真空镀膜是必须保持在真空环境下进行的才行。因此真空镀膜机若有灰尘,将会影响真空镀膜的效果和质量。但是,需要镀膜材料表面是没办法保证是完全无灰尘的,因此,为了尽量减小材料表面灰尘的前提下,真空镀膜机镀膜的时候必须要注意以下几点才行。(1)真空镀膜设备使用一段时间后,必须要对设备进行清洁维护;(2)规范操作人员及操作要求,金属蒸镀机厂家直销,包括穿戴专业的服装、手套,金属蒸镀机厂家直销、脚套等;(3)严格处理衬底材料,做到清洁干净,合乎工艺要求;(4)源材料符合必要的纯度要求;(5)保证设施设备及操作环境清洁。如材料,金属蒸镀机厂家直销、样品放置地环境要求,环境温度湿度要求等;(6)降低真空镀膜设备室内空气流动性低、尽量减小室外灰尘侵入。真空镀膜机是将待成膜的物质置于真空中进行蒸发或升华,使之在工件或基片表面析出的过程。金属蒸镀机厂家直销
真空镀膜机的操作注意事项:1、真空镀膜机操作员要穿着整洁,袖口扣紧(佩戴袖套),上衣下摆不能敞开,不得穿拖鞋、高跟鞋;2、检查电路各控制开关能否正常断开闭合,电压指示380±20V;3、检查各螺钉处连接是否牢固,电控柜、主机的连接线有无松脱现象、接地是否良好;所有电器的开关在零或者“关”的位置上;4、检查镀膜机室内不锈钢挡板的插销是否牢固,角部有无弯曲翘曲等变形情况;5、检查水压、气压是否正常;水、油、气是否有漏滴现象;6、设备中途停水时,应立即关闭扩散泵、粗抽泵、罗茨泵,让维持泵继续运行;7、设备中途停气时,应立即关闭扩散泵、粗抽泵、罗茨泵,让维持泵继续运行。苏州全自动蒸镀机多少钱真空镀膜机对环境的要求一般包括真空设备对实验室(或车间)温度、空气和其他周围环境中颗粒物的要求。
真空镀膜机操作程序具体操作时请参照该设备说明书和设备上仪表盘指针显示及各旋钮下的标注说明。①检查真空镀膜机各操作控制开关是否在"关"位置。②打开总电源开关,设备送电。③低压阀拉出。开充气阀,听不到气流声后,启动升钟罩阀,钟罩升起。④安装固定钨螺旋加热子。把PVDF薄膜和铝盖板固定在转动圆盘上。把铝丝穿放在螺旋加热子内。清理钟罩内各部位,保证无任何杂质污物。⑤落下钟罩。⑥启动抽真空机械泵。⑦开复合真空计电源(复合真空计型号:Fzh-1A)。a.左旋钮“1”顺时针旋转至指向2区段的加热位置。b.低真空表“2”内指针顺时针移动,当指针移动至110mA时,左旋钮"1"旋转至指向2区段测量位置。⑧当低真空表“2”内指针再次顺时针移动至6.7Pa时,低压阀推入。这时左旋钮“1”旋转至指向1区段测量位置。⑨真空镀膜机开通冷却水,启动扩散泵,加热40min。⑩低压阀拉出。重复一次⑦动作程序:左下旋钮“1”转至指向2区段测量位置。低真空表“2”内指针顺时针移动,当指针移动至6.7Pa时,开高压阀(阀杆顺时针旋转)。⑪等低真空表“2”内指针右移动至0.1Pa时,开规管灯丝开关。
真空镀膜机泵组系统的应用及原理:真空镀膜机,必须使用机械泵、机械泵也被称为前级泵、机械泵是应用较广的低真空泵油保持密封效果和依靠机械方法不断改变泵吸入腔的体积,所以容器内气体的体积膨胀以获得真空。机械泵有很多种,常用的滑阀式、往复活塞式、固定板式和回转板式四种类型。机械泵常用于去除干燥空气,但不能去除过量的氧气和腐蚀性气体,机械泵一般用于去除气体,但对水煤气效果不好,所以不能去除水煤气。转子泵过程中起着重要作用的组件定子等等,转子与定子轴定子但不同,像两个内圈,转子槽设有两个弹片,两个弹片中间的弹簧,确保弹片紧密附着在定子内壁。它的两个弹片交替发挥着两种作用,一方面从吸入气体,另一方面,压缩气体已经吸入,气体从泵中排出。转子每转动一次,泵就完成两次吸气和两次排气。当泵继续顺时针旋转时,旋转叶片泵不断地通过进气口吸入气体,并从排气口不断地排出泵外,以达到抽吸容器的目的。真空镀膜机在镀膜的时候,需要镀层表面的化学成分保持均匀性。
蒸镀机的操作步骤:1.将要蒸发的基底材料洗干净放在蒸发头下面的基板上。2.将要蒸发的金属用镊子团成球形放入钨篮中。3.将蒸发头装在仪器盖上,插好电线,打开仪器电源开关。将氮气钢瓶的开关旋开,使流量控制在0.035Mpa左右。4.按“ENTER”按钮设置仪器参数。如果选择“SinglePulse”模式,其余参数不需要设置,值设置除气时间,在0~60秒内调节。5.然后按“START”键仪器开始抽真空。6.等仪器进入泵保持状态,真空度达到9×10-5mbar是,可进行下一步操作。由于铝比较容易氧化,蒸铝时至少要在泵保持进行30分钟之后才能进行下一步操作。7.按“START”键。8.按“△”键仪器开始除气。主要除去要蒸发的金属材料表面的一些污垢等。操作时要小心的向右旋下面的黑色按钮,当“Current”显示为8是就要通知旋动,稍等片刻钨篮就会发红,开始除气。除气持续10秒左右然后就将旋钮向左旋到底。9.然后按“▽”键仪器进入蒸发状态。10.蒸镀完毕后,按“STOP”键,停止抽真空,然后打开盖子取出样品,关闭主机电源盒气源。真空镀膜机在镀膜的时,需要镀层表面的化学成分保持均匀性。苏州全自动蒸镀机多少钱
真空镀膜设备使用的源材料要符合纯度要求。金属蒸镀机厂家直销
真空镀膜机设备表面处理的基本方法:1、溶剂脱脂,附着在真空设备零件上的油可分为动植物油和矿物油。动植物油可用碱溶液化学法除去,矿物油可用有机溶剂除去。然而,在实际的清洗设备中,通常使用两种溶剂。2、酸碱侵蚀处理,设备除油后,金属表面的氧化物可用酸蚀或碱蚀去除。热处理后,设备零件无油污。真空退火后可直接进行酸/碱腐蚀去除氧化层污染。3、电化学清洗和电解抛光,介绍了电化学清洗的原理和配方,指出电解抛光的电解液不同于电解蚀刻液。电化学抛光的电解液配方和抛光规范如下:1.正磷酸(HPo):65%(质量百分比);2.硫酸:15%;3.铬酸(CRO):6%;4.去离子水:14%;5.电流密度:0.2~0.5a/cm2;6.电压:6~12V;7.工作温度:约75°C;8.时间:5~10min。电抛光后,将零件放入2%-5%氨水中15s-20s,用水冲洗,用无水乙醇脱水,干燥。金属蒸镀机厂家直销
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