真空镀膜机的真空室该如何设计？（一）焊接要求，根据需要，在该设备真空室的结构设计上也有所差别，常见有圆柱形、圆锥形，福州国产蒸镀机、盒形等结构。对于我们的镀膜机真空室的焊接技术上，要求有基本五点：为了防止镀膜机的外壳变形，真空室的非气密焊接一般用间断焊。焊缝的总长度尽量短些，高度要大于真空室壳体的三分之一厚度，才能避免一些漏气的可能。焊缝要便于做真空检漏工作，尽量别在焊缝上开孔，福州国产蒸镀机。焊缝与焊缝间别存在交叉，两缝的中心线位置间应大于10cm的距离。（二）主体材料，镀膜机真空室通常以金属轧制板材作为主要材料制作，作为真空室的主体材料要求可焊性、气密性要求比较高。对于一般的镀膜机真空室使用的主体材料通常是低碳钢、合金钢，福州国产蒸镀机、铝和铜之类的金属或合金。而不锈钢则一般用于需要高真空、耐腐蚀的工艺的型号中。（三）封头类型，作为镀膜机真空室的一个重要零件——封头，可与筒体焊接组成一个整体。真空镀膜设备的封头形式有球形、锥形、凸形、平盖形等封头类型。真空镀膜机过程的清洁度是影响真空镀膜附着力的主要指标之一。福州国产蒸镀机

真空蒸镀使用的加热方式主要有：(1)电弧加热：电弧蒸镀利用高真空中两导电材料制成的电极之间形成电弧放电产生的高温，使电极材料蒸发而在基体上凝聚成膜。(2)激光加热：脉冲激光加热表面可实现材料的瞬时蒸发，脉冲激光作为一种新的加热源，其特点之一是能量在时间和空间上高度集中，与常规的热蒸发有明显区别。带有离子轰击装置的激光蒸发，已用于若干材料的低温沉积，其中包括高质量的高温超导氧化物薄膜。激光蒸发可用于透明材料上薄膜的蒸发，从透明材料的背面照射待蒸发薄膜，把基体面向待蒸发薄膜放置，通过控制蒸发区域，则在基体上可沉积出带花纹的薄膜。贵阳国产真空蒸镀机真空镀膜机对环境的要求一般包括真空设备对实验室（或车间）温度、空气和其他周围环境中颗粒物的要求。

真空蒸镀工艺一般包括基片表面清洁、镀膜前的准备、蒸镀、取件、镀后处理、检测、成品等步骤。(1)基片表面清洁。真空室内壁、基片架等表面的油污、锈迹、残余镀料等在真空中易蒸发，直接影响膜层的纯度和结合力。镀前必须清沽干净。(2)镀前准备。镀膜室抽真空到合适的真空度，对基片和镀膜材料进行预处理。加热基片，其目的是去除水分和增强膜基结合力。在高真空下加热基片，能够使基片的表面吸附的气体脱附。然后经真空泵抽气排出真空室，有利于提高镀膜室真空度、膜层纯度和膜基结合力。然后达到一定真空度后．先对蒸发源通以较低功率的电，进行膜料的预热或者预熔，为防止蒸发到基板上，用挡板遮盖住蒸发源及源物质，然后输入较大功率的电，将镀膜材料迅速加热到蒸发温度，蒸镀时再移开挡板。(3)蒸镀。在蒸镀阶段要选择合适的基片温度、镀料蒸发温度外，沉积气压是一个很重要的参数。沉积气压即镀膜室的真空度高低，决定了蒸镀空间气体分子运动的平均自由程和一定蒸发距离下的蒸气与残余气体原子及蒸气原子之间的碰撞次数。(4)取件。膜层厚度达到要求以后，用挡板盖住蒸发源并停止加热，但不要马上导入空气。

真空镀膜技术代替传统的电镀工艺，不但能节省大量的膜材和降低能耗，而且还会消除湿法镀膜中所产生的环境污染。因此国外在钢铁零件涂镀防腐层和保护膜方面，已采用真空镀膜工艺来代替电镀工艺。在冶金工业中，为钢铁和带钢加镀铝防护层已很普遍；在机械制造业中，真空镀膜机用于改变改变某些加工工艺和节约贵重的原材料，如飞机涡轮发动机的叶片已经不用价格昂贵的耐高温金属制造，而是采用价格低廉易加工材料，成形后再用真空镀膜的方法在叶片表面上加镀耐高温，耐腐蚀的防护层。再如汽车制造业中采用塑料制品金属化零件代替各种金属零件，既减轻了汽车的重量又节约了燃油的消耗。在金属切削刀具上加镀TiN硬膜可使用刀具寿命提高3～6倍，从而节省了大量的高速钢材。塑料薄膜采用真空镀膜的方法加镀铝等金属膜，再进行染色，可得到用于工业中的装饰品薄膜。真空镀膜机必须使用机械泵、机械泵也被称为前级泵。

真空镀膜应用属于一种干式镀膜，它的主要方法包括以下几种：1、真空蒸镀，其原理是在真空条件下，用蒸发器加热带蒸发物质，使其气化或升华，蒸发离子流直接射向基片，并在基片上沉积析出固态薄膜的技术。2、溅射镀膜，溅射镀膜是真空条件下，在阴极接上2000V高压电，激发辉光放电，带正电的氩离子撞击阴极，使其射出原子，溅射出的原子通过惰性气氛沉积到基片上形成膜层。3、离子镀膜，即干式螺杆真空泵厂家已经介绍过的真空离子镀膜。它是在上面两种真空镀膜技术基础上发展而来的，因此兼有两者的工艺特点。在真空条件下，利用气体放电使工作气体或被蒸发物质（膜材）部分离化，并在离子轰击下，将蒸发物或其反应物沉积在基片表面。在膜的形成过程中，基片始终受到高能粒子的轰击，十分清洁。冷却配套冷水机的作用是维持真空镀膜机的温度，使其工作到高精度、高效率控制温度的目的。广东金属蒸镀机

真空镀膜机的扩散泵连续使用6个月以上，需要进行保养。福州国产蒸镀机

蒸镀机的操作步骤：1.将要蒸发的基底材料洗干净放在蒸发头下面的基板上。2.将要蒸发的金属用镊子团成球形放入钨篮中。3.将蒸发头装在仪器盖上，插好电线，打开仪器电源开关。将氮气钢瓶的开关旋开，使流量控制在0.035Mpa左右。4.按“ENTER”按钮设置仪器参数。如果选择“SinglePulse”模式，其余参数不需要设置，值设置除气时间，在0～60秒内调节。5.然后按“START”键仪器开始抽真空。6.等仪器进入泵保持状态，真空度达到9×10-5mbar是，可进行下一步操作。由于铝比较容易氧化，蒸铝时至少要在泵保持进行30分钟之后才能进行下一步操作。7.按“START”键。8.按“△”键仪器开始除气。主要除去要蒸发的金属材料表面的一些污垢等。操作时要小心的向右旋下面的黑色按钮，当“Current”显示为8是就要通知旋动，稍等片刻钨篮就会发红，开始除气。除气持续10秒左右然后就将旋钮向左旋到底。9.然后按“▽”键仪器进入蒸发状态。10.蒸镀完毕后，按“STOP”键，停止抽真空，然后打开盖子取出样品，关闭主机电源盒气源。福州国产蒸镀机

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