在微加工工艺中，主要采取硅、玻璃和高分子材料作为基底。硅作为一种半导体材料，具有良好的导电性能，作为叉指电极MEA基底时,需要在表面热生长一层SiO2,隔离金属层和硅基底之间的导电通路出于金属-氧化层-硅具有光电效应，对光敏感在检测中，光照在硅-SiO2 产生的光生电流能被金属电极输出到检测电路，增加信号的噪声幅度，河南玻璃叉指电极，河南玻璃叉指电极。在实验中发现，此噪声幅度可达几十到几百微伏，因此采用硅基底的 MEA 需要避光检测。相比于硅，玻璃具有良好的绝缘性，河南玻璃叉指电极、透光性和耐热性，具有成熟的加工工艺，在生物实验中便于采用倒置显微镜观察，被采用于 MEA 芯片的基底材料。为了降低成本，聚对二甲苯(Parylene)和聚酷亚胺 (Polyimide)也用来作为底材料。这些高分了材料具备良好的绝缘性，耐高温，灵活的可塑性，显示了良好的生物相容性，对细胞的活性没有明显的影响。在本实验室的实践过程中，也尝试采用PCB板加工MEA芯片，然而工艺中电极精度受到限制，电极尺寸限于80um，远远低于微加工工艺的芯片加工精度。叉指电极是一种能对目标物质进行定量或半定量分析的集成设备。河南玻璃叉指电极

三电极体系是指工作电极、对电极和参比电极均在微电极芯片上制备。工作电极采用金电极作为基底电极,参比电极可采用丝网印刷或银膜氯化的方法制备全固态微型银/氯化银电极，对电极则为片上铂电极。溶液中的葡萄糖被电极表面固化的酶还原产生过氧化氢，对工作电极施加电压，电离过氧化氢产生氢离子，促进电流从工作电极流出。此时电流大小与电离产生的电子量成正相关，反应速率决定电流大小从而得到血糖浓度。控制回路由 WE 和 RE 组成，维持施加在工作电极上的电压恒定，且回路中不包含极化电流，不影响极化状态和系统的稳定性。上海Pt叉指电极微叉指电极阵列是以检测电兴奋类细胞如心肌细胞、神经网络等的电生理活动的一类细胞传感器。

在电化学生物传感器中，由相对交叉排列的微叉指电极之间产生一个平行板电容场，由打开的电极，向被测材料提供单边测试区域，两电极板和之间产生电场线。叉指电极原理为，传感器产生的电场线穿透到被测物中并改变传感器的阻抗，由于传感器表现为电容，容抗则成为系统性能的函数。因此，通过测量被测物对传感器的电容电抗,可以评估系统的性能。由于叉指传感器的电极是共面的，因此被测电容会给出很高的信噪比，为了获得较强的信号，该传感器的电极重复平面阵列。

工作电极表面产生的氧化还原，并在电压的作用下进一步电离得到游离电子，上式为葡萄糖氧化还原反应的化学方程。葡萄糖氧化酶氧化葡萄糖产生葡萄糖酸和过氧化氢，过氧化氢的强氧化力，使氢离子不会还原成氢。电流使过氧化氢解离以获得两个自由电子。根据测得的电荷数，可以计算出葡萄糖浓度。实际应用中，不可避免存在微量的反应电流会流过参比电极，改变控制回路的电压，产生错误的测量结果。因为这种现象的存在，必须要恒电位电路来满足三电极稳定工作条件的这一特性。柔性生物电极凭借其可延展或弯曲等力学性能优势，同时伴随着微纳工艺、材料科学等技术的发展。

心血管疾病是人类死亡的首要病因，为了有效预防，需要对患者进行实时的心电监测。心电信号能够直接反映心脏的工作状态，是发现及预防房颤、心率失常和心肌缺血等心脏异常活动的重要依据。心电叉指电极可以将人体内离子流转变为可检测的电子流信号，心电电极需要具有良好的导电性、佩戴舒适性、出色的拉伸弯曲性能，以满足皮肤的变形通常皮肤的形变量在 30%以内）以及低皮肤电极阻抗，减少心电测试过程中的噪声和运动伪影。采用纳米纤维基心电电极作为技术路径，通常由具有纳米结构的基底材料和导电材料制得，纳米纤维基心电电极主要通过静电纺丝制备，拥有良好的心电信号采集能力。将热塑性聚氨酯（TPU）与聚（苯乙烯-b-丁二烯-苯乙烯）（SBS）混合液静电纺丝制成纳米纤维网，然后化学镀银制成心电电极。容性生物电极的一个很大的优势便是能够借助介电层的隔离保护作用，避免漏电流存在而造成触电损害。上海玻璃叉指电极

叉指电极导电层为金属层，采用物理方法制备，包括蒸镀、磁控溅射、丝网印刷、喷墨打印。河南玻璃叉指电极

平面叉指电极传感器是一种低成本、小型化，在线式且适合集成的用于无机物离子检测的传感器，采用浸入式检测方式。根据阻抗特性可以将叉指电极传感器划分为 3种类型，第 1 种类型为电感类型，具有电感特性的传感器通常被用作导电性和磁性材料完整性的无损检测。第 2 种类型是电容类型，通常表现为叉指状电极，这种传感器的应用包括纸浆水分含量的测量，特定细菌检测，人体皮肤表面含水量测量，化学传感器，食品安全检验等。第 3 种类型是电感性和电容性结构的结合，也可被分类为可远程操作的无源传感器，比如用于土木工程材料、含水量的实时监测。河南玻璃叉指电极

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