干式螺杆真空泵由于其优越的性能，在欧美和日本目前已经成为微电子、半导体、制药、精密加工等行业选择获得设备。传动轴连接主动转子，通过同步齿轮带动从动转子旋转，在壳体上开有冷却水通道，用来冷却转子和排气口温度，同步齿轮及轴承用油润滑，轴承和壳体内部通过密封件来密封以达到无油的效果。干式螺杆真空泵同无油螺杆压缩机在密封和润滑上结构类似，一般真空泵的排气端用机械式密封件，进气侧通常用双唇形密封件。在传动方式上，上海干式螺杆真空泵，上海干式螺杆真空泵，上海干式螺杆真空泵，目前通用的是直连电机，用联轴器与转子连接，极少数用皮带或者传动链传动。冷凝水在多级真空泵中具有举足轻重的作用。上海干式螺杆真空泵

便携式真空泵其工作原理同微型真空泵工作原理相同，都是电机的圆周运动，通过机械装置使泵内部的隔膜做往复式运动，从而对固定容积的泵腔内的空气进行压缩、拉伸形成真空（负压），在泵抽气口处与外界大气压产生压力差，在压力差的作用下，将气体压（吸）入泵腔，再从排气口排出。正因为抽气口处或者抽排气口可以与外界大气形成压力差，同时不像大型真空泵需要润滑油和真空泵油，不会污染工作介质，而且具有体积小巧、噪音低、免维护，可以连续24小时运转等优点，上海干式螺杆真空泵卧式往复真空泵一般为有油式，立式多为无油式。

罗茨真空泵由于在泵腔内没有工作介质，实际上也是属于干泵。目前，这种气冷式直排大气罗茨泵及机组已经在石油、化工、塑料、农药、汽轮机转子动平衡。分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵，尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都采用复合分子泵和牵引泵作为主泵。由于分子泵对水蒸气的抽速只为同口径低温泵抽速的四分之一，所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速，国外在分子泵的入口侧装一个-130℃～-150℃的低温冷板，称之为低温分子泵，水蒸汽被低温板捕获，其他气体则由分子泵抽走。

罗茨泵和油增压泵都可以作为中真空泵，分子增压泵有极高的压缩比，这除了使它能获得清洁真空外还具有优异的高真空性能，同时在中真空范围也有较强的抽气能力。这就使分子增压泵成为目前兼有中高真空性能的真空泵，所以只需要与低真空泵配合便能组成性能堪比三级机组的高真空机组。具体地讲由于分子增压泵耐压高，所以可使前级泵易于处于高流量状态；而分子增压泵吸入压力高，减缓了前级泵的预抽负担。这样可以使系统尽快地进入工作压力，保证了设备的使用效率。真空泵是指利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。

水环真空泵用小的结构尺寸，可以获得大的排气量，占地面积也小。压缩气体基本上是等温的，即压缩气体过程温度变化很小。由于泵腔内没有金属磨擦表面，无须对泵内进行润滑，而且磨损很小。转动件和固定件之间的密封可直接由水封来完成。吸气均匀，工作平稳可靠，操作简单，维修方便。水环式真空泵的缺点，效率低，一般在30%左右，较好的可达50%。真空度低，这不只是因为受到结构上的限制，更重要的是受工作液饱和蒸气压的限制。由于水环泵中气体压缩是等温的，故可以抽除易燃、易爆的气体。由于没有排气阀及摩擦表面，故可以抽除带尘埃的气体、可凝性气体和气水混合物。有了这些突出的特点，尽管它效率低，仍然得到了普遍的应用。微型真空泵的介质温度问题。根据通过泵的介质气体的温度，选择要普通型的还是要高温型的。上海干式螺杆真空泵

在真空泵中，相对压强即所测内部压强比“大气压”低多少压强，表示出系统压强实际数值低于大气压强的数值。上海干式螺杆真空泵

对于微型真空泵抽气端阻力的大小可以用仪器测定，把它与泵的技术参数"进气口允许较大阻力"Por值比较就可以知道选型是否合适。通常根据经验采用简便的方法确定，比如下述几种情况都属于负载较大(即泵的抽气端阻力较大)，只能在微型真空泵范围内选型：在泵的抽气端要接很长的管道，或管道弯曲点多、弯曲厉害甚至会阻塞封闭，或管道内孔很小(比如小于φ2毫米)；在管路上有节流阀、电磁阀、气路开关、过滤器等元件；泵抽气口与密闭容器连接，或该容器虽未密闭但进气量较小；泵抽气口与吸盘连接，用于吸附物体(如集成块、精密工件等)；⑤泵的抽气端与过滤容器相连，容器口放置滤网，用于加速液体过滤。上海干式螺杆真空泵

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