检漏仪的应用已从科学院、大专院校、实验室及少数科研机构走向工矿企业，甚至乡镇企业、个体企业，可以说应用领域极其宽广。航空航天高科技工业的应用，例如火箭发动机及姿态发动机，过去是打压刷肥皂水检漏，现在重新改进工艺用检漏仪检漏，与氦罩法结合，使检漏灵敏度大幅提高，从而保证了发动机质量。火箭箭体的检漏采用氦罩法，南通氦气检漏设备、累集法等几种方法的结合。由于检漏技术的应用，南通氦气检漏设备，提高了检漏灵敏度，弥补了吸入法检漏时仪器灵敏度低的不足，南通氦气检漏设备。电力行业中，电厂的检漏、高压变压器、高压电容器、高压开关管及其它元器件也都相应的采用氦质谱检谱检漏仪，用不同方法进行检漏。电子行业的应用微波发射管、电子管、晶体管、集成电路、密封继电器、各类传感器、起博器。检漏仪内部泄漏怎么处理？南通氦气检漏设备

检漏仪怎么选择适合的检漏方法？ 氦质谱检漏的实际应用方案很多，常用的三种检漏方法有负压法（抽真空），正压法（吸入法）和背压法（压氦法），可以发现有不同的叫法，这是根据不同的检测方式命名的。采用什么方法要视被检件的结构、检漏的经济效益及检漏系统的性质来决定。根据不同的检漏目的，常用基础的有3种检漏方法。负压法（喷氦法），对被检工件抽真空，可对被检工件外可疑漏点喷氦，也可将工件罩起来对氦罩内喷氦，可根据工件容积大小选配辅助泵或不加辅助泵，可检测工件的具体漏点和准确漏率；正压法（吸入法），可分为真空箱法和吸口法两张模式，真空箱法详见真空箱式氦检成套设备，工件内充氦气，吸抢检测，可根据工件漏率选择性充入一定比例混合氦气，可检测工件的具体漏点，检测精度高。背压法，可根据工件大小定制罐体大小；可检测工件的整体漏点；检测精度较高。南通氦气检漏设备避免电离室泄入有害气体可以有效延长检漏仪的灯丝寿命。

检漏仪启动流程：1、将总电源转到“前级泵”，低真空表头指示值应从左向右逐渐上升至2~15Pa，开抽速阀，开漏孔开关，表头示值也应能抽到原来位置，再关抽速阀。2、将总电源转到“扩散泵”，灯亮，扩散泵开始加热。3、等20分钟左右，扩散泵排气管应热，开冷规开关，“质谱室压强”表头指针应从左打向右(即冷规已激发)再关冷规。4、开抽速阀，过几分钟后开冷规，表头指针应从左打向右，再从右向左逐渐上升(真空示值在1×10-2Pa以下请不要长时间开冷规，可等一会儿再开)，当真空示值超过1×10-2Pa后，可启动灯丝，灯亮，“发射电流”有指示，开、关漏孔检查检漏仪灵敏度(可调加速电压使信号指示Zda)，灵敏度达要求后关漏孔。5、将工件用外接泵抽上真空后，开节流阀至冷规指示值为5×10-3~1×10-2Pa之间，对工件喷氦检漏。检漏完，关节流阀。

检漏仪的基本原理与结构：检漏仪一般由质谱管，真空系统和电子系统组成。其中质谱管包括离子源，质量分析器和离子检测器; 真空系统一般由分子泵、机械泵、电磁阀和真空计组成。离子源的作用是将原子电离成带电离子并聚焦成束，以一定能量注入分析器，目前常用的电子轰击型离子源有尼尔型和震荡型两种形式。分析器的作用起将各类离子按其质荷比的不同实现分离。离子检测器的作用是手机质量分析器所选定的氦离子流并加以放大，再通过比对运算，得出泄漏率，真空系统的作用是获取质谱过程所需的真空，同时完成被检件的抽空和氦气的引入。真空系统一般由分子泵、机械泵、电磁阀和真空计组成组成。按照真空系统的不同结构，检漏仪分为常规系统和逆扩散两种。常规系统多用于早期的检漏仪，该种检漏仪的被检件与高真空部分直接相通，由被检件泄入的氮气首先到达质谱管被检到，因而具有较高的灵敏度，但是会对质谱管有污染。逆扩散系统检漏仪与常规系统相比，被检件只与低真空相通，因此只需将被检工件抽至低真空就能进行检漏，氦气是逆扩散到质谱管，不会对系统有污染，因此被普遍采用，已成为市场的主流产品。检漏仪在高压容器空调制冷设备制造等领域，必须模拟具体工作条件进行检漏。

检漏仪中使用防返油阀的目的：主要是防止机械泵中的油，在检漏仪停止工作时，从机械泵内返到检漏仪的阀座内，导致检漏仪无法正常使用。防返油通常是装配在机械泵的进气口，另一端与分子泵的排气口连接。在通电后，防返油阀内部打开，使分子泵排气口和机械泵进气口导通。气流沿分子泵进入机械泵。在断电后，防返油阀内部关闭，外界的空气沿阀内部的通道进入阀的出气口，使机械泵进气口达到大气压状态。从而防止机械泵油从进气口返出。优点：防返油阀，能够很好的避免因机械泵故障，导致返油到检漏仪阀座和分子泵的概率。能够更好的保护检漏仪。检漏仪能实现复杂结构之下的漏孔定位测量。安徽多功能检漏仪生产厂家

质谱室是检漏仪的重点部分，它包括离子源、聚焦、质量分析器和测量部分。南通氦气检漏设备

检漏仪的应用特点：(1)便携式：各国推出的小型便携式检漏仪不但灵敏度高，而且便于携带，给野外作业和高空作业提供了比较大的方便。(2)高压强下检漏：检漏口压强可高达数百帕左右，对检测大系统和有大漏的工件很有益。(3)自动化程度高：自动校准氦峰，自动调节零点，量程自动转换，自动数据处理，可外接打印机。整机由微机控制，菜单选择功能，一个按钮即可完成一次的全检漏过程。(4)全无油的干式检漏：有些国家生产的检漏仪，可采用干式泵，达到无油蒸气的效果，为无油系统及芯片等半导体器件的检漏，提供了有利条件。(5)检漏范围宽：现今生产的四极检漏仪，质量范围很宽，不但可检测氦气，而且能检测其它气体。分子泵排气系统取代扩散泵排气系统，不但解决了油蒸气对质谱室的污染问题，而且对快速启动仪器和快速停机做出了很大贡献。为适应检漏口压强的变化和对灵敏度要求的不同，分子泵一般采用多级构造和几种不同的转速。南通氦气检漏设备

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