素半导体，曾是固体整流器和光电池的重要材料。元素半导体锗（Ge）放大作用的发现开辟了半导体历史新的一页，从此电子设备开始实现晶体管化。中国的半导体研究和生产是从1957年***制备出高纯度（～）的锗开始的。采用元素半导体硅（Si）以后，不仅使晶体管的类型和品种增加、性能提高，而且迎来了大规模和超大规模集成电路的时代。以砷化镓（GaAs）为**的Ⅲ－Ⅴ族化合物的发现促进了微波器件和光电器件的迅速发展。半导体材料有哪些半导体材料很多，按化学成分可分为元素半导体和化合物半导体两大类。锗和硅是**常用的元素半导体;化合物半导体包括第Ⅲ和第Ⅴ族化合物（砷化镓、磷化镓等）、第Ⅱ和第Ⅵ族化合物（硫化镉、硫化锌等）、氧化物（锰、铬、铁、铜的氧化物），以及由Ⅲ-Ⅴ族化合物和Ⅱ-Ⅵ族化合物组成的固溶体（镓铝砷、镓砷磷等）。除上述晶态半导体外，还有非晶态的玻璃半导体、有机半导体等。半导体的分类，按照其制造技术可以分为：集成电路器件。及时出货速度与稳定交期，满足不同的客户需求。

    所述***分散剂和所述第二分散剂相互独立地选自四甲基氢氧化铵、聚乙烯吡咯烷酮、丙烯酸铵、丙烯酸钠、聚乙烯醇及聚乙烯醇缩丁醛中的至少一种；及/或，所述粘结剂包括酚醛树脂、环氧树脂、聚乙烯醇、羧甲基纤维素钠、丙烯酸及聚乙烯醇缩丁醛中的至少一种；及/或，所述碳化硅微粉的粒径为μm～μm；及/或，所述稀土元素包括钇、钕、铈、镧及钐中的至少一种。一种碳化硅陶瓷，由上述碳化硅陶瓷的制备方法制备得到。一种半导体零件，由上述碳化硅陶瓷加工处理得到。上述碳化硅陶瓷的制备方法先采用金属的氯化物、环氧丙烷、***分散剂和***溶剂与碳化硅微粉混合，金属元素的氯化物在环氧丙烷的作用下沉淀，然后在真空条件、700℃～900℃下进行加热处理，使金属元素的氯化物转化为氧化物，并均匀沉降在碳化硅微粉表面，具有促进烧结、降低气孔率的作用，从而提高碳化硅陶瓷的力学性能，相较于传统的制备方法中将金属元素的氧化物直接与碳化硅微粉及分散剂、粘结剂等混合，能够使稀土元素的分布更均匀。另外，将***预制坯与第二碳源混合加热，液态的第二碳源在3mpa～7mpa的压力条件下浸渗入***预制坯的孔隙中，降低了孔隙率，从而提高了碳化硅陶瓷的力学性能。因此。工程塑料，绝缘材料板、棒，片材。江西PF 半导体与电子工程塑料零件定制加工推荐厂家

因此具有更佳的设计 能力和用自动化的更高可行性。江西PF 半导体与电子工程塑料零件定制加工推荐厂家

    作为推荐，所述圆弧基准台7的半经设置在1mm的倍数。采用此技术方案，便于测量以及计算。作为推荐，所述抓数治具1的长度设置在40-60mm，宽度设置在30-50mm。采用此技术方案，尺寸小，便于使用，以及保存。作为推荐，所述**基准块2的宽度和第二基准块3的宽度一致，其宽度设置在8-12mm。采用此技术方案，有助于减少**基准块2和第二基准块3的变形。作为推荐，所述抓数治具1的表面粗糙度设置在。采用此技术方案，表面光滑便于使用，以提升半导体零件9的抓数精度。具体实施例在使用前，先将半导体零件的一侧贴附于**基准面，然后，移动半导体零件，将半导体零件的另一侧靠紧到第二基准面，如图2所示；在实际检测时，先将治具效准在检测平台上，然后，通过抓取圆弧基准台的切边来计算半导体零件的基准点，并通过抓取的基准点测量半导体零件的倒角尺寸和崩口尺寸，并将检测的崩口尺寸大于倒角尺寸的不合格的半导体零件剔除。以上所述，*为本实用新型的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此。江西PF 半导体与电子工程塑料零件定制加工推荐厂家

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