真空镀膜机的安全操作注意事项：1、设备中途停气时，应立即关闭扩散泵、粗抽泵、罗茨泵，让维持泵继续运行；2、设备中途停电时，应立即关总电源，后关扩散泵、粗抽泵、维持泵；3、扩散泵加热时，避免身体接触扩散泵加热炉、以免烫伤；4、工件旋转时，广州pvd真空镀膜原理，禁止一切作业；应待工件完全停止转动后，才可进行上下滚筒作业；5、电镀作业完成后，需要打开门时，应有作业人员扶住拉手，缓慢的将门打开，广州pvd真空镀膜原理，并将插销插入固定孔中；6、真空电镀机操作人员必须严格按设备操作指导书和安全操作规程进行作业，广州pvd真空镀膜原理，注意设备本身及设备运行中的安全，特别要重视安全装置的检查与使用。真空镀膜是由专门的真空镀膜机完成的。广州pvd真空镀膜原理

真空镀膜的方法：电阻加热蒸镀是用丝状或片状的钨、钼、钽高熔点金属做成适当形状的蒸发源，将膜料放在其中，接通电源，电阻直接加热膜料而使其蒸发，或者把膜料放入A1203、Be0等坩埚中进行间接电阻加热蒸发。电子束加热蒸镀是将膜料放入水冷铜坩埚中，利用高能量密度的电子束加热，使得膜料熔融气化并凝结在基体表面成膜。为了改善附着力，增加膜的致密性，真空镀膜前，镀膜过程中辅助离子束进行轰击的镀膜方法称为离子束辅助蒸镀。长沙真空镀膜标准真空镀膜有三种形式，即蒸发镀膜、溅射镀膜和离子镀。

PVD即物理的气相沉积，分为：真空蒸发镀膜、真空溅射镀膜和真空离子镀膜。我们通常所说的PVD镀膜，指的就是真空离子镀膜和真空溅射镀；通常说的NCVM镀膜，就是指真空蒸发镀膜。真空蒸镀基本原理：在真空条件下，使金属、金属合金等蒸发，然后沉积在基体表面上，蒸发的方法常用电阻加热，电子束轰击镀料，使蒸发成气相，然后沉积在基体表面，历史上，真空蒸镀是PVD法中使用较早的技术。溅射镀膜基本原理：充氩（Ar）气的真空条件下，使氩气进行辉光放电，这时氩（Ar）原子电离成氩离子（Ar），氩离子在电场力的作用下，加速轰击以镀料制作的阴极靶材，靶材会被溅射出来而沉积到工件表面。溅射镀膜中的入射离子，一般采用辉光放电获得，在l0-2Pa～10Pa范围，所以溅射出来的粒子在飞向基体过程中，易和真空室中的气体分子发生碰撞，使运动方向随机，沉积的膜易于均匀。离子镀基本原理：在真空条件下，采用某种等离子体电离技术，使镀料原子部分电离成离子，同时产生许多高能量的中性原子，在被镀基体上加负偏压。这样在深度负偏压的作用下，离子沉积于基体表面形成薄膜。

真空镀膜，简单地理解就是在真空环境下，使用蒸镀、溅射以及随后凝聚的办法，在金属、玻璃、陶瓷、半导体以及塑料件等物体上镀上金属薄膜或者是覆盖层。相对于传统镀膜方法，真空镀膜使用归于一种干式镀膜，它的首要方法包括以下几种：溅射镀膜，溅射镀膜是真空条件下，在阴极接上2000V高压电，激发辉光放电，带正电的氩离子撞击阴极，使其射出原子，溅射出的原子通过慵懒气氛堆积到基片上构成膜层。离子镀膜，即干式螺杆真空泵厂家已经介绍过的真空离子镀膜。它是在上面两种真空镀膜技能基础上发展而来的，因此兼有两者的工艺特点。在真空条件下，使用气体放电使工作气体或被蒸腾物质（膜材）部分离化，并在离子炮击下，将蒸腾物或其反响物堆积在基片外表。在膜的构成过程中，基片一直遭到高能粒子的炮击，非常清洁。真空卷绕镀膜，真空卷绕镀膜是一种使用物理的气相堆积的方法在柔性基体上接连镀膜的技能，以实现柔性基体的一些功能性、装饰性特点。真空镀膜的工艺可分为三种类型：蒸发镀膜、溅射镀膜和离子镀。

真空镀膜的离子镀，蒸发物质的分子被电子碰撞电离后以离子沉积在固体表面，称为离子镀。这种技术是D.麦托克斯于1963年提出的。离子镀是真空蒸发与阴极溅射技术的结合。一种离子镀系统如图4[离子镀系统示意图]，将基片台作为阴极，外壳作阳极，充入惰性气体（如氩）以产生辉光放电。从蒸发源蒸发的分子通过等离子区时发生电离。正离子被基片台负电压加速打到基片表面。未电离的中性原子（约占蒸发料的95%）也沉积在基片或真空室壁表面。电场对离化的蒸气分子的加速作用（离子能量约几百～几千电子伏）和氩离子对基片的溅射清洗作用，使膜层附着强度提高。离子镀工艺综合了蒸发（高沉积速率）与溅射（良好的膜层附着力）工艺的特点，并有很好的绕射性，可为形状复杂的工件镀膜。真空镀膜技术也是PVD涂层的常用制备方法，如真空蒸发、溅射镀膜和离子镀等。长沙真空镀膜标准

真空镀膜不产生废液，可避免对环境的污染。广州pvd真空镀膜原理

真空镀膜技术是一种新颖的材料合成与加工的新技术，是表面工程技术领域的重要组成部分。真空镀膜技术是利用物理、化学手段将固体表面涂覆一层特殊性能的镀膜，从而使固体表面具有耐磨损、耐高温、耐腐蚀、抗氧化、防辐射、导电、导磁、绝缘和装饰等许多优于固体材料本身的优越性能，达到提高产品质量、延长产品寿命、节约能源和获得明显技术经济效益的作用。因此真空镀膜技术被誉为极具发展前途的重要技术之一，并已在高技术产业化的发展中展现出诱人的市场前景。这种新兴的真空镀膜技术已在国民经济各个领域得到应用，如航空、航天、电子、信息、机械、石油、化工、环保等领域。广州pvd真空镀膜原理

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