五.加热系统:1，半导体工业烤箱维保，半导体工业烤箱维保.采用正英燃烧机，均布式平面布局，保证均温性.2.完全单独系统，不影响控制线路.六.电路控制系统:1.PID温度控制器。2.温度传感器采用KTYPE.3，半导体工业烤箱维保.无熔丝电源开关，铁线槽坚固耐用.4.控制系统附电源灯、风车指示灯，加热指示灯…….七.安全保护系统:1.附有中国台湾东元无熔丝保护开关.2.超温控制超过设定最大值,自动断电.3.控制器超温控制接点+蜂鸣.4.控制线路电源加装保险丝.5.大屏显示烘烤温度和步进速度显示（包括效率显示，绩效大显示屏），与PLC连线接入八.品管:1.重要五金配件（台系或日系品牌）.2.电控元件（台系或日系品牌）.3.生产物料经严格检验后入仓,投入使用.4.设备制造过程中,由工程师现场监制,质量有保障.九.环保:1.采用质量环保保温制品.环保,无污染.2.噪音小.3.涂料中不含铅等有害成分成份.非常感谢您的询价，以上是我司规划设备的资料。希望早日得到您的确认，如有任何问题，请联系我们。冷卻隧道炉箱体冷却炉。半导体工业烤箱维保
首先确定烘箱工作温度。典型的预处理程序为：打开真空泵抽真空，待腔内真空度达到某一高真空度后，开始充入氮气，充到某低真空度后，再次进行抽真空、充入氮气的过程，到达设定的充入氮气次数后，开始保持一段时间，使硅片充分受热，减少硅片表面的水分。然后再次开始抽真空，充入HMDS气体，在到达设定时间后，停止充入HMDS药液，进入保持阶段，使硅片充分与HMDS反应。当达到设定的保持时间后，再次开始抽真空。充入氮气，完成整个作业过程。HMDS与硅片反应机理如图：首先加热到100℃-200℃，去除硅片表面的水分，然后HMDS与表面的OH一反应，在硅片表面生成硅醚，消除氢键作，从而使极性表面变成非极性表面。整个反应持续到空间位阻(三甲基硅烷基较大)阻止其进一步反应。常熟省电工业烤箱市场热处理红外平面隧道炉。
二.温度范围:1.使用温度：10℃~50℃三．机器精度:仪表控制精度:±0.3全刻度.温度分布均匀度:±5~10℃.(空炉测量恒温段有效区域内为准)配置风路循环（手动变频调节）四.机械板金结构：1.内部材质：SUS1.0t不锈钢板.2.外部材质:SS41+粉体金属漆。3.保温材质:高温耐热岩棉(最高耐温700℃)。4.设有排气系统，及时将炉内废气排出，可调节大小。五.恒温系统:1.采用不锈钢，均布式平面布局，保证均温性.2.完全单独系统，不影响控制线路.六.电路控制系统:1.PID温度控制器。2.温度传感器采用KTYPE.3.无熔丝电源开关，铁线槽坚固耐用.4.控制系统附电源灯、风车指示灯，加热指示灯…….七.安全保护系统:1.附有施耐德无熔丝保护开关.2.超温控制超过设定最大值,自动断电.3.控制器超温控制接点+蜂鸣.4.控制线路电源加装保险丝.
3.11、賣方嚴格按照國家有關標準、合約的承諾進行生產製造、檢驗。3.12、買方可隨時到現場對賣方的生產製造進行監督。4、技術檔在賣方設備安裝結束後向買方提供以下技術檔：4.1設備說明書：包括設備操作說明、電氣操作說明、設備總圖、電氣原理圖。4.2其它資料：用戶驗收書等。5、培訓和技術服務5.1、.向使用者提供及時、***和高品質的技術服務，對工程項目來說十分重要，這也是我公司在以往工程項目中的一貫做法。實施責任工程師制，負責本次專案。5.2.技術服務工作的保證措施①設計階段，設計人員下現場，結合現場條件，細緻做好設計前的資料調查收集，充分聽取工廠各方面的意見，***安排，精心佈置，做出高品質的設計。②設備安裝、設計人員下工地現場監督、服務。③設計人員參加調試、試運行和驗收試驗，並認真做好調試記錄。④在保質期內，正常運行過程中出現的技術故障，我方無償進行維修服務。5.3.技術培訓為保障各系統安全、連續、正常運行，對操作人員及維修人員的培訓是十分重要。賣方負責為買方提供的免費培訓，培訓地點在使用現場，負責培訓操作和基本維護，達到操作設備和基本的維護能力。氣氛老化烤箱加压炉。
尾气处理：多余的HMDS蒸汽（尾气）将由底部真空泵抽出，背部1寸管路排除，品牌：慕泓DIM-4。排放到**废气收集管道。在无**废气收集管道时需做专门处理。设备配置试验室用电源设备及注意事项电源：AC220V50Hz电压允许变动范围：额定值的±5%（但是可运行的范围为±10%）（2）最大负荷容量：3KW（3）最大电流：15A（4）放置箱体时注意与墙面距离应大于300mm。特别要求：文档到指定的網絡路徑：透过txt或者csv抛档案到ip位置路径。然後他生產使用量监控要求：通过流量计+电池阀延时控制，量化气体，控制成本。剩馀量是从药水那边的液位监控,低位报警。HMDS药液流量需可卡控上下限，超出范围报警提醒，机台抛档使用TXT格式，数据：HMDS药剂流量，温度、压力、作业批号、作业人员工号、作业开始时间、结束时间、报警信息、制程信息。load/unload高度/方向：(上下货放cassette在机台上的高度/备注cassette放置于设备前方或左右侧）芯片传送方式：（具备cassetteincassetteout)上下货门需要能自动感测开启程序自动调档：（当cassette至于上货平台即能扫档带出该批货的程序自动执行）软件支持SEMI自动化标准SECS/GEM通讯接口精密热风千级烤箱SMO-3。高新区无氧化工业烤箱电话
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10-5．电器控制控制柜位于炉体的右侧（颜色平光白），内装空气开关、（日本欧姆龙）继电器、等主控电器控制电路。控制面板控制面板安装加热开关，送风开关、温度控制器YUDIAN、故障报警灯等。操作面板上可以设定所有的参数及控制状态；若不正常，有声或光报警并可控制加热器、马达等停止工作。备注◇发热管的安装应考虑维修方便。◇布线整齐，电线都放入线槽内；并标明线号。◇所有电线接头用线耳方式衔接。十一、主要用料说明：11-1．保温墙体为硅酸铝棉隔热材料，主体为冷板、镀锌板、不锈钢材料组成。外板为SS415.0T&2.0T&1.5T电箱为SS411.2T其他材料为SUS1.0T&2.0T&3.0T耐热不锈钢。结构稳固、耐用。11-2．电机为“德东”电机。11-4．温控器程序表为“YUDIAN”系列产品。11-5．接触器为中国台湾“东元”系列产品。11-7．中间继电器、“欧姆龙”系列产品。11-8.空开为质量“正泰”系列产品。11-9．其它主辅助元器件均采用品牌质量件。十二、设备其它各段及通用技术规格:12-2.所有风机、马达都标有旋转方向。12-3.设备应有紧急和异常报警装置。12-4.加热功率、尺寸及整体设计方案均保证清洗效果达到厂家要求，保证生产能力达到厂家要求。半导体工业烤箱维保
昆山台上品工业自动化有限公司坐落于昆山市巴城镇石牌中华路1083号，是集设计、开发、生产、销售、售后服务于一体，机械及行业设备的生产型企业。公司在行业内发展多年，持续为用户提供整套工业烤箱，钟罩炉，推板炉，链条炉的解决方案。公司主要产品有工业烤箱，钟罩炉，推板炉，链条炉等，公司工程技术人员、行政管理人员、产品制造及售后服务人员均有多年行业经验。并与上下游企业保持密切的合作关系。HOTTSP集中了一批经验丰富的技术及管理专业人才，能为客户提供良好的售前、售中及售后服务，并能根据用户需求，定制产品和配套整体解决方案。昆山台上品工业自动化有限公司通过多年的深耕细作，企业已通过机械及行业设备质量体系认证，确保公司各类产品以高技术、高性能、高精密度服务于广大客户。欢迎各界朋友莅临参观、 指导和业务洽谈。
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