检漏仪的基本原理与结构：检漏仪一般由质谱管，真空系统和电子系统组成。其中质谱管包括离子源，质量分析器和离子检测器; 真空系统一般由分子泵、机械泵、电磁阀和真空计组成。离子源的作用是将原子电离成带电离子并聚焦成束，以一定能量注入分析器，密封性检漏设备价钱，目前常用的电子轰击型离子源有尼尔型和震荡型两种形式。分析器的作用起将各类离子按其质荷比的不同实现分离。离子检测器的作用是手机质量分析器所选定的氦离子流并加以放大，再通过比对运算，得出泄漏率，真空系统的作用是获取质谱过程所需的真空，同时完成被检件的抽空和氦气的引入。真空系统一般由分子泵、机械泵、电磁阀和真空计组成组成。按照真空系统的不同结构，检漏仪分为常规系统和逆扩散两种。常规系统多用于早期的检漏仪，该种检漏仪的被检件与高真空部分直接相通，由被检件泄入的氮气首先到达质谱管被检到，因而具有较高的灵敏度，但是会对质谱管有污染。逆扩散系统检漏仪与常规系统相比，被检件只与低真空相通，因此只需将被检工件抽至低真空就能进行检漏，氦气是逆扩散到质谱管，密封性检漏设备价钱，不会对系统有污染，密封性检漏设备价钱，因此被普遍采用，已成为市场的主流产品。选择氦质谱检漏仪要考虑的问题有哪些？密封性检漏设备价钱

检漏仪检漏时出现的故障：1、不向细检方式转换，检漏口压力<2×10-4MPa：检查粗检指示灯是否亮，如果亮，说明检漏仪置于粗检方式。再按一下粗检开关切换到自动转换状态。2、灵敏度低。检查三极规所测压力，等到质谱室压力<10-6MPa时再检漏;如果压力达到，检查离子源是否被污染，清洗离子源。3、氦本底太高。检查机械泵油是否失效(泵油长期使用变质会吸附较多的氦气，导致氦污染)，检查仪器系统是否有漏，真空管路是否污染，检查三极规上压力是否达到10-6MPa，离子源是否污染。另外还要注意环境的污染问题，如果有多台检漏仪，且氦气的使用量较大，通风不好时，致使氦气扩散慢，也会导致氦污染。解决办法是在检漏口的放气阀放气口(通常通大气)处，安装一个几升容量的气瓶，该气瓶与低压氦气管路连接。这样，就大幅减少了环境的氦污染。密封性检漏设备价钱氦质谱检漏仪实际的检漏灵敏度比理论计算值低。

氦质谱检漏仪的结构：1、质谱室，形象的说，质谱室是氦质谱检漏仪的心脏，由离子源，质量分析器和离子检测器三个部分组成，并将冷阴极磁控规也放在其内，共用其磁场。2、真空系统，真空系统是提供质谱室正常工作的条件。由于钨阴极正常工作时需要具备0.001-0.01Pa的真空度，同时保证氦离子在分析器中的运动有较高的传输率，因此建立一个高真空系统是必要的。3、电气系统，氦质谱仪电气部分的中心是质谱室的供电和测量，其他部分包括真空系统的电源与控制部分，操纵面板及输出仪表等。

检漏仪怎么选择适合的检漏方法？ 氦质谱检漏的实际应用方案很多，常用的三种检漏方法有负压法（抽真空），正压法（吸入法）和背压法（压氦法），可以发现有不同的叫法，这是根据不同的检测方式命名的。采用什么方法要视被检件的结构、检漏的经济效益及检漏系统的性质来决定。根据不同的检漏目的，常用基础的有3种检漏方法。负压法（喷氦法），对被检工件抽真空，可对被检工件外可疑漏点喷氦，也可将工件罩起来对氦罩内喷氦，可根据工件容积大小选配辅助泵或不加辅助泵，可检测工件的具体漏点和准确漏率；正压法（吸入法），可分为真空箱法和吸口法两张模式，真空箱法详见真空箱式氦检成套设备，工件内充氦气，吸抢检测，可根据工件漏率选择性充入一定比例混合氦气，可检测工件的具体漏点，检测精度高。背压法，可根据工件大小定制罐体大小；可检测工件的整体漏点；检测精度较高。检漏仪应在无风条件下使用。

检漏仪的应用特点：(1)便携式：各国推出的小型便携式检漏仪不但灵敏度高，而且便于携带，给野外作业和高空作业提供了比较大的方便。(2)高压强下检漏：检漏口压强可高达数百帕左右，对检测大系统和有大漏的工件很有益。(3)自动化程度高：自动校准氦峰，自动调节零点，量程自动转换，自动数据处理，可外接打印机。整机由微机控制，菜单选择功能，一个按钮即可完成一次的全检漏过程。(4)全无油的干式检漏：有些国家生产的检漏仪，可采用干式泵，达到无油蒸气的效果，为无油系统及芯片等半导体器件的检漏，提供了有利条件。(5)检漏范围宽：现今生产的四极检漏仪，质量范围很宽，不但可检测氦气，而且能检测其它气体。分子泵排气系统取代扩散泵排气系统，不但解决了油蒸气对质谱室的污染问题，而且对快速启动仪器和快速停机做出了很大贡献。为适应检漏口压强的变化和对灵敏度要求的不同，分子泵一般采用多级构造和几种不同的转速。检漏仪在使用前需要采用标准氦校准漏孔进行校准，该标准漏孔必须经过计量校准过的。南京便携式检漏设备

检漏仪系统对密封容器的使用性能有什么帮助？密封性检漏设备价钱

氦气检漏仪在锅炉检漏中的应用：氦质谱检漏的主要特点：①检漏仪的示踪气体通常选用氦气.因氦气在空气中的含量极少，只占约二十万分之一这样氦气的本底值就小有利于发现极微量的氦气；②氦分子小、质量轻、易扩散、易穿越漏孔.易于检测也易于清理；③氦离子荷质比小，易于进行质谱分析；④氦气是惰性气体化学性质稳定不会腐蚀和损伤任何设备：⑤氦气无毒，不凝结，极难容于水。与常规水压查漏相比，氦质谱检漏技术具有快速、准确、灵敏度高及无损伤性等方面的优点。采用水压查漏，现场实际操作复杂，对水质、水温、升压方式、升压设备等方面都有一定要求。而且在轻微泄漏时，漏点不容易被发现。在某些情况下，大面积拆除保温，从工期和费用等方面均值得考虑。通过检漏仪跟踪氦气浓度梯度变化，能够快速准确查找到被保温覆盖的焊缝微裂纹。密封性检漏设备价钱

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