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尤其是符合较小条件的评定基准面的位置是按实际表面的形状确定的，不可能在测量之前预先确定。且测量所得到的原始数据中的较大值与较小值并不一定是实际表面上的比较高点和比较低点，故在数据处理之前，一般应根据所测数据对实际表面的形状特征进行大致分析，初步判断实际表面是凸形、凹形、鞍形或其它复杂形态，以免过多重复计算花费时间，必要时还可画出其数据空间分布示意图，进而确定其评定基准面。数据处理方法有：解析法、坐标变换法和投影作图法等。其中坐标变换法对数据处理带有一般性。上海立体化解决方案晶圆测厚仪运用解决方案。

岱珂控制器介绍：CCSOptima+控制器：●测量频率：高达10KHz；●高灵敏度，在多种样品上可以达到有效的高频率；●具备CCS系列控制器的所有优势；CCSPrima控制器：●当下行的光谱共聚焦控制器；●测量频率：高达2KHz；●CCD光电探测器，即便有非常高的信噪比；●2通道和4通道。多通道型号可供选择（传输时间<400ms）；●具备CCS系列控制器的所有优势VIZIR控制器；●高精度的比较好解决方案，非接触式晶片厚度测量；●近红外光谱带；●（测量频率）高达1KHZ；●距离和厚度模式；●数字输出：USB和RS232/RS422●2个0V-10V的模拟输出；●同步读取3个外部数字编码器；●由于特定的厚度校准，提高了厚度模式下的性能；●长寿命光源；●高级功能：“首要峰值”，“双倍频率”，“保持较终值”，时间平均。

7.单支柱移动型(Movingtablecantileverarmtype)单支柱移动型，轴为主轴在垂直方向移动，支柱整体沿着水平面的导槽在轴上移动，且垂直轴，而轴连接于支柱上。测量台沿着水平面的导槽在轴上移动，且垂直轴和轴。此型测量台面、支柱等具很好的刚性，因此变形少，且各轴的线性刻度尺与测量轴较接近，以符合阿贝定理。8.单支柱测量台移动型(Singlecolumnxytabletype)单支柱测量台移动型，轴为主轴在垂直方向移动，支柱上附有轴导槽，支柱被固定在测量仪本体上。测量时，测量台在水平面上沿着轴和轴方向作移动。问题为什么会发生，是否还会再次产生，这种问题是否会导致其它的问题。

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