真空镀膜的定义：在真空中把金属，山西金属表面真空镀膜、合金或化合物进行蒸发(或溅射)，使其沉积在被涂覆的物体(称基片、基板或基体)上的方法称为真空镀膜法。真空蒸镀简称蒸镀，是在真空条件下，用一定的方法加热镀膜材料(简称膜料)使之气化，并沉积在工件表面形成固态薄膜。以动量传递的方法，用荷能粒子轰击材料表面，使其表面原子获得足够的能量而飞逸出来的过程称为溅射。磁控溅射是一一种高溅射速率、低基片加热的溅射技术，称为高速低温溅射技术。离子镀膜技术简称离子镀，离子镀是在真空条件下，山西金属表面真空镀膜，山西金属表面真空镀膜，利用气体放电使气体或被蒸发物质部分电离，在气体离子或被蒸发物质离子轰击作用的同时把蒸发物质或其反应产物沉积在基片上。真空镀膜技术中所采用的镀膜方法主要有：真空蒸发镀、真空溅射镀、及分子束外延和化学汽相沉积镀等多种。山西金属表面真空镀膜

真空镀膜工艺过程中，镀件的表面清洁处理这一环节很重要。基本上所有的基片在装进镀膜真空室之前，都要先通过镀前清洁处理环节，做到工件的去油、去污和脱水。镀件表面污染的主要来源有：加工、传输、包装等流程会粘附粉尘、汗渍、油脂、抛光膏、机油以及润滑油等物质；设备零件表面吸附、吸收的气体；在潮湿空气中的镀膜机的零件表面生成的氧化膜。对于这些来源的污染，大多可通过去油或化学清洗方法去掉污染物。不能在大气环境中存放清洗处理过的清洁工件。为减小灰尘的沾污，清洁工件的贮存，常用保洁柜或封闭容器。玻璃基片用刚氧化的铝容器来贮存，可减小碳氢化合物蒸气的吸附。因为刚氧化的铝容器会优先对碳氢化合物起吸附作用。对水蒸气敏感或高度不稳定的表面，通常是在真空干燥箱里面贮存。山西金属表面真空镀膜真空镀膜是在真空条件下,用蒸发器加热镀膜材料使之升华,蒸发粒子流直接射向基体,沉积形成固体薄膜。

真空镀膜相较传统水电镀优势哪些?传统水电镀由于污水处理成本高、能耗高，水资源的浪费多，环境污染大等原因，已经被国家及各级地方部门所限制发展。而真空镀膜设备能够替代传统水电镀的表面处理方法，使传统水电镀进行技术升级改造。下面来了解看看它相较传统水电镀有哪些优势吧。1.无环境污染，因为所有的镀层材料都在真空环境下，通过等离子体沉积在工件表面，没有溶液污染，所以对环境没有危害。2.节约金属材料，因为真空涂层附着力、硬度、致密度以及耐腐蚀性能等非常优良，沉积的镀层厚度可以远远小于常规湿法电镀镀层，达到节约材料的目的。3.沉积材料广，可沉积铝、钛、锆等湿法电镀无法沉积的低电位金属，通以反应气体和合金靶材更是可以沉积从合金到陶瓷甚至是金刚石的涂层，而且可以根据需要设计涂层体系。真空镀膜设备既符合国家环保政策，又可以满足产品出口的要求，同时提高出口产品的附加值。随着社会不点的进步，真空电镀将会成为主流是必然的发展趋势。

真空镀膜的离子镀，蒸发物质的分子被电子碰撞电离后以离子沉积在固体表面，称为离子镀。这种技术是D.麦托克斯于1963年提出的。离子镀是真空蒸发与阴极溅射技术的结合。一种离子镀系统如图4[离子镀系统示意图]，将基片台作为阴极，外壳作阳极，充入惰性气体（如氩）以产生辉光放电。从蒸发源蒸发的分子通过等离子区时发生电离。正离子被基片台负电压加速打到基片表面。未电离的中性原子（约占蒸发料的95%）也沉积在基片或真空室壁表面。电场对离化的蒸气分子的加速作用（离子能量约几百～几千电子伏）和氩离子对基片的溅射清洗作用，使膜层附着强度提高。离子镀工艺综合了蒸发（高沉积速率）与溅射（良好的膜层附着力）工艺的特点，并有很好的绕射性，可为形状复杂的工件镀膜。真空镀膜底涂施工时，可以采用喷涂，也可采用浸涂。

真空镀膜是一种产生薄膜材料的技术，在真空室内材料的原子从加热源离析出来打到被镀物体的表面上。此项技术用于生产激光唱片(光盘)上的铝镀膜和由掩膜在印刷电路板上镀金属膜。在真空中制备膜层，包括镀制晶态的金属、半导体、绝缘体等单质或化合物膜。虽然化学汽相沉积也采用减压、低压或等离子体等真空手段，但一般真空镀膜是指用物理的方法沉积薄膜。真空镀膜有三种形式，即蒸发镀膜、溅射镀膜和离子镀。蒸发镀膜通过加热蒸发某种物质使其沉积在固体表面，称为蒸发镀膜。真空镀膜工业化大规模生产开始于20世纪80年代。山西金属表面真空镀膜

真空镀膜是在表面镀上非常薄的透明薄膜。山西金属表面真空镀膜

真空镀膜的薄膜均匀性概念：1、厚度上的均匀性，也可以理解为粗糙度，在光学薄膜的尺度上看（也就是1/10波长作为单位，约为100A），真空镀膜的均匀性已经相当好，可以轻松将粗糙度控制在可见光波长的1/10范围内，也就是说对于薄膜的光学特性来说，真空镀膜没有任何障碍。但是如果是指原子层尺度上的均匀度，也就是说要实现10A甚至1A的表面平整，具体控制因素下面会根据不同镀膜给出详细解释。2、化学组分上的均匀性：就是说在薄膜中，化合物的原子组分会由于尺度过小而很容易的产生不均匀特性，SiTiO3薄膜，如果镀膜过程不科学，那么实际表面的组分并不是SiTiO3，而可能是其他的比例，镀的膜并非是想要的膜的化学成分，这也是真空镀膜的技术含量所在。具体因素也在下面给出。3、晶格有序度的均匀性：这决定了薄膜是单晶，多晶，非晶，是真空镀膜技术中的热点问题。山西金属表面真空镀膜

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