真空镀膜机成膜不均的因素有哪些?真空镀膜机抽气不均会影响镀膜均匀性,基片干净很重要。真空镀膜前要将基片表面认真清洁干净,达到工件去油、去污和脱水的目的。基板表面污染从零件在加工,运输等过程中附着的各种各样的灰尘、油脂、抛光膏、汗渍等,在潮湿环境下,基片表面易氧化,形成氧化膜吸附气体。对于这些污物,都能用去油或化学方法清洗干净。干净的基片不要直接放在外面,需要用封闭容器存放,减少沾污,OLED蒸镀机供应报价。镀膜室内也是会积灰的,OLED蒸镀机供应报价,所以要清洗镀膜室内,烘烤除气,并将机器放置在干净的环境里。注意扩散泵返油,镀膜的原材料有很多,OLED蒸镀机供应报价,如树脂、硅酮、硅盐酸、聚合物等,辅料、配方的比列有所不同,薄膜也不同。真空镀膜机连续使用半年以上,换油时应将油盖打开,用布擦干净箱内污垢。OLED蒸镀机供应报价
蒸镀机的基本原理:(1)加热蒸发过程:包括由凝聚相转变为气相的过程,每种蒸发物质在不同的温度有不同的饱和蒸气压。(2)气态原子或分子在蒸发源与基片之间运输,即原子或分子在环境气氛中的飞行过程。(3)蒸发原子或分子在基片表面张得沉积过程。即是蒸发,凝聚,成核,核生长,形成连续的膜。由于基板温度远低于蒸发源温度,因此,气态分子在基片表面将发生直接由气态到固态的相转变过程。真空蒸发镀膜法(简称真空蒸镀)是在真空条件下,加热蒸发容器中待蒸发的材料,使其原子或分子从表面气化逸出,形成蒸汽流,入社到衬底或基底表面,凝结成固态薄膜的方法。福州国产蒸镀机真空镀膜机设计焊缝结构的时候,接头一定要焊透,应该避免产生聚集污物的有害空间。
真空镀膜设备维修保养又有什么技巧呢?1、当粗抽泵(滑阀泵,旋片泵)连续工作一个月(雨季减半),需更换新油。方法是:拧开放油螺栓,放掉旧油,再将泵启动数秒,使泵内的旧油完全排放出来。拧回放油螺栓,加入新油至额定量(油视镜观察)。连续使用半年以上,换油时应将油盖打开,用布擦干净箱内污垢。2、扩散泵连续使用6个月以上,抽速明显变慢,或操作失当,充入大气,拆去联结水管,卸下电炉盘,将一级喷嘴拧出,先用汽油将泵腔及泵胆清洗一遍,再用洗衣粉兑水清洗一遍,然后用清水彻底清洗干净,待水份挥发干以后,装好泵胆,加入新扩散泵油,并装回机体,接好水管,装好电炉盘,便可以重新开机。
真空镀膜机扩散泵维修与保养:扩散泵是真空镀膜机的主要部件,为机器能运作在良好状态,平时对真空镀膜机扩散泵的维护和保养非常重要。1、扩散泵工作过程中冷却水必须保证畅通,停止加热后必须保证泵工作液已完全冷却后方可关闭冷却水。2、扩散泵停止工作时,泵内应保持真空状态,以免泵油劣化。3、被抽气体应是干燥、无腐蚀、无灰尘的气体。4、扩散泵如暂时不用,保管期间应该保持真空状态,以免泵油污染和各零件腐蚀并将冷却水套入的剩水吹净。保持场地的室温应在10-40摄氏度之间。真空镀膜设备要在真空条件下工作,要满足真空对环境的要求。
蒸镀机的操作步骤:1.将要蒸发的基底材料洗干净放在蒸发头下面的基板上。2.将要蒸发的金属用镊子团成球形放入钨篮中。3.将蒸发头装在仪器盖上,插好电线,打开仪器电源开关。将氮气钢瓶的开关旋开,使流量控制在0.035Mpa左右。4.按“ENTER”按钮设置仪器参数。如果选择“SinglePulse”模式,其余参数不需要设置,值设置除气时间,在0~60秒内调节。5.然后按“START”键仪器开始抽真空。6.等仪器进入泵保持状态,真空度达到9×10-5mbar是,可进行下一步操作。由于铝比较容易氧化,蒸铝时至少要在泵保持进行30分钟之后才能进行下一步操作。7.按“START”键。8.按“△”键仪器开始除气。主要除去要蒸发的金属材料表面的一些污垢等。操作时要小心的向右旋下面的黑色按钮,当“Current”显示为8是就要通知旋动,稍等片刻钨篮就会发红,开始除气。除气持续10秒左右然后就将旋钮向左旋到底。9.然后按“▽”键仪器进入蒸发状态。10.蒸镀完毕后,按“STOP”键,停止抽真空,然后打开盖子取出样品,关闭主机电源盒气源。真空镀膜机不像化学电镀会用重金属溶液和酸溶液进行镀膜。福州国产蒸镀机
真空镀膜机运用镀膜资料镀膜之前,对镀膜资料做简略的外表清洁能延伸镀膜机运用寿命。OLED蒸镀机供应报价
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