为保证叉指电极的良率和性能，所有工艺步骤均在超净间内完成，采用剥离工艺进行电极制作。首先，利用热氧化生长500 nm 二氧化硅硅片以确保衬底的绝缘性。将硅片用乙醇、超纯水超声清洗，浙江叉指电极加工制造，并氮吹干燥保证表面洁净。然后旋涂光刻胶，前烘后进行光刻，其中不同尺寸的叉指电极选用不同尺寸的掩膜版，浙江叉指电极加工制造。在光刻，浙江叉指电极加工制造、显影将电极图形转移至二氧化硅衬底后，用氧等离子体刻蚀去除残胶。然后电子束蒸发沉积一层 10nm/70nm 的Cr/Au，其中Cr为金电极的黏附层。依次在乙醇、超纯水中进行超声清洗，完成剥离后切片即得到叉指电极传感器。叉指电极可用于96孔电极板的制备。浙江叉指电极加工制造

对于柔性叉指电极，电极层的厚度和电极材料对失效形式也有较大影响。金属层较厚时，拉伸导致的机械损伤往往会令导体完全裂开，使得电流中断。相较而言，较薄的金属层在受到较大的拉应力时，虽然会在电极层中产生微裂纹，但这些裂纹不会从电极的一端延伸到另一端，虽然电极的阻值有所增大，但仍能够保持导电路径的连通。电极断路主要发生在柔性电极中，在反复拉伸、扭转、弯曲实验中电极容易发生断路现象，该种方式导致的电极失效时间与电极金属层材料和微观结构、电极金属层厚度以及电极金属层缺陷有很大关系。江苏MEMS叉指电极生物传感器领域内，衬底材料主流发展方向之一。

蒸镀和溅射等方法在薄膜电极制备领域中具有精度高和洁净度好等优势。利用蒸镀和溅射方法将电极搭载于柔性印刷电路板（FPC）上直接与外部检测体系相连。微型三电极系统由金电极(工作电极)、铂电极(对电极)与 Ag/AgCI电极(参比电极)组成，单个电极尺寸为0.5 mm x0.7 mm,单次检测所需样品量约10 ~20 L。当三电极外接检测电路后,可通过多步电位法和计时电流法,无酶、快速、定量地检测人工汗液(pH=4.7)中的葡萄糖浓度线性检测范围为50~500 umol/L检出限为20 umol/L。

柔性叉指电极使用过程中会发生弯曲或折叠，可使电场分布发生变化，相邻叉指电极的电容值与弯曲或折叠角度相关。叉指电极的电容值和灵敏度随着弯曲或折叠的角度增大而降低。柔性电极的基体有更低的硬度和杨氏模量，拥有很好的回弹性，同时根据不同的应用场景，对热稳定性、渗透性、透光性、附着性和防水性等也有不同程度的要求。柔性电极多采用聚合物作为其柔性衬底，常见的聚合物包括聚对苯二甲酸乙二醇酯（PET）、聚酰亚胺（PI）和聚萘二甲酸乙二醇酯（PEN）等，但 PET、PEN、PI 等常见的高分子塑料衬底只有可弯曲性而缺乏拉伸性，考虑到开发具有优异拉伸性的弹性衬底也是非常有必要的。因此，其他材料比如聚二甲基硅氧烷（PDMS）、热塑性聚氨酯（TPU）、脂肪族芳香族无规共聚酯（Ecoflex）和聚合物水凝胶等，都是具有低弹性模量和高可拉伸性的衬底材料。叉指电极是实现电子皮肤的重要部分。

叉指电极是一种可以在阻抗传感器中作为信号转换器的电极形式,其检测时,首先将电极连入电化学工作站来获得分布在其周边的电场，由于细菌等待测物可与电极表面的抗体等目标受体发生特异性反应,引起周围电场变化，因而可以通过电化学阳抗谱技术检测到其表面发生的阻抗变化，从而进一是检测出待测微生物的浓度。基于金层的叉指电极的检测牛奶中体细胞数的阻抗生物传感器，其不仅能够正确区分出的不同浓度的试验奶样,而且还得出了其传感器等效电路中常相位角元件阻值与其检测的牛奶中体细胞数具有较好线性关系的结论。柔性生物电极凭借其可延展或弯曲等力学性能优势，同时伴随着微纳工艺、材料科学等技术的发展。河南叉指电极生产

容性生物电极通过介电层形成电容耦合完成信号采集。浙江叉指电极加工制造

基于生物电信号存在的测量难点，故对医用叉指生物电极的性能提出了相应的需求：1）由于生物电具有频率低甚至接近直流的特点，所以生物医用电极一般要求具有良好的导电性能；2）电极电位稳定，极化电位小，电位波动小；3）电极自身阻抗值小；4）不易产生运动伪迹；5）安放简易且不易脱落；6）无毒无害，对人体刺激小等。目前常用的电极包括有，标准氢电极、饱和甘汞电极、Cu/CuSO4 电极以及Pb/PbCl2 电极等，但它们自身的特性和缺陷以及应用范围不尽相同。浙江叉指电极加工制造

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