平面度：形位误差中的形状误差。平面度是指基片具有的宏观凹凸高度相对理想平面的偏差。公差带是距离为公差值t的两平行平面之间的区域。平面度属于形位误差中的形状误差。平面度测量是指被测实际表面对其理想平面的变动量。平面度误差是将被测实际表面与理想平面进行比较，两者之间的线值距离即为平面度误差值；或通过测量实际表面上若干点的相对高度差，再换算以线值表示的平面度误差值。平面度误差测量的常用方法有如下几种：平晶干涉法，上海解决方案方案设计、打表测量法、液平面法，上海解决方案方案设计、光束平面法，上海解决方案方案设计、激光平面度测量仪、利用数据采集仪连接百分表测量平面度误差的方法。没有完美的，一定能解决问题的长久解决方案。上海解决方案方案设计

功能原理

简单地说，三坐标测量机就是在三个相互垂直的方向上有导向机构、测长元件、数显装置，有一个能够放置工件的工作台(大型和巨型不一定有)，测头可以以手动或机动方式轻快地移动到被测点上，由读数设备和数显装置把被测点的坐标值显示出来的一种测量设备。显然这是较简单、较原始的测量机。有了这种测量机后，在测量容积里任意一点的坐标值都可通过读数装置和数显装置显示出来。测量机的采点发讯装置是测头，在沿X，Y，Z三个轴的方向装有光栅尺和读数头。其测量过程就是当测头接触工件并发出采点信号时，由控制系统去采集当前机床三轴坐标相对于机床原点的坐标值，再由计算机系统对数据进行处理。 上海名优解决方案机器视觉应用解决方案。

基本构成1、X向横梁：采用精密斜梁技术。2、Y向导轨：采用独特的直接加工在工作台上的整体下燕尾槽定位结构。3、导轨方式：采用自洁式预载荷高精度空气轴承组成的四面环抱式静压气浮导轨。4、驱动系统：采用本产高性能DC直流伺服电机、柔性同步齿形带传动装置，各轴均有限位和电子控制，传动更快捷、运动性能更佳。5、Z向主轴：可调节的气动平衡装置，提高了Z轴的定位精度。6、控制系统：采用进口的双计算机三座标zhuan用控制系统。7、机器系统：采用计算机辅助3D误差修正技术（CAA），保证系统的长期的稳定性和高精度。8、测量软件：采用功能强大的3D-DMIS测量软件包，具有完善的测量功能和联机功能。

光波干涉法常利用平晶进行，图为测量所得的不同干涉条纹。图中a的干涉条纹是直的，而且间距相等，只在周边上稍有弯曲。这说明被检验表面是平的，但与光学平晶不平行，而且在圆周部分有微小的偏差。图中b的干涉条纹弯曲而且间隔不相等，表明被检验表面是球形的，平晶有微小倾斜。条纹弯曲度约为条纹间距的1.5倍，表示平面度误差为1.5×0.3μm=0.45μm。图中c的干涉条纹呈圆形，同样表明被检验表面是球形表面。将条纹数目乘以所用光束波长的一半，即得所求的平面误差为1.5×0.3μm=0.45μm。图中d的干涉条纹成椭圆形排列，说明被检验表面是桶形的。可以把干涉图案作为被检验表面的等高线，因此可以画出该表面的形状。这种方法只适宜测量高光洁表面，测量面积也较小，但测量精确度很高。确定对象和影响范围→分析问题→提出解决办法建议→成本规划和可行性分析→执行→后期跟进交互修正→总结。

3、液平面法：液平面法是用液平面作为测量基准面，液平面由“连通罐”内的液面构成，然后用传感器进行测量。此法主要用于测量大平面的平面度误差。4、光束平面法：光束平面法是采用准值望远镜和瞄准靶镜进行测量，选择实际表面上相距较远的三个点形成的光束平面作为平面度误差的测量基准面。5、激光平面度测量仪：激光平面度测量仪用于测量大型平面的平面度误差。6、利用数据采集仪连接百分表测量平面度误差的方法。测量仪器：偏摆仪、百分表、数据采集仪。测量原理：数据采集仪可从百分表中实时读取数据，并进行平面度误差的计算与分析，平面度误差计算工式已嵌入我们的数据采集仪软件中，完全不需要人工去计算繁琐的数据，可以dada提高测量的准确率。与拿到一个完整的建议书或者计划书相比，客户更希望获得解决问题的全套服务。上海解决方案方案设计

对于问题的实际分析，决定了解决方案的针对性和有效性。上海解决方案方案设计

.柱式桥架型(Gantrytype)

柱式桥架型，与床式桥架型式比较时，柱式桥架型其架是直接固定在地板上又称为门型，比床式桥架型有较大且更好的刚性，大部分用在较大型的三坐标测量仪上。各轴都以马达驱动，测量范围很大，操作者可以在桥架内工作。

4.固定桥架型(Fixedbridgetype)

固定桥架型，轴为主轴在垂直方向移动，厢形架导引主轴沿着垂直轴的水平横梁上做方向移动。桥架(支柱)被固定在机器本体上，测量台沿着水平平面的导轨作轴方向的移动，且垂直于和轴。每轴皆由马达来驱动，可确保位置精度，此机型不适合手动操作。 上海解决方案方案设计

上海岱珂机电设备有限公司位于上海市奉贤区泰叶路159弄33号，是一家专业的机电设备及配件，机械设备及配件，仪器仪表、电气设备、工具刃具、模具、电子产品、电子元件、计算机、软件及辅助设备、实验室设备，光学仪器、化工原料及产品(除危险化学品、监控化学品、民用爆破物品、易制毒化学品、轴承的批发、零售，从事货物进口及技术进口业务，工业自动化设备安装。工业产品设计。商务信息咨询，计算机软件开发，计算机信息系统集成，从事测量技术，软件技术，计算机科技、网络科技领域内的技术开发、技术咨询、技术服务、技术转让。 [依法须经批准的项目。经相关部门批准后方可开展经营活动]公司。致力于创造***的产品与服务，以诚信、敬业、进取为宗旨，以建岱珂机电产品为目标，努力打造成为同行业中具有影响力的企业。公司坚持以客户为中心、机电设备及配件，机械设备及配件，仪器仪表、电气设备、工具刃具、模具、电子产品、电子元件、计算机、软件及辅助设备、实验室设备，光学仪器、化工原料及产品(除危险化学品、监控化学品、民用爆破物品、易制毒化学品、轴承的批发、零售，从事货物进口及技术进口业务，工业自动化设备安装。工业产品设计。商务信息咨询，计算机软件开发，计算机信息系统集成，从事测量技术，软件技术，计算机科技、网络科技领域内的技术开发、技术咨询、技术服务、技术转让。 [依法须经批准的项目。经相关部门批准后方可开展经营活动]市场为导向，重信誉，保质量，想客户之所想，急用户之所急，全力以赴满足客户的一切需要。自公司成立以来，一直秉承“以质量求生存，以信誉求发展”的经营理念，始终坚持以客户的需求和满意为重点，为客户提供良好的光谱共焦传感器，高精度3D测量系统，涂层厚度检测传感器，同轴激光位移传感器，从而使公司不断发展壮大。

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