透明导电薄膜的种类很多，主要有 ITO，TCO，AZO 等，其中 ITO的性能比较好，ITO具有高透光率，低电阻率。目前 ITO 的制备方法主要是磁控溅射，要获得高质量的 ITO薄膜，制备高密度、高纯度和高均匀性的 ITO 靶材是关键。高质量的成品 ITO 溅射靶应具有99%的相对密度。这样的靶材才具有较低电阻率、较高导热率及较高的机械强度。高密度靶可以在温度较低条件下在玻璃基片上溅射，获得较低电阻率和较高透光率的导电薄膜。甚至可以在有机材料上溅射 ITO 导电膜。目前ITO靶材的制备方法主要有热压法、冷等静压-烧结法、热等静压法。其中采用冷等静压-烧结法，其相对密度能达到 99%以上，烧结温度高，保温时间长，制备工艺复杂。放电等离子烧结(SPS)是在脉冲电流作用下，粉末颗粒间放电，产生瞬间高温进行烧结。SPS技术具有快速、低温、高效率等优点，河北功能性陶瓷靶材市场价，河北功能性陶瓷靶材市场价。能在很低的烧结温度下，河北功能性陶瓷靶材市场价，保温很短的时间制备高密度的材料。

靶材主要用于生成太阳能薄膜电池的背电极，晶体硅太阳能电池较少用到溅射靶材。河北功能性陶瓷靶材市场价

靶材清洁的目的及方法：靶材清洁的目的是去除靶材表面可能存在的灰尘或污垢。金属靶材可以通过四步清洁：第一步用浸泡过的无绒软布清洁；第二步与第一步类似用酒精清洁；第三步用去离子水清洗。在用去离子水清洗过后再将靶材放置在烘箱中以100摄氏度烘干30分钟。氧化物及陶瓷靶材的清洗建议用“无绒布”进行清洁。第四步用高压低水气的氩气冲洗靶材，以除去所有可能在溅射系统中会造成起弧的杂质微粒。

我们建议用户将靶材无论是金属或陶瓷类保存在真空包装中，尤其是贴合靶材更需要保存在真空条件下，以避免贴合层氧化影响贴合质量。 安徽功能性陶瓷靶材生产企业溅射靶材绑定背板流程；

钙钛矿太阳电池在短短数十年间不断刷新转换效率。基于正置的钙钛矿太阳电池面临着众多问题，如迟滞较大，光热稳定性差等，相较之下倒置结构可以较好的解决上述问题。倒置结构中空穴传输层主要有氧化镍(NiOx)、聚(3,4-乙烯二氧噻吩):聚(苯乙烯磺酸)(PEDOT:PSS)、聚[双(4-苯基)(2,4,6-三甲基苯基)胺](PTAA)等几种，但是PEDOT:PSS，PTAA等空穴传输层并不稳定且成本较高，考虑到未来大面积生产所需，目前只有NiOx较为适合。现有的NiOx制备工艺以纳米晶溶液旋涂、化学浴沉积、原子层沉积、化学气相沉积等为主。目前合适的大面积制备技术以化学气相沉积为主，其中磁控溅射制备可重复性高且较为均匀。现有的技术手段中，常在氧化镍基板中添加单独的碱金属元素或者过渡金属，用以提升氧化镍空穴传输层的空穴传输能力。

从整体上看，ITO在光电综合性能上高于AZO靶材，但AZO靶材的优势或将为靶材带来降本空间。在相关实验中利用AZO靶材和ITO靶材制备了3组实验薄膜（共6份样品）。实验中主要从光学性能和电学性能上对AZO薄膜和ITO薄膜进行了对比。在特定情况下AZO靶材与ITO靶材电学性能差距缩小。根据比较终实验数据来看，AZO薄膜和ITO薄膜的方块电阻以及电阻率随着薄膜的厚度增加而降低，并且随着薄膜厚度的增加，AZO薄膜与ITO薄膜方块电阻以及电阻率之间的差距逐步缩小。当AZO薄膜厚度为640nm时，方块电阻以及电阻率为32Ω•sq-1和20.48*10-4Ω•cm。AZO薄膜光学性能优于ITO薄膜。ITO薄膜的光学性能随着厚度的增加明显变差，但是对于AZO薄膜，透射率并没有随着厚度的增加而明显下降，在厚度为395nm时，高透射率光谱范围比较宽，可见光区平均透射率比较高，光学总体性能比较好，可充当透射率要求在85%以上的宽光谱透明导电薄膜的光学器件ITO（氧化铟锡）靶材是溅射靶材中陶瓷靶材（化合物靶材）的一种，在显示靶材中占比将近60%。

IGZO由In2O3、Ga2O3和ZnO相互掺杂得到，是一种透明金属氧化物半导体材料。IGZO为n型半导体材料，存在3.5 eV左右的带隙，电子迁移率比非晶硅高1~2个数量级，其比较大特点是在非晶状态下依然具有较高的电子迁移率。由于没有晶界的影响，非晶结构材料比多晶材料有更好的均匀性，对于大面积制备有巨大的优势。正因为IGZO TFT具有高迁移率、非晶沟道结构、全透明和低温制备这四大优势，使得IGZO作为TFT沟道材料比多晶硅和非晶硅更符合显示器大尺寸化、高清、柔性和低能耗的未来发展趋势。磁控溅射的工作原理简单说就是利用磁场与电场交互作用。中国香港镀膜陶瓷靶材市场价

靶材相对密度对大面积镀膜的影响靶材的相对密度是靶材的实际密度与理论密度之比。河北功能性陶瓷靶材市场价

背板材料：无氧铜(OFC)–目前经常使用的作背板的材料。因为无氧铜具有良好的导电性和导热性，而且比较容易机械加工。如果保养适当，无氧铜背板可以重复使用10次甚至更多。钼(Mo)–在某些使用条件比较特殊的情况下，如需要进行高温贴合的条件下，无氧铜容易被氧化和发生翘曲，所以会使用金属钼为背板材料或某些靶材如陶瓷甚至某些金属靶材的热膨胀系数无法与无氧铜匹配，同样也需要使用金属钼作为背板材料。不锈钢管(SST)–目前**常使用不锈钢管作为旋转靶材的背管，因为不锈钢管具有良好的强度和导热性而且非常经济。

背板重复使用大部分背板可以重复使用，尤其是采用金属铟进行贴合的比较容易进行清洁和重新使用。如果是采用其他贴合剂（包括环氧树脂）则可能需要采用机械处理的方式对背板表面处理后才能重复使用。当我们收到用户提供的已使用过的背板后，我们会首先进行卸靶处理（如适用）并且对背板进行完全检查，检查的重点包括背板的平整度，完整性及密封性等。我们会通知用户对背板的检查结果，如我们发现有需要维修的地方会书面通知客户并提供维修报价。 河北功能性陶瓷靶材市场价

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