真空烘箱规格书一、箱体结构尺寸1.内尺寸（W*D*H）mm：550mm×(300×3)mm×430mm（W×H×D）2.外尺寸（W*D*H）mm：按实物3.控制器：位于机台右侧4.门：由左边往右边开5.内胆材质：质量不锈钢SUS304#3.0T板6.外箱材质：钢板粉体静电烤漆1.2T，涂装采用酸洗脱脂与皮膜处理与采高黏着力液体喷涂7.保温材质：采用质量高温耐热岩棉（最高耐温700℃）,保温性能佳，节能省电，吴中区无尘工业烤箱市场，环保无污染8.炉门保温材质：高温耐热岩棉（最高耐温700℃），配备硅胶门条，有效防止热量流失，保持温度平稳，吴中区无尘工业烤箱市场，节能效果佳9.分层：分3层，吴中区无尘工业烤箱市场，3个不锈钢烤盘10.门口装不锈钢方钢框20T*W30热处理高溫熱風循环烤箱。吴中区无尘工业烤箱市场
五、电源装置1.电压：AC380V，3相5线，50Hz2.功率：10KW/15A3.电源引线：由客户自备六、安全保护系统1.空气开关（防止过流和短路）2.真空泵电机过流保护（保护真空泵电机电流过高）3.超温保护（防止工作室温度过高，保护产品），声光报警七、安装场地要求1.烘箱左右后侧距离墙壁不得小于600mm，用户须提供的配电开关并负责设备外部的电源连接。2.正常工作环境条件：（1温度：5℃~45℃（2相对湿度：不大于85%（3周围无强烈的振动和气流存在（4电源：三相交流380⊥38V，频率：50⊥1Hz（5无腐蚀性气体存在3.请务必接地4.不能在箱内烘烤易燃易爆物品，可燃气体及性物品半导体工业烤箱维保VC均热板输送气氛烧结炉。
HMDS预处理系统的原理：HMDS预处理系统通过对烘箱HMDS预处理过程的工作温度、处理时间、处理时保持时间等参数可以在硅片、基片表面均匀涂布一层HMDS，降低了HMDS处理后的硅片接触角，降低了光刻胶的用量，提高光刻胶与硅片的黏附性。HMDS预处理系统的一般工作流程：首先确定烘箱工作温度。典型的预处理程序为：打开真空泵抽真空，待腔内真空度达到某一高真空度后，开始充入氮气，充到某低真空度后，再次进行抽真空、充入氮气的过程，到达设定的充入氮气次数后，开始保持一段时间，使硅片充分受热，减少硅片表面的水分。然后再次开始抽真空，充入HMDS气体，在到达设定时间后，停止充入HMDS药液，进入保持阶段，使硅片充分与HMDS反应。当达到设定的保持时间后，再次开始抽真空。充入氮气，完成整个作业过程。HMDS与硅片反应机理如图：首先加热到100℃-200℃，去除硅片表面的水分，然后HMDS与表面的OH一反应，在硅片表面生成硅醚，消除氢键作，从而使极性表面变成非极性表面。整个反应持续到空间位阻(三甲基硅烷基较大)阻止其进一步反应。
以上图作为参考示意，实际制作依后续设计为准。回流滚筒线：1000L*1048W*800H数量:1条1、输送线支架焊接框架结构，链条拖动滚筒输送方式;2、线体支架采用8#槽钢支架焊接,表面油漆处理;3、线体横梁支架8#槽钢制作，与支架螺丝连接固定。4、输送滚筒采用镀锌滚筒，一端配置双链链轮传动;5、滚筒上安装导向轮边，直径120MM，滚筒间距266.7MM;6、滚筒之间传动采用12A滚子链条传动7、输送宽度:910MM,滚筒总长约960MM;8、动力采用0.37KW齿轮减速马达驱动，动力布置滚筒下方;9、电机使用欧邦/东元马达，马达配套减速机使用。10、滚筒线输送速度约5米/分钟，可以采用变频调速。样式参考下图以上图作为参考示意，实际制作依后续设计为准。两端移载小车1000L*1048W行程2500MM。数量:2台.1、输送线支架焊接框架结构，链条拖动滚筒输送方式;2、输送轨道机身采用8#槽钢支架焊接制作,表面烤漆处理;3、输送滚筒采用镀锌滚筒，一端配置双链链轮传动;4、滚筒上安装导向轮边，直径120MM，滚筒间距257MM;5、滚筒之间传动采用12A滚子链条传动大型精密送风循环烤箱。
外部尺寸：W635*D645*H1255电热功率：AC220V50HZ2000W电热控制：PID+SSR测温探头：日制PT100铂金电阻，不锈钢铠装覆套，精度±0.5%，反应灵敏，抗干扰，耐高温。电气控制：HMI大屏15寸触摸屏+IPC(工业电脑/Advantech研华)（610L/SIMB-A21/I5-2400/16G/1T）(处理器IT,内存16G，硬盘1T,作业系统64位Windows10)宏碁（ACER）23.8寸IPS硬屏显示器。（品牌：Advantech研华+PLC品牌：西门子）软体版本：确认**终规格后，随机附上杀毒软件：360杀毒软件V5.0正式版内部材质：316L外部材质：304镜面处理（可定制拉丝，烤漆等）使用温度：MAX250℃真空度：<133Pa标配国产旋叶真空泵，品牌：慕泓DIM-4。抽气速度2~4升／秒，抽真空时间60秒左右，破真空时间25秒左右。德国莱宝真空计，型号TTR91,控制精度1pa。氮气系统：采用**氮气控制阀控制（MPC浮子式流量阀控制，型号：MPC-P21/P22）。HMDS预处理系统的一般工作流程：HMDS药剂容量500ml精密送风循环隧道炉。吴中区无尘工业烤箱市场
石墨烯应用技术隧道炉。吴中区无尘工业烤箱市场
1)外壳SUS304不锈钢材质，内胆316L不锈钢材料；采用不锈钢加热管，加热管4个，总功率2650W,均匀分布在内胆外壁，上下左右四面加热，内胆内无任何电气配件及易燃易爆装置；采用钢化、防弹双层玻璃观察窗,便于观察工作室内物品实验情况。无发尘材料，适用百级光刻间净化环境使用。2)箱门闭合松紧能调节，整体成型的硅橡胶门封圈，确保箱内保持高真空度。3)温度采用微电脑PID控制,系统具有自动控温,定时,超温报警等,LCD液晶显示,触摸式按钮,简单易用,性能稳定可靠.4)智能化触摸屏控制系统配套PLC模块可供用户根据不同制程条件改变程序、温度、真空度及每一程序时间。5)HMDS气体密闭式自动吸取添加设计，使真空箱密封性能极好，确保HMDS气体无外漏顾虑。吴中区无尘工业烤箱市场
昆山台上品工业自动化有限公司坐落于昆山市巴城镇石牌中华路1083号，是集设计、开发、生产、销售、售后服务于一体，机械及行业设备的生产型企业。公司在行业内发展多年，持续为用户提供整套工业烤箱，钟罩炉，推板炉，链条炉的解决方案。公司主要产品有工业烤箱，钟罩炉，推板炉，链条炉等，公司工程技术人员、行政管理人员、产品制造及售后服务人员均有多年行业经验。并与上下游企业保持密切的合作关系。HOTTSP集中了一批经验丰富的技术及管理专业人才，能为客户提供良好的售前、售中及售后服务，并能根据用户需求，定制产品和配套整体解决方案。昆山台上品工业自动化有限公司通过多年的深耕细作，企业已通过机械及行业设备质量体系认证，确保公司各类产品以高技术、高性能、高精密度服务于广大客户。欢迎各界朋友莅临参观、 指导和业务洽谈。
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