微叉指电极是在电极两端加小振幅正弦激励信号以产生穿过被测物的电场来改变传感器的阻抗，从而得到被测物浓度与阻抗信号之间的变化关系。叉指电极材料、结构仿真、结构实验和修饰等影响传感器的灵敏度，阻抗变化来自电极表面的受体与目标分子结合，北京血糖测试叉指电极、细菌或细胞增殖，北京血糖测试叉指电极，北京血糖测试叉指电极、以及用做标记信号放大的活性酶引起的介质离子浓度变化等。检测细胞数量的阻抗生物传感器的阻抗变化主要来自于电极表面病原菌细胞的免疫结合反应产生的阻抗变化或细胞浓度不同引起的溶液介电常数变化引起的阻抗变化。微纳加工工艺所制造的叉指电极功能层薄膜厚度在纳米级。北京血糖测试叉指电极

电化学传感器是一种通过传感器与水体中相关物质发生电化学反应来定量测量的一种检测 手段，以电极为载体，当水体中某些粒子与电极表面 的物质发生电化学反应时，其中交流阻抗法是通过电极间的阻抗值来反映水溶液的特定物质浓度的变化，从而可以实现实时测量。目前，传感器逐步走向小型化和集成化的方向，其中叉指电极具有阻抗低，快速建立稳态信号，信噪比高等优点。现有研究表明，叉指电极的宽度、间距和厚度都是会影响传感器灵敏度的重要参数。河北微纳叉指电极电化学叉指电极是一类以微生物作为识别元件的生物传感器。

由于金属层中，电极位点和细胞及其培养环境直接接触，因此它的生物相容性，电化学特性等都是材料选择中需要考虑的。在已有的工作中，主要有金(Au)、铂(Pt)、铱 (Ir)、氧化锡(ITO)等稀有金属被采用为金属电极材料。它们具有良好的物理和化学稳定性，采用溅射或蒸发的工艺可沉积到基底[，并刻蚀出金属层的电极、引线阵列。ITO 电极在是一种透明的半导体材料，成功检测到了神经细胞的电生理信号并能观察到其生长过程，但是信号信噪比较低，因此较多采用为引线的材料。相比之下，Pt 具有较高的交换电流密度；Au 具有较好的延展性；Ir则较难加工，因此Au 和Pt在叉指电极加工中采用的多。在加工时，为了增强金属层的粘附性，需要先在基底上溅射或蒸发粘附层，通常采用 Ti，TiW，Cr 等材料。

叉指电极制备方法包括薄膜沉积，通过化学或物理方法把厚度在微纳米级别的薄膜沉积在衬底表面的微纳加工方法。化学方法如化学气相沉积、外延、热氧化等，通常伴有副产物的产生。物理方法包括蒸镀和溅射，是利用物理过程使被沉积材料直接沉积到衬底表面形成薄膜，不发生化学反应。本工作中薄膜沉积为电子束蒸发，是在真空条件下利用电子束进行直接加热蒸发材料，使蒸发材料气化并向衬底输运，在衬底上凝结形成薄膜的方法。电子束蒸发沉积法可以制备高纯薄膜同时在同一蒸发沉积装置中可以安置多个堆塌，实现同时或分别蒸发，沉积多种不同的物质。通过电子束蒸发，任何材料都可以被蒸发，不同材料需要采用不同类型的堆塌以获得所要达到的蒸发率。叉指微电极细胞传感器将会朝着超微型化、集成化、阵列化和实时在线检测等方向发展。

工作电极表面产生的氧化还原，并在电压的作用下进一步电离得到游离电子，上式为葡萄糖氧化还原反应的化学方程。葡萄糖氧化酶氧化葡萄糖产生葡萄糖酸和过氧化氢，过氧化氢的强氧化力，使氢离子不会还原成氢。电流使过氧化氢解离以获得两个自由电子。根据测得的电荷数，可以计算出葡萄糖浓度。实际应用中，不可避免存在微量的反应电流会流过参比电极，改变控制回路的电压，产生错误的测量结果。因为这种现象的存在，必须要恒电位电路来满足三电极稳定工作条件的这一特性。叉指电极是实现电子皮肤的重要部分。河北微纳叉指电极

叉指电极可用于检测食源致病菌，食源致病菌通常直接或间接污染食物或或饮用水。北京血糖测试叉指电极

溅射或蒸发工艺后的金属层表面光滑，微米尺寸的电极具有较大的基线噪声和波动，因此增加电极的比面积可以增加电极和溶液的有效接触面积，从而来降低电极的阻抗和噪声。通常所采用的电极表面修饰材料有: TiN、Ir、铂黑碳纳米管等，在修饰到裸金或铂电极上后，电极表面出现纳米结构，增加了电极表面的粗糙度。TiN 通过反应溅射法在氮气和氟气混合气体中粘附到金或铂电极上， TiN 具有规则的柱状纳米结构，表现出稳定的电学和机械特性，被采用在商业化生产的叉指电极上。相比之下，采用阴极氧化方法加工的Ir虽然具有较大的表面电荷负载，但是其电荷注入能力较差，不适合用于刺激电极，此外其电学特性不稳定，表面是现不规则的龟裂结构。出于铂黑采用恒电流或恒电压电镀方法修饰到电极表面，装置和电镀液成本较低，操作简单，较多采用。电镀铂黑后的电极表面出现棉絮状的纳米结构，比面积达到电极几何面积的 10~100 倍，在实验中具有较好的效果。然而相比TiN，电极表面的铂黑颗粒容易脱落，电极寿命较短。北京血糖测试叉指电极

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