互感器分为电压互感器和电流互感器两大类。电压互感器可在高压和超高压的电力系统中用于电压和功率的测量等。电流互感器可用在交换电流的测量、交换电度的测量和电力拖动线路中的保护。
电压互感器
按用途分
测量用电压互感器或电压互感器的测量绕组:在正常电压范围内,向测量,黄浦区三维轮廓激光干涉仪、计量装置提供电网电压信息;保护用电压互感器或电压互感器的保护绕组:在电网故障状态下,黄浦区三维轮廓激光干涉仪,向继电保护等装置提供电网故障电压信息。
按绝缘介质分
干式电压互感器:由普通绝缘材料浸渍绝缘漆作为绝缘,多用在及以下低电压等级;浇注绝缘电压互感器:由环氧树脂或其他树脂混合材料浇注成型,黄浦区三维轮廓激光干涉仪,多用在及以下电压等级;油浸式电压互感器:由绝缘纸和绝缘油作为绝缘,是我国较为常见的结构型式,常用于及以下电压等级;气体绝缘电压互感器:由气体作主绝缘,多用在较高电压等级。通常只提供测量用的低电压互感器是干式,高压或超高压密封式气体绝缘(如六氟化硫)互感器也是干式。浇注式适用于35kV及以下的电压互感器,35kV以上的产品均为油浸式。 样品和细胞的扩张/收缩 长度相对变化(ΔL)。黄浦区三维轮廓激光干涉仪
高精度。目前半导体工艺的典型线宽为0.25μm,并正向0.18μm过渡,2009年的预测线宽是0.07μm。如果定位要求占线宽的1/3,那么就要求10nm量级的精度,而且晶片尺寸还在增大,达到300mm。这就意味着测量定位系统的精度要优于3×10的-8次方,相应的激光稳频精度应该是10的-9次方数量级。
高速度。目前加工机械的速度已经提高到1m/sec以上,上世纪80年代以前开发研制的仪器已不适应市场的需求。例如惠普公司的干涉仪市场大部分被英国Renishaw所占领,其原因是后者的速度达到了1m/sec。 黄浦区三维轮廓激光干涉仪在三个直径为400、315和200μm的金属圆筒上进行轮廓测量。
半导体应变片:用于车辆等机械量测量的元件.半导体应变片是将单晶硅锭切片、研磨、腐蚀压焊引线,结尾粘贴在锌酚醛树脂或聚酰亚胺的衬底上制成的。是一种利用半导体单晶硅的压阻效应制成的一种敏感元件。利用半导体单晶硅的压阻效应制成的一种敏感元件,又称半导体应变片。压阻效应是半导体晶体材料在某一方向受力产生变形时材料的电阻率发生变化的现象(见压阻式传感器)。半导体应变片需要粘贴在试件上测量试件应变或粘贴在弹性敏感元件上间接地感受被测外力。
干涉仪技术参数:5D/6D标准型:1.线性:0.5ppm.2.测量范围:40米(1D可选80米)3.线性分辨力:0.001um.4.偏摆角和俯仰角的精度:(1.0+0.1/m)角秒或1%显示较大值5.比较大范围:800角秒6.滚动角精度:1.0角秒7.直线度精度:(1.0+0.2/m)um或1%显示较大值8.直线度比较大范围:500um9.垂直度精度:1角秒10.温度精度:0.2摄氏度11.湿度精度:5%12.压力精度:1mmHg
从激光器发出的光束,经扩束准直后由分光镜分为两路,并分别从固定反射镜和可动反射镜反射回来会合在分光镜上而产生干涉条纹。 在环境条件下悬臂的共振频率,不施加压电致动器的任何振荡。
扩散型半导体应变片
这种应变片是将 P型杂质扩散到一个高电阻N型硅基底上,形成一层极薄的P型导电层,然后用超声波或热压焊法焊接引线而制成(图2)。它的优点是稳定性好,机械滞后和蠕变小,电阻温度系数也比一般体型半导体应变片小一个数量级。缺点是由于存在P-N结,当温度升高时,绝缘电阻大为下降。半导体应变片是将单晶硅锭切片、研磨、腐蚀压焊引线,结尾粘贴在锌酚醛树脂或聚酰亚胺的衬底上制成的。是一种利用半导体单晶硅的压阻效应制成的一种敏感元件。新型固态压阻式传感器中的敏感元件硅梁和硅杯等就是用扩散法制成的。 提供: 反射器表面误差,s(Φ)。 XY-跳动运动误差,εX(Φ)和εy(Φ)。上海激光干涉仪色散共焦
紧凑,适用于设备集成。黄浦区三维轮廓激光干涉仪
检验周期规定
A.控制盘和配电盘仪表的定期检验应与该仪表所连接的主要设备的大修日期一致,不应延误。但主要设备主要线路的仪表应每年检验一次,其它盘的仪表每四年至少检验一次;
B.对运行中设备的控制盘仪表的指示发生疑问时,可用标准仪表在其工作点上用比较法进行核对;
C.可携式仪表(包括台表)的检验,每年至少一次,常用的仪表每半年至少一次。经两次以上检验,证明质量好的仪表,可以延长检验期一倍。D.万用电表、钳形表每四年至少检验一次。兆欧表和接地电阻测定器每二年至少检验一次,但用于高压电路使用的钳形表和作吸收比用的兆欧表每年至少检验一次。 黄浦区三维轮廓激光干涉仪
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