涂层微针是由涂有药物溶液或分散体的实心微针组成。微针被药物溶液或药物分散层包围。随后药物从该层中溶解, 药物被快速释放。可以装载的药物量取决于针尖涂层的厚度和针的尺寸，浙江中晶微针设计。近年来,涂层微针逐步替代了固体微针,它们的制备材料与制备方法相似，浙江中晶微针设计,但涂层微针的针尖表面被药物溶液包围,使用时药物可随微针进入皮肤后快速释放，浙江中晶微针设计。因此其操作步骤更为简单,具有长时间保持药物活性的优势。因此涂层微针、空心微针和可溶性微针在给药领域的应用较为普遍。随着新型加工材料和技术的进展,可以建立统一的微针技术标准,以提高微针技术的安全性。浙江中晶微针设计

电极微针阵列结构应满足以下特点：1）微针阵列高度应该大于15um小于300um。 根据皮肤的结构特点，如果微针阵列的高度小于10um则不能穿过绝缘角质层，从而无法正常提取电信号。如果微针阵列的高度大于300um，则会触及到包含大量血管和神经的真皮层，会使人产生疼痛感。2）微针阵列的密度应当适中。如果微针阵列密度太小，就会导致电极的阻抗过大，影响提取的信号质量。如果微针阵列的密度太大，就会为微针阵列刺入皮肤充分跟体液接触造成障碍，也会影响提取的信号质量；3）微针应该具有尖锐的针尖并且其表面要尽量平滑。平滑的表面使对皮肤的损伤降低到小；4）微针阵列的结构应该尽量简单，这样就可以避免繁琐的工艺步骤，降低电极的制作成本。北京超高晶微针生产微针可以通过深反应离子刻蚀制作。

实心微针阵列是不含药物的微米级阵列,实心微针阵列具有锥形的针尖,它能够穿透皮肤的角质层,为后续的药物递送创建微小的通道。实心微针阵列通常是由金属、硅或者陶瓷制作而成,用于皮肤预处理。在接种疫苗时,实心微针首先刺在皮肤上产生微小的通道, 然后使用疫苗溶液或其他含药物的材料,例如装载药物的水凝胶,药物通过微通道递送至皮肤,从而实现药物接种。过去的几项研究已经证实,白喉等疫苗、乙型肝炎疫苗和疟疾疫苗可以通过微通道渗入皮肤并产生有效的免疫反应。

使用微加工制备硅空心微针的技术已非常成熟,适合大规模生产。Nanopass公司制备了具有三种金字塔形状的单晶硅空心微针,针长为0.6mm,很容易进行皮内注射。Debiotech 公司使用深层离子蚀刻和湿法蚀刻技术制备具有侧开口的硅空心微针,从而将药物输送到人的真皮层,并降低了堵塞注射通道的风险。俞骁为了解决中空微针难以大规模生产且强度低的问题,采用各向异性蚀刻法制备了单晶硅异平面中空微针。该工艺简单易行,所得微针强度更大,中空硅微针表面的金属涂层或二氧化硅层涂层可以提高其生物相容性。利用硅的各向异性可以制作实心微针。

采用各向同性和各向异性蚀刻工艺制备硅微针,但对于蚀刻工艺的控制仍是待解决的关键问题。Dizon使用离子研磨方法制作了实心针尖的硅微观结构。后来 Henry 使用反应离子蚀刻方法制作了具有高纵横比的硅固体微针阵列。Chun制备了二氧化硅微针, 其使用深度反应离子蚀刻、各向异性刻蚀以及硅玻璃键合三种技术,达到了精确控制生物物质注入细胞的目的。Chen利用 p+型硅的各向异性自停腐蚀技术,制成了集成微流体管和微电极的硅微针,监测了小猪在不同化学刺激下神经反应信号的变化。设计不同的微针类型，可适用于不同性质的药物输送,使给药的方式具有多样化。浙江中晶微针设计

利用湿法腐蚀制作的硅微针为八边形棱锥。浙江中晶微针设计

Shibata T,Yamanaka S利用深度反应离子蚀刻的冲孔效应,制造出具有半球形顶部的中空 SiO2 微针的半球阵列,但是此方法生物相容性不好,还需要进一步验证SiO2微针的力学性能。Hasegawa Y, Yasuda Y对单晶硅进行微加工,使其具有小曲率半径,然 后利用各向异性湿法蚀刻制造了一种硅微针,通过该微针在金属板上形成压痕,成功制造出了针尖高度高、密度大的微针阵列。岳瑞峰等人采用微加工技术批量制造出高度和阵列密度分别为 140μm 和 730cm的硅基实心微针阵列,并通过体外、体内实验研究了其对透皮给药的影响。浙江中晶微针设计

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