检漏仪的整体结构:一、质谱室,形象的说，质谱室是检漏仪的心脏，由离子源、分析器和电气系统三个部分组成，并将冷阴极磁控规也放在其内，共用其磁场，盐城便携式检漏设备。为了有利于微小的粒子流放大，将一级放大用高阻及静电计管也放在质谱室之内。质谱室壳由非磁性材料制成，内部抽空，而外部设置成磁铁形成磁分析器的磁场。二、真空系统,真空系统是提供质谱室正常工作的条件。由于钨阴极正常工作时需要具备0.001-0.01Pa的真空度，盐城便携式检漏设备，盐城便携式检漏设备，同时保证氦离子在分析器中的运动有较高的传输率，因此建立一个高真空系统是必要的。系统中的节能阀则是为了满足质谱室工作压力的调节，该阀全开时检漏灵敏度较高，因此在条件允许情况下开启大些为宜。检漏时为了校准检漏灵敏度，系统中设置了标准漏孔。应定期更换氦质谱检漏仪的泵油，适时对机械泵加油。盐城便携式检漏设备

检漏仪的基本原理与结构：检漏仪一般由质谱管，真空系统和电子系统组成。其中质谱管包括离子源，质量分析器和离子检测器; 真空系统一般由分子泵、机械泵、电磁阀和真空计组成。离子源的作用是将原子电离成带电离子并聚焦成束，以一定能量注入分析器，目前常用的电子轰击型离子源有尼尔型和震荡型两种形式。分析器的作用起将各类离子按其质荷比的不同实现分离。离子检测器的作用是手机质量分析器所选定的氦离子流并加以放大，再通过比对运算，得出泄漏率，真空系统的作用是获取质谱过程所需的真空，同时完成被检件的抽空和氦气的引入。真空系统一般由分子泵、机械泵、电磁阀和真空计组成组成。按照真空系统的不同结构，检漏仪分为常规系统和逆扩散两种。常规系统多用于早期的检漏仪，该种检漏仪的被检件与高真空部分直接相通，由被检件泄入的氮气首先到达质谱管被检到，因而具有较高的灵敏度，但是会对质谱管有污染。逆扩散系统检漏仪与常规系统相比，被检件只与低真空相通，因此只需将被检工件抽至低真空就能进行检漏，氦气是逆扩散到质谱管，不会对系统有污染，因此被普遍采用，已成为市场的主流产品。江苏全自动检漏仪价格检漏仪可采用干式泵达到无油蒸气的效果。

关于检漏仪的一些知识点：仪器的反应时间及清理时间，仪器的反应时间是质谱检漏仪的主要性能指标之一。检漏时，当氦气刚刚喷及漏孔处，即使不考虑氦气通过漏孔的时间，也不可能立即引起质谱室中氦分奢的急剧变化，也就是说不会立即引起输出电流的急剧变化，而要有一个过程。假定漏孔漏率为QHe，质谱室处对氦的抽速为SHe，质谱室至被检容器间的总容积为V，那么在dt的时间内漏入的氦气量为QHedt。它的一部分被抽走，另一部分在质谱室中建立起氦分压pHe（不包括本底）。被抽走的氦量为pHeSHedt，使质谱室容积V内氦压力升高dpHe时的氦量为VdpHe。因此有等式两边除以dt，并经移项整理后得到。

检漏仪检漏法是利用氦分压力测量原理，实现被检件的氦泄漏量测量。当被检件密封面上存在漏孔时，示漏气体氦气及其它成分的气体均会从漏孔泄出，泄漏出来的气体进入后，由于选择性识别能力，只给出气体中的氦气分压力信号值。在获得氦气信号值的基础上，通过标准漏孔比对的方法就可以获得漏孔对氦泄漏量。采用真空法检漏时，需要利用辅助真空泵或检漏仪对被检产品内部密封室抽真空，采用氦罩或喷吹的方法在被检产品外表面施氦气，当被检产品表面有漏孔时，氦气就会通过漏孔进入被检产品内部，再进入检漏仪，从而实现被检产品泄漏量测量。按照施漏气体方法的不同，又可以将真空法分为真空喷吹法和真空氦罩法。检漏仪可以通过设备的运转情况精确的了解泄漏的概率和存在的情况。

检漏仪有测量误差的原因：第1，当检漏仪的校准灵敏度时，标准泄漏的位置不同于被检测泄漏的位置，即标准泄漏与被检测泄漏到检漏仪之间的距离太大，在途中泄漏的氦损失不相等，导致两者进入检漏仪的氦可比性差。第二，氦压或分压比不等于被检漏孔和标准漏孔，或氦压力和分压比值不能准确给出，导致无法转换，也会产生漏率测量误差。第三，标准漏孔的标称漏率存在误差。第四，检漏仪输出指示与漏率线性关系差。第五，当校准灵敏度或通过比较法确定泄漏率时，标准泄漏的气流特性不同于检测到的泄漏。氦质谱检漏仪应安装在符合仪器使用的环境要求的场所。浙江真空衰减法检漏仪哪家好

检漏仪分子泵故障如何维修？盐城便携式检漏设备

检漏仪检漏方法分为两大类：被检件承受负(外)压，即抽成真空的叫真空检漏；被检件承受正(内)压的叫正压检漏，也有人叫充压检漏。正压检漏一般有三种方法：1)吸口法：用吸口直接在漏孔出口处获得示漏气体，与正压校准漏孔作比对定量。这种方法适于漏孔处于吸口可及位置的产品作正压检漏。2)气罩积分法：把被检件或被检部位置于气罩内，罩内为大气压。示漏气体漏人罩内，随时间积分，再用吸口取样，输入检漏仪检测，与正压校准漏孔比对定量。3)加压真空法：产品充正压后，置于真空室内，或将漏气局部置于真空罩内，检漏仪与真空室(罩)相联，与真空校准漏孔作比对定量。盐城便携式检漏设备

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