所述在真空条件、700℃～900℃下进行加热处理的步骤中，加热处理的时间为1h～4h。在其中一个实施例中，所述将所述造粒粉成型，得到***预制坯的步骤包括：将所述造粒粉先进行模压成型，成型压力为70mpa～170mpa，保压时间为10s～90s，然后进行等静压成型，成型压力为200mpa～400mpa，保压时间为60s～180s，得到所述***预制坯。在其中一个实施例中，所述将所述造粒粉成型，得到***预制坯的步骤之后，所述将所述***预制坯与第二碳源混合加热的步骤之前，还包括：将所述***预制坯以℃/min～℃/min的速率升温至900℃，保温2h～4h，进行排胶；及/或，所述将所述***预制坯与第二碳源混合加热，使所述第二碳源呈液态，然后加压至3mpa～7mpa，浙江CPVC半导体与电子工程塑料零件定制加工保冷，得到第二预制坯的步骤之后，所述将所述第二预制坯和硅粉混合的步骤之前，还包括：将所述第二预制坯以℃/min～℃/min的速率升温至900℃，保温2h～4h，进行排胶。在其中一个实施例中，所述***碳源和所述第二碳源相互独立地选自石墨、炭黑、石油焦，浙江CPVC半导体与电子工程塑料零件定制加工保冷、糠醛，浙江CPVC半导体与电子工程塑料零件定制加工保冷、聚碳硅烷、沥青、酚醛树脂及环氧树脂中的至少一种；及/或。低摩擦的工程塑料可节约材料成本。浙江CPVC半导体与电子工程塑料零件定制加工保冷

    所述***衬套部的外径小于所述第二衬套部的外径，所述定位凸起形成在所述第二衬套部的外壁上，且所述第二衬套部与所述工艺盘转轴的安装孔相配合。推荐地，所述工艺盘组件还包括传动筒，所述驱动轴和所述驱动衬套设置在所述传动筒内，且所述驱动轴背离所述工艺盘转轴的一端与所述传动筒固定连接，所述传动筒用于带动所述驱动轴转动。推荐地，所述工艺盘组件还包括密封衬套，所述密封衬套环绕设置在所述传动筒的外壁上；所述工艺盘组件还包括挡环，所述传动筒的外壁上形成有挡环槽，所述挡环环绕所述传动筒设置在所述挡环槽中，所述挡环的外径大于所述密封衬套朝向所述工艺盘一端的内径。推荐地，所述工艺盘组件还包括调平件，所述传动筒的内壁上形成有内凸台结构，所述内凸台结构环绕传动筒的内壁设置，所述调平件与所述驱动轴固定连接，且沿轴线方向分别设置在所述内凸台结构的两侧，以将所述内凸台结构夹持在所述调平件与所述驱动轴之间，所述调平件能够调整其自身与所述传动筒之间的角度。推荐地，所述驱动轴与所述工艺盘转轴中至少一者的材料为奥氏体不锈钢。作为本实用新型的第二个方面，还提供一种半导体设备，包括工艺腔和工艺盘组件，其中。浙江CPVC半导体与电子工程塑料零件定制加工保冷也有高分子聚合物材料、耐热材料。

    再进行等静压成型的两步成型方式能够得到密度更大、更均匀的***预制坯。步骤s140：将***预制坯以℃/min～℃/min的速率升温至900℃，保温2h～4h，进行排胶。具体地，排胶过程在真空排胶炉中进行。通过上述排胶过程能够除去***预制坯中的粘结剂、分散剂等有机物质。步骤s150：将***预制坯与第二碳源混合加热，使第二碳源呈液态，然后加压至3mpa～7mpa，得到第二预制坯。具体地，第二碳源包括石墨、炭黑、石油焦、糠醛、聚碳硅烷、沥青、酚醛树脂及环氧树脂中的至少一种。在本实施方式中，第二碳源与***碳源可以相同，也可以不同。具体地，步骤s150包括：将***预制坯与第二碳源在280℃～340℃下加热1h～3h，然后抽真空1h，再加压至3mpa～7mpa，得到第二预制坯。其中，加压介质为氮气或氩气。在加压条件下能够使第二碳源渗入***预制坯的孔隙中，减少孔隙大小和数量。***预制坯的密度相对较低，有较多的孔隙，如不进行继续处理，则反应烧结后会有较多、较大的游离硅，这会**降低反应烧结碳化硅的性能，而使用上述高温压力浸渗的方式二次补充碳源，第二碳源能够渗入***预制坯的孔隙中，从而能够减少预制坯的孔隙大小和数量，减小游离硅尺寸和数量，提高**终产品性能。

    为实现传动筒4的平稳传动，可选地，如图1至图3所示，工艺盘组件还包括传动架9，传动架9的一端与传动筒4背离波浪管6的一端固定连接，传动架9的另一端用于与电机12的输出轴连接，传动架9用于带动传动筒4转动。本实用新型对传动架9的结构不做具体限定，例如，如图3所示，传动架9包括一对传动法兰91和用于连接两传动法兰91的法兰连接件92。推荐地，下方的传动法兰91通过联轴器与电机12的输出轴连接。为保证所述工艺盘组件运动的流畅性，推荐地，驱动轴3、传动筒4和工艺盘转轴1中至少一者的材料为奥氏体不锈钢。本实用新型的发明人在研究中发现，现有的半导体设备出现旋转卡顿的问题是因为运动件之间的润滑油脂液化泄露，导致润滑效果变差。进过进一步研究后，发明人发现是运动件中的部分钢铁材料结构在高速旋转的过程中因电磁感应效应产生发热现象，其发热量过大引起润滑油脂液化。因此，本实用新型中推荐地选择驱动轴3、传动筒4和工艺盘转轴1的材料为奥氏体不锈钢。奥氏体不锈钢的材料与现有技术中运动件常采用的304不锈钢相比，电阻率更低，在相同转速下电磁感应发热量更小，从而避免了润滑油脂泄露，保证了所述工艺盘组件运动的流畅性。作为一种推荐的实施方式。磨削、铣削、钻孔、车削和制造都可以很好地运用在半导体零件加工上。

    可被用于制造现代电子设备中***使用的场效应晶体管。科学家们表示，**新研究有望让人造皮肤、智能绷带、柔性显示屏、智能挡风玻璃、可穿戴的电子设备和电子墙纸等变成现实。在目前的消费市场上，电子产品都很昂贵，主要因为电视机、电脑和手机等电子产品都由硅制成，制造成本很高;而碳基（塑料）有机电子产品不仅制造方便、成本低廉，而且轻便柔韧可弯曲，**了“电子设备无处不在”这一未来趋势。以前的研究表明，碳结构越大，其性能越优异。但科学家们一直未曾研究出有效的方法来制造更大的、稳定的、可溶解的碳结构以进行研究，直到此次祖切斯库团队研制出这种新的用于制造晶体管的有机半导体材料。有机半导体是一种塑料材料，其拥有的特殊结构让其具有导电性。在现代电子设备中，电路使用晶体管控制不同区域之间的电流。科学家们对新的有机半导体材料进行了研究并探索了其结构与电学属性之间的关系。生产过程保证产品的质量。浙江CPVC半导体与电子工程塑料零件定制加工保冷

既满足了晶圆低污染加工的严格要求，又是低成本的解决方案。浙江CPVC半导体与电子工程塑料零件定制加工保冷

    本实用新型涉及半导体设备领域，具体地，涉及一种半导体设备中的工艺盘组件，以及一种包括该工艺盘组件的半导体设备。背景技术：半导体设备通常由工艺腔和设置在工艺腔内的工艺盘组成，工艺盘用于承载待加工的工件，工件与工艺腔中通入的工艺气体发生化学反应或者由工艺气体形成沉积物沉积在工件表面，完成晶片的外延等半导体工艺。为了保证工艺盘上热量的均匀性，通常采用电机等设备驱动工艺盘旋转，目前的工艺盘驱动机构通常包括滑动轴、衬套和石英转轴。其中，石英转轴用于驱动工艺盘旋转，衬套套设在滑动轴上，石英转轴套设在衬套上，且滑动轴、衬套和石英转轴三者轴线重合，衬套通过贴合面之间的摩擦作用将滑动轴的扭矩传递至石英转轴上。然而，基于这种结构目前的半导体设备经常出现工件放偏、工艺效果不佳、工艺盘旋转卡顿等问题。技术实现要素：本实用新型旨在提供一种用于半导体设备的工艺盘组件，该工艺盘组件能够解决上述技术问题中的至少一者。为实现上述目的，作为本实用新型的***个方面，提供一种半导体设备中的工艺盘组件，包括工艺盘和工艺盘转轴，所述工艺盘转轴用于驱动所述工艺盘旋转，所述工艺盘组件还包括驱动轴和驱动衬套。浙江CPVC半导体与电子工程塑料零件定制加工保冷

朗泰克新材料技术（苏州）股份有限公司是以塑料加工，塑料机械加工，绝缘材料加工，尼龙加工研发、生产、销售、服务为一体的产品服务涉及领域：汽车制造行业，食品产线包装设备，化工密封，制药灌装、输送设备，电子产线工装治具，半导体清洗、封装，风力发电周边设备，太阳能制造设备，各类自动化线体配件等。 新材料技术研发；技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广；塑料制品销售；机械设备研发；机械零件、零部件加工；机械零件、零部件销售。企业，公司成立于2022-02-21，地址在江苏省苏州市相城区太平街道兴太路3号2号厂房一楼南半部。至创始至今，公司已经颇有规模。公司具有塑料加工，塑料机械加工，绝缘材料加工，尼龙加工等多种产品，根据客户不同的需求，提供不同类型的产品。公司拥有一批热情敬业、经验丰富的服务团队，为客户提供服务。依托成熟的产品资源和渠道资源，向全国生产、销售塑料加工，塑料机械加工，绝缘材料加工，尼龙加工产品，经过多年的沉淀和发展已经形成了科学的管理制度、丰富的产品类型。朗泰克新材料技术（苏州）股份有限公司通过多年的深耕细作，企业已通过橡塑质量体系认证，确保公司各类产品以高技术、高性能、高精密度服务于广大客户。欢迎各界朋友莅临参观、 指导和业务洽谈。

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