真空镀膜机各部件的组成及其工作原理：一、真空主体——真空室根据加工产品的要求差异，大小也不一。目前应用较广的真空室有直径1.3M、0.9M、1.5M、1.8M等。燃烧室由不锈钢制成，不需要生锈、坚固等。真空室的所有部分都设有连接阀，用于连接各种泵。二、辅助抽气系统：排气系统是真空镀膜机的重要组成部分，主要由机械泵、增压泵(主要引入罗茨泵)和油扩散泵组成。排气系统由“扩散泵+机械泵+罗茨泵+低温冷阱+polycold”组成。机械泵首先将真空室抽入小于2.0*10-2pa的低真空状态，为扩散泵的后续真空抽吸提供了前提，河北蒸镀机系列-FS500，然后在扩散泵的真空室抽吸时，机械泵与油扩散泵串联，河北蒸镀机系列-FS500，河北蒸镀机系列-FS500，完成抽吸作用。真空镀膜机主要是指一种需要在高真空下进行的镀膜，包括真空离子蒸发、PLD激光溅射沉积等多种。河北蒸镀机系列-FS500

真空镀膜机的操作注意事项：1、真空镀膜机操作员要穿着整洁，袖口扣紧（佩戴袖套），上衣下摆不能敞开，不得穿拖鞋、高跟鞋；2、检查电路各控制开关能否正常断开闭合，电压指示380±20V；3、检查各螺钉处连接是否牢固，电控柜、主机的连接线有无松脱现象、接地是否良好；所有电器的开关在零或者“关”的位置上；4、检查镀膜机室内不锈钢挡板的插销是否牢固，角部有无弯曲翘曲等变形情况；5、检查水压、气压是否正常；水、油、气是否有漏滴现象；6、设备中途停水时，应立即关闭扩散泵、粗抽泵、罗茨泵，让维持泵继续运行；7、设备中途停气时，应立即关闭扩散泵、粗抽泵、罗茨泵，让维持泵继续运行。河北蒸镀机系列-FS500真空镀膜机若有灰尘，将会影响真空镀膜的效果和质量。

真空镀膜是必须保持在真空环境下进行的才行。因此真空镀膜机若有灰尘，将会影响真空镀膜的效果和质量。但是，需要镀膜材料表面是没办法保证是完全无灰尘的，因此，为了尽量减小材料表面灰尘的前提下，真空镀膜机镀膜的时候必须要注意以下几点才行。（1）真空镀膜设备使用一段时间后，必须要对设备进行清洁维护；（2）规范操作人员及操作要求，包括穿戴专业的服装、手套、脚套等；（3）严格处理衬底材料，做到清洁干净，合乎工艺要求；（4）源材料符合必要的纯度要求；（5）保证设施设备及操作环境清洁。如材料、样品放置地环境要求，环境温度湿度要求等；（6）降低真空镀膜设备室内空气流动性低、尽量减小室外灰尘侵入。

如何检查真空镀膜机的漏气情况？一，查看漏气究竟的虚漏仍是实漏，因为工件资料加热后都会在不一样程度上发生气体，有可能误以为是从外部流进的气体，这就是虚漏，要扫除这种状况。二，测验真空室的气体密封功能，确保气密功能符合要求。三，查看漏孔的巨细，形状、方位，漏气的速度，制备出可解决计划并实施。四，断定检查仪器的较小可检漏率和检漏灵敏性，以较大规模的检查出漏气状况，防止一些漏孔被疏忽，进步检漏的准确性。五，把握检漏仪器的反应时刻和消除时刻，把时刻把握好，确保检漏仪器作业到位，时刻少了，检漏作用肯定差，时刻长了，浪费检漏气体和人工电费。六，还要防止真空镀膜机漏孔阻塞，有时因为操作失误，检漏过程中，一些尘埃或液体等把漏孔阻塞了，以为在该方位没有漏孔，但当这些阻塞物因为内外压强区别进步或别的缘由使漏孔不堵了，那漏气仍是存在的。为真空镀膜机做好检漏作业是很重要的，形成真空度降低的缘由多种多样，我们要逐个的解决这些缘由，稳定镀膜的作用。真空镀膜机本身是一个复杂的系统，包括真空、自动化、机械等多个系统。

真空镀膜机镀膜前的清洗：真空加热清洗，将工件放置于常压或真空中加热。促使其表面上的挥发杂质蒸发来达到清洗的目的，这种方法的清洗效果与工件的环境压力、在真空中保留时间的长短、加热温度、污染物的类型及工件材料有关。其原理是加热工件。促使其表面吸附的水分子和各种碳氢化合物分子的解吸作用增强。解吸增强的程度与温度有关。在超高真空下，为了得到原子级清洁表面，加热温度必高于450度才行。加热清洗方法特别有效。但有时，这种处理方法也会产生副作用。由于加热的结果，可能发生某些碳氢化合物聚合成较大的团粒，并同时分解成碳渣。真空镀膜机设计焊缝结构的时候，接头一定要焊透，应该避免产生聚集污物的有害空间。河北蒸镀机系列-FS500

真空镀膜机的油要定期更换。河北蒸镀机系列-FS500

真空镀膜机的保养：每完成200个镀膜程序以上，应清洁工作室一次。方法：用氢氧化钠（NaOH）饱和溶液反复擦洗真空室内壁，（注意人体皮肤不可以直接接触烧碱溶液，以免灼伤）目的是使镀上去的膜料铝（AL）与NaOH发生反应，反应后膜层脱落，并释放出氢气，再用清水清洗真空室和用布沾汽油清洗精抽阀内的污垢。当粗抽泵（滑阀泵，旋片泵）连续工作一个月（雨季减半），需更换新油。方法：拧开放油螺栓，放掉旧油，再将泵启动数秒，使泵内的旧油完全排放出来。拧回放油螺栓，加入新油至额定量（油视镜观察）。河北蒸镀机系列-FS500

苏州方昇光电股份有限公司成立于2008-10-24年，在此之前我们已在有机-金属真空热蒸镀仪，真空镀膜设备，蒸镀机，镀膜机行业中有了多年的生产和服务经验，深受经销商和客户的好评。我们从一个名不见经传的小公司，慢慢的适应了市场的需求，得到了越来越多的客户认可。公司主要经营有机-金属真空热蒸镀仪，真空镀膜设备，蒸镀机，镀膜机，公司与有机-金属真空热蒸镀仪，真空镀膜设备，蒸镀机，镀膜机行业内多家研究中心、机构保持合作关系，共同交流、探讨技术更新。通过科学管理、产品研发来提高公司竞争力。公司与行业上下游之间建立了长久亲密的合作关系，确保有机-金属真空热蒸镀仪，真空镀膜设备，蒸镀机，镀膜机在技术上与行业内保持同步。产品质量按照行业标准进行研发生产，绝不因价格而放弃质量和声誉。方昇光电秉承着诚信服务、产品求新的经营原则，对于员工素质有严格的把控和要求，为有机-金属真空热蒸镀仪，真空镀膜设备，蒸镀机，镀膜机行业用户提供完善的售前和售后服务。

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