检漏仪的基本原理与结构：检漏仪一般由质谱管，真空系统和电子系统组成。其中质谱管包括离子源，质量分析器和离子检测器; 真空系统一般由分子泵、机械泵、电磁阀和真空计组成。离子源的作用是将原子电离成带电离子并聚焦成束，以一定能量注入分析器，目前常用的电子轰击型离子源有尼尔型和震荡型两种形式。分析器的作用起将各类离子按其质荷比的不同实现分离。离子检测器的作用是手机质量分析器所选定的氦离子流并加以放大，再通过比对运算，得出泄漏率，真空系统的作用是获取质谱过程所需的真空，同时完成被检件的抽空和氦气的引入。真空系统一般由分子泵、机械泵、电磁阀和真空计组成组成，真空衰减法检漏设备厂家。按照真空系统的不同结构，检漏仪分为常规系统和逆扩散两种。常规系统多用于早期的检漏仪，该种检漏仪的被检件与高真空部分直接相通，真空衰减法检漏设备厂家，由被检件泄入的氮气首先到达质谱管被检到，因而具有较高的灵敏度，但是会对质谱管有污染，真空衰减法检漏设备厂家。逆扩散系统检漏仪与常规系统相比，被检件只与低真空相通，因此只需将被检工件抽至低真空就能进行检漏，氦气是逆扩散到质谱管，不会对系统有污染，因此被普遍采用，已成为市场的主流产品。启动时间是指氦质谱检漏仪自接通电源到能进行检漏的时间。真空衰减法检漏设备厂家

检漏仪可以用于镀膜设备的检漏。镀膜设备氨质谱检漏，1.将氨质检漏仪启动完成，再将检漏仪内部的检漏方式，设置为“停止不放气”。2.按‘停止’键，使检漏仪处在“待机”状态。3.将检漏仪检漏口和真空炉或镀膜机通过波纹管连接，可在波纹管一端加高真空手动挡板阀。4.开启真空炉或镀膜机的本身抽空系统，再打开连接检漏仪的高真空手动挡板阀。待真空炉或镀膜机内的真空度抽到200Pa以下，真空度相对稳定后。5.按下检漏仪的‘开始’键，让检漏仪进入检漏状态。6.待检漏仪显示的漏率值相对稳定后，就可以对真空炉或镀膜机的可疑漏点进行喷氨检漏。7.检漏结束后，先关闭高真空手动挡板阀，再按下检漏仪的‘停止’键，让检漏仪处在“待机”状态。8.较后关闭真空炉或镀膜机的抽空系统。9.拆除检漏仪与真空炉或镀膜机连接的波纹管。关闭检漏仪电源。浙江自动检漏仪工作原理检漏仪能实现复杂结构之下的漏孔定位测量。

检漏仪检漏时出现的故障：1、不向细检方式转换，检漏口压力<2×10-4MPa：检查粗检指示灯是否亮，如果亮，说明检漏仪置于粗检方式。再按一下粗检开关切换到自动转换状态。2、灵敏度低。检查三极规所测压力，等到质谱室压力<10-6MPa时再检漏;如果压力达到，检查离子源是否被污染，清洗离子源。3、氦本底太高。检查机械泵油是否失效(泵油长期使用变质会吸附较多的氦气，导致氦污染)，检查仪器系统是否有漏，真空管路是否污染，检查三极规上压力是否达到10-6MPa，离子源是否污染。另外还要注意环境的污染问题，如果有多台检漏仪，且氦气的使用量较大，通风不好时，致使氦气扩散慢，也会导致氦污染。解决办法是在检漏口的放气阀放气口(通常通大气)处，安装一个几升容量的气瓶，该气瓶与低压氦气管路连接。这样，就大幅减少了环境的氦污染。

检漏仪的应用特点：(1)便携式：各国推出的小型便携式检漏仪不但灵敏度高，而且便于携带，给野外作业和高空作业提供了比较大的方便。(2)高压强下检漏：检漏口压强可高达数百帕左右，对检测大系统和有大漏的工件很有益。(3)自动化程度高：自动校准氦峰，自动调节零点，量程自动转换，自动数据处理，可外接打印机。整机由微机控制，菜单选择功能，一个按钮即可完成一次的全检漏过程。(4)全无油的干式检漏：有些国家生产的检漏仪，可采用干式泵，达到无油蒸气的效果，为无油系统及芯片等半导体器件的检漏，提供了有利条件。(5)检漏范围宽：现今生产的四极检漏仪，质量范围很宽，不但可检测氦气，而且能检测其它气体。分子泵排气系统取代扩散泵排气系统，不但解决了油蒸气对质谱室的污染问题，而且对快速启动仪器和快速停机做出了很大贡献。为适应检漏口压强的变化和对灵敏度要求的不同，分子泵一般采用多级构造和几种不同的转速。如果排气管中有大量油滴，可以从氦质谱检漏仪中取出，然后清洗。

检漏仪系统对密封容器的使用性能有什么帮助？密封容器的泄漏率是否符合要求，直接关系到容器的使用性能。准确发现漏孔和定量检测对保证容器的密封性、可靠性和安全性至关重要。寻找快速、灵敏、高效的泄漏检测方法是真空设备制造商的共同愿望。在泄漏检测方法中，氦质谱法因其高灵敏度和稳定性而得到越来越普遍的应用。传统的泄漏检测系统包括设备多、体积大、重量大、移动困难、集成氦质谱泄漏检测装置。适用于泄漏检测过程中不可缺少但泄漏检测工作量小的现场安装环境。全套氦质谱检漏工作台系统主要包括操作平台、检漏仪、氦气瓶、显示仪表及真空泵，该系统包含设备多、体积大、重量大：而容器在制造及装配过程中涉及到检漏的工序。氦质谱检漏仪以其高灵敏度和准确性而通常应用于整体防漏等级较高的压力容器上。合肥氦气检漏设备

影响氦质谱检漏仪灵敏度的因素包括实际检测条件、辅助真空系统以及操作人员的技术等多方面。真空衰减法检漏设备厂家

是一家专业致力于氦气检漏仪，氦气回收系统，检漏仪，氦检仪的研发和制造企业，所有产品均采用更先进的技术和工艺制造。涵盖了该国际标准在结构、资源、技术、体系等方面的全部要求。其发布与实施将进一步促进我国标准物质研制(生产)机构管理体系的规范化运行，确保标准物质的研发、生产和服务质量。仪器仪表上游的行业主要包括五金件、电子元器件、传感器等；仪器仪表按应用类型可分为通用型和专业型；下游应用非常极广，包括石油化工、钢铁冶炼、电力（电表）、建筑测绘（测量仪表）、轨道交通（汽车仪表盘等）等各行业。近几年，我国仪器仪表行业呈现出高速发展的态势。据中国仪器仪表行业协会发布的数据，过去的几年期间，除受全球经济的影响而此期间，全球仪器仪表市场的增幅只有3%～4%，我国仪器仪表行业的发展速度之快可见一斑。总结其中原因，与我国的经济发展环境是密不可分的。通过学术研究，在工业和商业之间建立对话，将尖精技术转移到电力行业。这使得电力工业不只能够充分利用电力工程前沿的科学家的研究和创新，而且能够为未来的研究和发展方向做出积极的贡献。反过来，能够有效地响应市场需求，开发商业上可行的产品，为电力行业带来真正的监控和控制解决方案。真空衰减法检漏设备厂家

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