除了硅、金属以及聚合物等材料之外, 还有很多材料也可用于微针的制备,如陶瓷、玻璃和智能纳米材料等。陶瓷微针是以陶瓷浆料为原料，利用模板铸造，使用烧结法制备,也可以采用双光子聚合法制备。玻璃微针多为空心结构,采用改良后的传统玻璃微管拉制技术制得，上海中晶微针晶圆,在给药和组织液提取方面都有着广泛的应用。但与陶瓷或玻璃等材料相比，上海中晶微针晶圆，上海中晶微针晶圆,利用高分子材料制备的微针具有很多优势,如生物相容性好、原料易得、不易断裂以及适宜批量化生产,因此聚合物微针逐渐成为微针制造的主材料。20世纪90年代才制作出硅微针。上海中晶微针晶圆

因为常用的微针体积比较小,载药量往往会受限。为了提高微针载药量并扩大其应用范围, 研究人员发明了新的微针类型——溶胀微针。溶胀微针在前期制备时仍保持微小体积,但在刺入皮肤时,受人体皮肤组织液的影响,微针的特殊材料不会引起其他变化,反而会膨胀,进而释放出药物,从人体皮肤脱离后,皮下不会存留微针,起到递送药物载体的作用,提高了给药效率。Alkilani以化学交联的聚甲基乙烯基醚/马来酸(PMVE/MA)为基质材料,制备了一种集成式溶胀微针贴片,当微针刺入皮下后,胰岛素扩散进入溶胀的针体,然后释放。该研究表明,微针贴片可使糖尿病大鼠的血糖值6h 时降至起始的45%左右。上海微针加工微针的微阵列电极需要在表面溅射一层金属。

He的研究成果为病症疫苗接种方面带来了新的突破。这种微针药膜运用的方法是通过静电的作用逐层进行自组装。聚合物材料或蛋白质及核酸药物附着在微针的表面上,目的是用来逐层吸附正负电荷,而对酸碱敏感的嵌段共聚物则是在药膜的底部。在整个运行的过程中会吸附负电分子层,也会有静电排斥,这种技术比其他注射药物的方法疗效有明显的提升。这项技术如果能够成功用于人体,将可用于病症、登革热等多种疾病的预防。目前,该类技术正在做小鼠的皮肤疫苗实验。

涂层微针是由涂有药物溶液或分散体的实心微针组成。微针被药物溶液或药物分散层包围。随后药物从该层中溶解, 药物被快速释放。可以装载的药物量取决于针尖涂层的厚度和针的尺寸。近年来,涂层微针逐步替代了固体微针,它们的制备材料与制备方法相似,但涂层微针的针尖表面被药物溶液包围,使用时药物可随微针进入皮肤后快速释放。因此其操作步骤更为简单,具有长时间保持药物活性的优势。因此涂层微针、空心微针和可溶性微针在给药领域的应用较为普遍。微针阵列经过多年的摸索，其工艺逐渐趋于成熟。

目前，文献中报道较多的干电极的制作材料主要包括：单晶硅、金属（钛、镍、不锈钢）、 高分子聚合物和玻璃等。有人在单晶硅片上采用深反应离子刻蚀技术工艺制备了高度较高的实心微针阵列。有人在钛薄板上利用微加工工艺制备了钛微针用于经皮给药系统的研究。有人利用深曝光的方法制备了甲基丙稀酸甲酯（PMMA）微针用于脑机接口系统。虽然干电极的制作材料多种多样，其基材的选择主要考虑以下几个因素：1）材料的生物相容性；2）微针阵列的机械强度；3）材料加工工艺的复杂度及工艺成本。随着研究的深入，新型的微针也陆续被开发出来。上海微针加工

硅微针的制造方法已经趋于完善。上海中晶微针晶圆

实心微针阵列是不含药物的微米级阵列,实心微针阵列具有锥形的针尖,它能够穿透皮肤的角质层,为后续的药物递送创建微小的通道。实心微针阵列通常是由金属、硅或者陶瓷制作而成,用于皮肤预处理。在接种疫苗时,实心微针首先刺在皮肤上产生微小的通道, 然后使用疫苗溶液或其他含药物的材料,例如装载药物的水凝胶,药物通过微通道递送至皮肤,从而实现药物接种。过去的几项研究已经证实,白喉等疫苗、乙型肝炎疫苗和疟疾疫苗可以通过微通道渗入皮肤并产生有效的免疫反应。上海中晶微针晶圆

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