氦质谱检漏仪的校准方法：1、标准漏孔校准氦质谱检漏仪方法，采用标准漏孔对氦质谱检漏仪进行校准，将一系列经过校准的不同量级标准漏孔分别接入氦质谱检漏仪系统，实验室温度保持在23±1℃，合肥台式检漏仪，可以读出一组标准漏孔漏率的检漏仪示值，合肥台式检漏仪，从而得到标准漏孔漏率值与检漏仪示值的关系曲线，并通过对这条曲线进行数学拟合，得到氦质谱检漏仪全量程测量范围示值与漏率值之间的拟合公式。2、校准仪器的选择，为了满足氦质谱检漏仪现场校准，便于携带，真空标准漏孔选用薄膜渗氦型标准漏孔。薄膜渗氦型标准漏孔具有对污染不敏感；漏率可以做得很小；重复性、稳定性等计量特性好；对温度变化敏感，使用需要对漏率温度修正等特点，合肥台式检漏仪。质谱室是检漏仪的重点部分，它包括离子源、聚焦、质量分析器和测量部分。合肥台式检漏仪

检漏仪常规氦检漏的基本要求：在使用前需要采用标准氦校准漏孔进行校准，该标准漏孔必须经过计量校准过的，它与温度和使用年限有关。如LK-8标准校准漏孔的漏率为1.65X10-8 Pa M3/s；在正式检漏前，工件内部要用氦气将工件内部的空气排出，保证一定的氦气浓度，并保持氦气压力必须高于标准大气压(0.1MPa)以上, 且持续保压至少30min以上。检测时，工件周围防止通风，且不能降低氦气的检测灵敏度。注意周边的环境必须保持没有额外的氦气存在。检测时要注意安全防止氦气引起的窒息。检测中要使吸口嘴必须保持与检测位置的距离不超过3mm，为了便于检测可以在吸口嘴外套个塑料盖确保在泄漏点出来的氦气不会立刻散开，提高检测灵敏度。漏率可以直接从仪器上读取，可以设置漏率超标时报警；该方法属于半定量方法，一般要求漏率小于1 X 10-6 Pa M3/s为合格。气密性检漏设备品牌推荐检漏仪检测范围很宽，不但可检测氦气，还能检测其它气体。

检漏仪的整体结构:一、质谱室,形象的说，质谱室是检漏仪的心脏，由离子源、分析器和电气系统三个部分组成，并将冷阴极磁控规也放在其内，共用其磁场。为了有利于微小的粒子流放大，将一级放大用高阻及静电计管也放在质谱室之内。质谱室壳由非磁性材料制成，内部抽空，而外部设置成磁铁形成磁分析器的磁场。二、真空系统,真空系统是提供质谱室正常工作的条件。由于钨阴极正常工作时需要具备0.001-0.01Pa的真空度，同时保证氦离子在分析器中的运动有较高的传输率，因此建立一个高真空系统是必要的。系统中的节能阀则是为了满足质谱室工作压力的调节，该阀全开时检漏灵敏度较高，因此在条件允许情况下开启大些为宜。检漏时为了校准检漏灵敏度，系统中设置了标准漏孔。

检漏仪检漏时出现的故障：1、不向细检方式转换，检漏口压力<2×10-4MPa：检查粗检指示灯是否亮，如果亮，说明检漏仪置于粗检方式。再按一下粗检开关切换到自动转换状态。2、灵敏度低。检查三极规所测压力，等到质谱室压力<10-6MPa时再检漏;如果压力达到，检查离子源是否被污染，清洗离子源。3、氦本底太高。检查机械泵油是否失效(泵油长期使用变质会吸附较多的氦气，导致氦污染)，检查仪器系统是否有漏，真空管路是否污染，检查三极规上压力是否达到10-6MPa，离子源是否污染。另外还要注意环境的污染问题，如果有多台检漏仪，且氦气的使用量较大，通风不好时，致使氦气扩散慢，也会导致氦污染。解决办法是在检漏口的放气阀放气口(通常通大气)处，安装一个几升容量的气瓶，该气瓶与低压氦气管路连接。这样，就大幅减少了环境的氦污染。检漏仪的反应时间及清理时间，仪器的反应时间是质谱检漏仪的主要性能指标之一。

检漏仪的检漏原理：利用氦气是比氢气小的第二轻的惰性气体，氦气在自然状态下会向上垂直扩散，在被检测的管道中注入氦气。如果这些设备有漏点，那么我们就能通过监测仪器探测到有氦气在管道外部。这就是管道中氦气检漏的方法。对于一些高精尖的细小电子元件，氦气怎么检漏呢？将要检测的元件放入充满氦气的容器中并且加压。在压力的作用下，如果这些元件存在漏点，必然会有氦气通过 这些小孔进入到元件内部。使用压缩空气将元件表面的少量残留氦气吹扫干净之后，再利用质谱仪检测元件表面泄露的氦气。对于不同的目的，可以选择不同的检漏仪来完成漏检任务。气密性检漏设备品牌推荐

氦质谱检漏仪能适合各种检漏方法的要求，以满足各种各样的检漏应用。合肥台式检漏仪

购买氦质谱检漏仪需要注意哪些问题？在购买该产品的时候注意优化选择，尽量保证选择的氦质谱检漏仪如此：材质优良：不论是从氦质谱检漏仪在应用中能否够发挥出很好的性能来看，还是从其使用寿命方面来看，都是与其材质直接相关的，需要大家保证选择的氦质谱检漏仪有优良的材质，在这些方面取得的表现才会很好。性能较好：应用对氦质谱检漏仪的性能、寿命等方面都有较高的要求，需要大家保证选择的氦质谱检漏仪有较好的性能，不易在使用中轻易受到不良的影响，能够长期保持稳定的结构状态，才能够实现可靠的应用。合肥台式检漏仪

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