检漏仪的基本原理与结构：检漏仪一般由质谱管，真空系统和电子系统组成。其中质谱管包括离子源，质量分析器和离子检测器; 真空系统一般由分子泵、机械泵、电磁阀和真空计组成。离子源的作用是将原子电离成带电离子并聚焦成束，以一定能量注入分析器，目前常用的电子轰击型离子源有尼尔型和震荡型两种形式。分析器的作用起将各类离子按其质荷比的不同实现分离。离子检测器的作用是手机质量分析器所选定的氦离子流并加以放大，再通过比对运算，得出泄漏率，真空系统的作用是获取质谱过程所需的真空，同时完成被检件的抽空和氦气的引入。真空系统一般由分子泵、机械泵、电磁阀和真空计组成组成。按照真空系统的不同结构，检漏仪分为常规系统和逆扩散两种。常规系统多用于早期的检漏仪，该种检漏仪的被检件与高真空部分直接相通，由被检件泄入的氮气首先到达质谱管被检到，盐城气密检漏仪，因而具有较高的灵敏度，但是会对质谱管有污染。逆扩散系统检漏仪与常规系统相比，被检件只与低真空相通，盐城气密检漏仪，因此只需将被检工件抽至低真空就能进行检漏，盐城气密检漏仪，氦气是逆扩散到质谱管，不会对系统有污染，因此被普遍采用，已成为市场的主流产品。检漏仪具备强力的数据监控和存储能力。盐城气密检漏仪

氦气检漏仪能为不同的需求提供不同的测量方法，检漏仪系统的检漏仪关键部件均为进口，性能稳定可靠。不但灵敏度高，而且操作方便，能够双灯丝自动切换、自动调零、自动校准和自动量程切换。检漏仪可以对具有内腔的微电子或半导体器件封装的气密性进行细检漏。此检测方法使用的示踪气体选择了氦气，氦气具有质量数小、重量轻并且有渗透能力强的优点，达到了细检漏的目的。检漏仪特点：1.检测时间和周期非常短，可以达到5s以内；2.检测的介质比较常用，只需压缩空气即可；3.不会受到主观因素判断的影响；4.检测的数据精确；5.自动生成数据保存，可追溯数据来源。真空检漏设备生产厂家对于不同的目的，可以选择不同的检漏仪来完成漏检任务。

正确使用氦气检漏仪：如果气密检漏仪在运行过程中没有在高压下进行泄漏测试，那么氦气检漏设备就不能检测到一些泄漏孔。因此，在检漏过程中使用较高的测试压力可以有效地检测实际操作中没有出现的泄漏孔。检漏试验中的可检测泄漏率与检漏气体的背景浓度有很大关系，背景浓度越高，波动越大。如果泄漏测试后泄漏检测气体排放到泄漏检测区域，背景浓度将在整个工作日持续增加。此外，在加注或排放过程中，确保没有气体溢出，并定期检查连接件是否有泄漏。如果检漏气体泄漏氦和氢，它将像气球一样飞到检漏区的室顶，并逐渐漂浮在整个检漏区。因此，应该为泄漏测试区域提供足够的通风。由于两种泄漏检测气体都倾向于向上移动，因此建议从底部输入新鲜空气，从顶部向外排放气体。

检漏仪有测量误差的原因：第1，当检漏仪的校准灵敏度时，标准泄漏的位置不同于被检测泄漏的位置，即标准泄漏与被检测泄漏到检漏仪之间的距离太大，在途中泄漏的氦损失不相等，导致两者进入检漏仪的氦可比性差。第二，氦压或分压比不等于被检漏孔和标准漏孔，或氦压力和分压比值不能准确给出，导致无法转换，也会产生漏率测量误差。第三，标准漏孔的标称漏率存在误差。第四，检漏仪输出指示与漏率线性关系差。第五，当校准灵敏度或通过比较法确定泄漏率时，标准泄漏的气流特性不同于检测到的泄漏。检漏仪系统对密封容器的使用性能有什么帮助？

检漏仪的整体结构:一、质谱室,形象的说，质谱室是检漏仪的心脏，由离子源、分析器和电气系统三个部分组成，并将冷阴极磁控规也放在其内，共用其磁场。为了有利于微小的粒子流放大，将一级放大用高阻及静电计管也放在质谱室之内。质谱室壳由非磁性材料制成，内部抽空，而外部设置成磁铁形成磁分析器的磁场。二、真空系统,真空系统是提供质谱室正常工作的条件。由于钨阴极正常工作时需要具备0.001-0.01Pa的真空度，同时保证氦离子在分析器中的运动有较高的传输率，因此建立一个高真空系统是必要的。系统中的节能阀则是为了满足质谱室工作压力的调节，该阀全开时检漏灵敏度较高，因此在条件允许情况下开启大些为宜。检漏时为了校准检漏灵敏度，系统中设置了标准漏孔。检漏仪检漏时出现的故障：氦本底太高，检查机械泵油是否失效，检查仪器系统是否有漏。常州密封检漏仪供应厂家

检漏仪内部泄漏怎么处理？盐城气密检漏仪

检漏仪在火电厂的应用：检漏仪先在质谱室中将采集的被测气体电离，再利用电磁场将不同荷质比的离子加以分离检测，从中检测出事先安排的示踪氦离子，主要由三大组件构成:真空系统、质谱室和电子学控制单元。检漏仪内部配有一台旋片式真空泵，用以维持仪器内部的高真空。质谱室是检漏仪的重点部分，它包括离子源、聚焦、质量分析器和测量部分。质谱室入口连接在涡轮分子泵的前级真空部分，分子泵对不同的气体具有不同的压缩比特性，氦气的压缩比很小，可以逆着分子泵的抽气方向流动进入质谱室。在质谱室中氦气被电离，氦离子通过质量分析器的筛选到达收集极，产生一个正比于离子数量的电流信号，该信号经过放大和处理即为泄漏率。盐城气密检漏仪

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