检漏仪启动流程：1、将总电源转到“前级泵”，低真空表头指示值应从左向右逐渐上升至2~15Pa，开抽速阀，开漏孔开关，表头示值也应能抽到原来位置，再关抽速阀。2、将总电源转到“扩散泵”，客制化检漏机，灯亮，扩散泵开始加热。3、等20分钟左右，扩散泵排气管应热，开冷规开关，“质谱室压强”表头指针应从左打向右(即冷规已激发)再关冷规。4、开抽速阀，过几分钟后开冷规，表头指针应从左打向右，再从右向左逐渐上升(真空示值在1×10-2Pa以下请不要长时间开冷规，可等一会儿再开)，当真空示值超过1×10-2Pa后，可启动灯丝，灯亮，“发射电流”有指示，客制化检漏机，开、关漏孔检查检漏仪灵敏度(可调加速电压使信号指示Zda)，灵敏度达要求后关漏孔。5、将工件用外接泵抽上真空后，开节流阀至冷规指示值为5×10-3~1×10-2Pa之间，对工件喷氦检漏，客制化检漏机。检漏完，关节流阀。检漏仪可以根据各种检测仪器的日常操作模式和应用情况进行分析。客制化检漏机

检漏仪的基本原理与结构：检漏仪一般由质谱管，真空系统和电子系统组成。其中质谱管包括离子源，质量分析器和离子检测器; 真空系统一般由分子泵、机械泵、电磁阀和真空计组成。离子源的作用是将原子电离成带电离子并聚焦成束，以一定能量注入分析器，目前常用的电子轰击型离子源有尼尔型和震荡型两种形式。分析器的作用起将各类离子按其质荷比的不同实现分离。离子检测器的作用是手机质量分析器所选定的氦离子流并加以放大，再通过比对运算，得出泄漏率，真空系统的作用是获取质谱过程所需的真空，同时完成被检件的抽空和氦气的引入。真空系统一般由分子泵、机械泵、电磁阀和真空计组成组成。按照真空系统的不同结构，检漏仪分为常规系统和逆扩散两种。常规系统多用于早期的检漏仪，该种检漏仪的被检件与高真空部分直接相通，由被检件泄入的氮气首先到达质谱管被检到，因而具有较高的灵敏度，但是会对质谱管有污染。逆扩散系统检漏仪与常规系统相比，被检件只与低真空相通，因此只需将被检工件抽至低真空就能进行检漏，氦气是逆扩散到质谱管，不会对系统有污染，因此被普遍采用，已成为市场的主流产品。密封性检漏仪注意事项检漏仪中使用防返油阀主要是防止机械泵中的油。

检漏仪为什么选择氦气作为示踪气体？1. 氦在空气中及真空系统残余气体中的含量极少 (在空气中约含5.2ppm), 在材料出气中也很少, 因此本底压力小, 输出的本底电流也小. 正因为本底小, 由某些原因引起本底的波动, 亦即本底噪声也就小,因此微小漏率也就能反应出来.灵敏度高.2. 氦的质量小 (相对分子质量为4) , 易于穿过漏孔. 这样, 氦较除氢以外的其他气体通过同一漏孔的漏率就大, 容易发现, 灵敏度高.3. 氦是惰性气体, 不与被检件器壁起化学反应, 不会污染被检件, 使用安全.4. 在氦两侧的是氢 (质荷比为2) 和双电荷原子碳 (质荷比为6) , 质荷比都与氦相差较大. 这样, 它们在分析器中的偏转半径相差也大, 容易分开. 定标找氦峰时, 不易受其他离子的干扰, 因此就降低了对分析器制造精度的要求, 易于加工. 同时, 分析器出口电极及离子源加速极的隙缝也可以加大, 使更多的氦离子通过, 提高了仪器灵敏度。

检漏仪使用的方法取决于检验件的结构、检漏的经济效益和检漏系统的性质。对于不同的目的，可以选择不同的检漏仪来完成漏检任务。便携式检漏仪可以快速找到泄漏点，成本高，适合批量操作；建议使用精度不低于1PPM和20PPM作为泄漏点。请注意，检漏仪应在无风条件下使用。氦质谱分析检漏仪在各个领域的应用有三种关键检漏方法，即正压吸口式、真空泵检漏、工作压力真空泵检漏。在高压容器空调制冷设备制造等领域，必须模拟具体工作条件进行检漏。正压检漏方法普遍应用于正压检漏和相对真空泵检漏两种方法。正压检漏方法有其独特性。正压方法系在容器或产品工件内，充满氦气，然后根据吸口在容器外部扫描仪进行高精度检漏。检漏仪系统对密封容器的使用性能有什么帮助？

检漏仪漏率校准方法：漏率校准，①校准系统的组成校准系统由标准漏孔、截止阀及需校准的氢质谱检漏仪组成。②示值误差通电预热,待复检漏仪启动完成后,采用标准漏孔对复质谱检漏仪进行校准,将一经过校准的标准漏孔接入检漏仪系统，运行检漏仪，待漏率示值稳定后，可以读出标准漏孔漏率的检漏仪示值，同一标准漏孔测量三次，计算检漏仪示值平均值，从而得到标准漏孔漏率与检漏仪示值平均值的示值误差。结束后，将其他量级的标准漏孔依次按此方法接入检漏仪系统进行测试，得到检漏仪在每一量级下漏率的示值误差。如果测试结果有较大偏差，可以考虑检漏仪的自校功能，待完成后，再用标准漏孔进行测试。检漏仪在我国更多真空设备的检查之中得到了普遍的应用。池州气密检漏仪

当检漏仪的校准灵敏度时，标准泄漏的位置应不同于被检测泄漏的位置。客制化检漏机

检漏仪可以用于镀膜设备的检漏。镀膜设备氨质谱检漏，1.将氨质检漏仪启动完成，再将检漏仪内部的检漏方式，设置为“停止不放气”。2.按‘停止’键，使检漏仪处在“待机”状态。3.将检漏仪检漏口和真空炉或镀膜机通过波纹管连接，可在波纹管一端加高真空手动挡板阀。4.开启真空炉或镀膜机的本身抽空系统，再打开连接检漏仪的高真空手动挡板阀。待真空炉或镀膜机内的真空度抽到200Pa以下，真空度相对稳定后。5.按下检漏仪的‘开始’键，让检漏仪进入检漏状态。6.待检漏仪显示的漏率值相对稳定后，就可以对真空炉或镀膜机的可疑漏点进行喷氨检漏。7.检漏结束后，先关闭高真空手动挡板阀，再按下检漏仪的‘停止’键，让检漏仪处在“待机”状态。8.较后关闭真空炉或镀膜机的抽空系统。9.拆除检漏仪与真空炉或镀膜机连接的波纹管。关闭检漏仪电源。客制化检漏机

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