在各类生物传感器中，葡萄糖传感器在食品、医药和生物等领域均有应用。据资料显示，到2030年，全球糖尿病患者达到5.5亿。在诊断及*****的过程中，葡萄糖浓度检测是必不可少的，上海玻璃叉指电极。现在检测葡萄糖浓度的方法主要有比色法、荧光法、色谱法和电化学法等，上海玻璃叉指电极，其中电化学法以便捷、操作简单、价格低廉等优势成为重要检测手段。电化学法一般采用的为叉指电极或三电极系列作为检测信号和电信号传输的工具，若采用体内葡糖糖检测，则需要采用柔性电极。微电极具有微创、无痛或微痛，上海玻璃叉指电极、成本低、和操作简易、可降解的特点。上海玻璃叉指电极

由于金属层中，电极位点和细胞及其培养环境直接接触，因此它的生物相容性，电化学特性等都是材料选择中需要考虑的。在已有的工作中，主要有金(Au)、铂(Pt)、铱 (Ir)、氧化锡(ITO)等稀有金属被采用为金属电极材料。它们具有良好的物理和化学稳定性，采用溅射或蒸发的工艺可沉积到基底[，并刻蚀出金属层的电极、引线阵列。ITO 电极在是一种透明的半导体材料，成功检测到了神经细胞的电生理信号并能观察到其生长过程，但是信号信噪比较低，因此较多采用为引线的材料。相比之下，Pt 具有较高的交换电流密度；Au 具有较好的延展性；Ir则较难加工，因此Au 和Pt在叉指电极加工中采用的多。在加工时，为了增强金属层的粘附性，需要先在基底上溅射或蒸发粘附层，通常采用 Ti，TiW，Cr 等材料。北京Au叉指电极生物叉指电极的基底材料的强度可将其分为两大类：柔性基底电极和刚性基底电极。

电极结构是影响传感器性能的重要因素之一，电极的结构参数包括形状、指宽度、间距、指长、厚度，指对数、指宽比和电极表面的状态，即是否有功能化修饰等。电极厚度对信噪比影响明显，但指数对其影响极小，减小电极宽度和间距可以提高信噪比。被测对象的形态和在传感器表面的分布状态也是设计微叉指电极结构的考虑因素，有研究发现电极间距约为细胞直径的4倍时传感器有较好的灵敏度，在一定范围内增加电极的厚度、减小宽度也能提高传感器的精度。细胞与电极的相对位置也影响测量灵敏度，这种客观的影响因素为微流控技术在微又指电极传感器_上的应用提供了机遇，微流控技术可以控制被测细胞在微叉指电极传感器表面的位置分布。

叉指电极制备方法包括薄膜沉积，通过化学或物理方法把厚度在微纳米级别的薄膜沉积在衬底表面的微纳加工方法。化学方法如化学气相沉积、外延、热氧化等，通常伴有副产物的产生。物理方法包括蒸镀和溅射，是利用物理过程使被沉积材料直接沉积到衬底表面形成薄膜，不发生化学反应。本工作中薄膜沉积为电子束蒸发，是在真空条件下利用电子束进行直接加热蒸发材料，使蒸发材料气化并向衬底输运，在衬底上凝结形成薄膜的方法。电子束蒸发沉积法可以制备高纯薄膜同时在同一蒸发沉积装置中可以安置多个堆塌，实现同时或分别蒸发，沉积多种不同的物质。通过电子束蒸发，任何材料都可以被蒸发，不同材料需要采用不同类型的堆塌以获得所要达到的蒸发率。微间距叉指阵列电极为基础电极，结合酶的生物催化银沉积反应来放大分析信号。

在微加工工艺中，主要采取硅、玻璃和高分子材料作为基底。硅作为一种半导体材料，具有良好的导电性能，作为叉指电极MEA基底时,需要在表面热生长一层SiO2,隔离金属层和硅基底之间的导电通路出于金属-氧化层-硅具有光电效应，对光敏感在检测中，光照在硅-SiO2 产生的光生电流能被金属电极输出到检测电路，增加信号的噪声幅度。在实验中发现，此噪声幅度可达几十到几百微伏，因此采用硅基底的 MEA 需要避光检测。相比于硅，玻璃具有良好的绝缘性、透光性和耐热性，具有成熟的加工工艺，在生物实验中便于采用倒置显微镜观察，被采用于 MEA 芯片的基底材料。为了降低成本，聚对二甲苯(Parylene)和聚酷亚胺 (Polyimide)也用来作为底材料。这些高分了材料具备良好的绝缘性，耐高温，灵活的可塑性，显示了良好的生物相容性，对细胞的活性没有明显的影响。在本实验室的实践过程中，也尝试采用PCB板加工MEA芯片，然而工艺中电极精度受到限制，电极尺寸限于80um，远远低于微加工工艺的芯片加工精度。又指型电容具有特殊的平面电极结构，表面空间电场特性良好，是表面电容传感器的理想选择。福建Pt叉指电极

叉指电极生物传感器主要包含生物识别元件、电化学转换器及信号放大装置。上海玻璃叉指电极

叉指电极是一种可以在阻抗传感器中作为信号转换器的电极形式,其检测时,首先将电极连入电化学工作站来获得分布在其周边的电场，由于细菌等待测物可与电极表面的抗体等目标受体发生特异性反应,引起周围电场变化，因而可以通过电化学阳抗谱技术检测到其表面发生的阻抗变化，从而进一是检测出待测微生物的浓度。基于金层的叉指电极的检测牛奶中体细胞数的阻抗生物传感器，其不仅能够正确区分出的不同浓度的试验奶样,而且还得出了其传感器等效电路中常相位角元件阻值与其检测的牛奶中体细胞数具有较好线性关系的结论。上海玻璃叉指电极

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