叉指电极制备方法包括四个步骤：(1)衬底清洗。首先需要对基片进行清洗,本工作中所用二氧化硅硅片在购得洁净硅片的基础上，再依次进行乙醇、去离子水的超声清洗。 (2) 光刻。光刻是一种将掩膜版上图形转移到衬底表面的技术，湖南叉指电极，在大规模集成电路制造中有应用，其主要利用紫外光照射光刻胶使其化学性质改变，然后去除相应光刻胶，得到掩模版上的图形，进而作为后续工艺的掩模。(3) 薄膜沉积。主要包括物理方法和化学方法沉积。(4) 剥离(lift-of)。剥离是在衬底上进行薄膜沉积后，通过去除光刻胶的方法使附着在光刻胶上的金属脱附，湖南叉指电极，直接沉积在衬底的金属被保留，形成电极图形。剥离工艺的优势是操作简单、成本低廉，而且去胶过程中不会对衬底产生刻蚀损伤。叉指微电极细胞传感器将会朝着超微型化，湖南叉指电极、集成化、阵列化和实时在线检测等方向发展。湖南叉指电极

微叉指电极阵列是基于 MEMS (Micro-ElectroMechanicalSystems)微加工技术，将具有和细胞尺寸匹配的金属电极阵列加工在硅或玻璃基底上的一类芯片，用于多通道同步检测细胞胞外电生理信号。微叉指电极阵列的基本结构包括3个部分: 绝缘基底，金属层电极阵列,钝化层。加工后的芯片中，金属位点暴露于细胞生存环境，并和生长在电极位点或附近细胞形成电耦合结构。当具有电兴奋特性的细胞生长在电极上时，其动作电位引起电极表面电势的变化，即为检测到的细胞胞外电位。金属层上的引线用于输出检测到的信号，它们被钝化层包裹避免和外界接触。焊盘暴露，般在采用打金线或压片的方法将焊盘和外界电路导通后用环氧树脂包袋，避免和细胞生长环境接触，并将信号输出至外界处理电路。天津铂叉指电极电极阵列导电层与生物组织无需直接接触就能够通过电容耦合的形式对生物信号进行采集。

柔性叉指电极由柔性衬底材料和柔性导电材料构成，导电层作为重要部件，具有采集和传导电信号的作用。目前制备柔性微电极常用的导电层材料包括：1、碳系材料，如碳纳米管、碳纤维、碳黑、石墨烯等，其优点是成本低、导电性好，化学稳定性好；2、导电聚合物，如聚苯胺、聚吡咯、聚噻吩、聚乙炔等，其优点在于良好的稳定性和生物相容性；3、金属氧化物，如二氧化锰、氧化镍、四氧化三钴等，其优点是比热容较高，发生化学反应是可逆的；4、金属，如金、铂、银和铑等，其优点是优异的导电性、耐热性、受温度影响小。

在电化学生物传感器中，由相对交叉排列的微叉指电极之间产生一个平行板电容场，由打开的电极，向被测材料提供单边测试区域，两电极板和之间产生电场线。叉指电极原理为，传感器产生的电场线穿透到被测物中并改变传感器的阻抗，由于传感器表现为电容，容抗则成为系统性能的函数。因此，通过测量被测物对传感器的电容电抗,可以评估系统的性能。由于叉指传感器的电极是共面的，因此被测电容会给出很高的信噪比，为了获得较强的信号，该传感器的电极重复平面阵列。柔性电子器件可以利用各种功能材料，通过力学与电子学的完美结合，实现柔性工作环境下的器件功能。

微叉指电极是在电极两端加小振幅正弦激励信号以产生穿过被测物的电场来改变传感器的阻抗，从而得到被测物浓度与阻抗信号之间的变化关系。叉指电极材料、结构仿真、结构实验和修饰等影响传感器的灵敏度，阻抗变化来自电极表面的受体与目标分子结合、细菌或细胞增殖、以及用做标记信号放大的活性酶引起的介质离子浓度变化等。检测细胞数量的阻抗生物传感器的阻抗变化主要来自于电极表面病原菌细胞的免疫结合反应产生的阻抗变化或细胞浓度不同引起的溶液介电常数变化引起的阻抗变化。叉指电极是实现电子皮肤的重要部分。浙江玻璃叉指电极

柔性电子较高的力学性能使其更加适用于可穿戴电子、人机交互、软体机器人等电子领域。湖南叉指电极

丝网印刷银/氯化银电极用作参比电极时，其性能一般通过电位稳定性、电位漂移率、使用寿命、水合期、保质期等来表征。此外由于银/氯化银电极还可用作生物医用电极，所以当丝网印刷银/氯化银电极用作医用电极时，接触阻抗、信噪比等也可对电极性能进行表征。电位稳定性是指其电位随时间的波动性，波动性越小稳定性越好，参比电极和医用电极的稳定性都直接影响着测量的准确性与可靠性。电极的漂移率指的是其电势在恒定条件下改变的速率，漂移率越低，电极性能越好。使用寿命是指银/氯化银电极在维持工作状态下的有效时间。使用寿命根据应用而存在不同，所需寿命通常可以在几分钟到一年的范围内。如在分析化学中所需电极是一次性的，则其使用寿命可能是几分钟，而对于某些需长期检测的应用而言，其使用寿命应至少几个月。湖南叉指电极

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