真空镀膜机基本技术要求如下:1、真空镀膜机中的真空管道、静态密封零部件(法兰、密封圈等)的结构形式,应符合GB/T6070的规定。2、在低真空和高真空管道上及真空镀膜室上应安装真空测量规管,分别测量各部位的真空度。当发现电场对测量造成干扰时,应在测量口处安装电场屏蔽装置。3、如果设备使用的主泵为扩散泵时,应在泵的进气口一侧装设有油蒸捕集阱。4、设备的镀膜室应设有观察窗,应设有挡板装置。观察窗应能观察到沉积源的情况以及其他关键部位。5、离子镀沉积源的设计应尽可能提高镀膜过程中的离化率,提高镀膜材料的利用率,合理匹配沉积源的功率,合理布置沉积源在真空室体的位置。6,福建薄膜蒸镀机、合理布置加热装置,一般加热器结构布局应使被镀工件温升均匀一致。7、工件架应与真空室体绝缘,工件架的设计应使工件膜层均匀。8,福建薄膜蒸镀机、离子镀膜设备一般应具有工件负偏压和离子轰击电源,离子轰击电源应具有抑制非正常放电装置,福建薄膜蒸镀机,维持稳定。利用真空镀膜机可以有效的改善电镀的污染状况。福建薄膜蒸镀机
真空镀膜机在塑料表面镀铝有哪些优点?真空镀膜机是塑料表面蒸发镀铝的专门的设备。成膜速度快,成膜性强,色泽鲜艳,不易污染。电镀设备可获得纯度高、膜厚均匀、致密、无废液和废水,可防止环境污染。是进行大规模生产的理想设备。真空镀膜机市场应用广,主要应用于汽车反光网、工艺品、首饰、鞋帽、挂钟、灯具、装饰等行业。主要由真空室、排气系统、蒸发系统和电气设备组成。真空制备的镀层能防止镀层材料和镀层零件的表面污染,消除空间碰撞,提高镀层的细度,制备出具有单一化合物特殊功能的镀层。为了提高涂层厚度的均匀性,采用行星机构或行星运动形式等旋转运动设备的真空室具有良好的涂膜均匀性、良好的涂层台阶覆盖性能、较大的承载能力,并能充分利用有用空间。这是一种常见的运动形式,排气系统通常由机械泵、分散泵、管路和阀门组成。苏州蒸镀机真空镀膜机的扩散泵连续使用6个月以上,需要进行保养。
真空镀膜机各部件的组成及其工作原理:一、真空主体——真空室根据加工产品的要求差异,大小也不一。目前应用较广的真空室有直径1.3M、0.9M、1.5M、1.8M等。燃烧室由不锈钢制成,不需要生锈、坚固等。真空室的所有部分都设有连接阀,用于连接各种泵。二、辅助抽气系统:排气系统是真空镀膜机的重要组成部分,主要由机械泵、增压泵(主要引入罗茨泵)和油扩散泵组成。排气系统由“扩散泵+机械泵+罗茨泵+低温冷阱+polycold”组成。机械泵首先将真空室抽入小于2.0*10-2pa的低真空状态,为扩散泵的后续真空抽吸提供了前提,然后在扩散泵的真空室抽吸时,机械泵与油扩散泵串联,完成抽吸作用。
真空镀膜机操作程序具体操作时请参照该设备说明书和设备上仪表盘指针显示及各旋钮下的标注说明。①检查真空镀膜机各操作控制开关是否在"关"位置。②打开总电源开关,设备送电。③低压阀拉出。开充气阀,听不到气流声后,启动升钟罩阀,钟罩升起。④安装固定钨螺旋加热子。把PVDF薄膜和铝盖板固定在转动圆盘上。把铝丝穿放在螺旋加热子内。清理钟罩内各部位,保证无任何杂质污物。⑤落下钟罩。⑥启动抽真空机械泵。⑦开复合真空计电源(复合真空计型号:Fzh-1A)。a.左旋钮“1”顺时针旋转至指向2区段的加热位置。b.低真空表“2”内指针顺时针移动,当指针移动至110mA时,左旋钮"1"旋转至指向2区段测量位置。⑧当低真空表“2”内指针再次顺时针移动至6.7Pa时,低压阀推入。这时左旋钮“1”旋转至指向1区段测量位置。⑨真空镀膜机开通冷却水,启动扩散泵,加热40min。⑩低压阀拉出。重复一次⑦动作程序:左下旋钮“1”转至指向2区段测量位置。低真空表“2”内指针顺时针移动,当指针移动至6.7Pa时,开高压阀(阀杆顺时针旋转)。⑪等低真空表“2”内指针右移动至0.1Pa时,开规管灯丝开关。真空镀膜机在真空密封的腔体内成膜,几乎无任何环境污染问题,有利于环保。
真空蒸镀使用的加热方式主要有:(1)电阻加热:电阻加热源是普遍使用的蒸发源,它结构简单、操作方便。典型的导电加热体材料有钨、钽、钼和碳等。导电加热体的电阻加热通常采用低电压(<10V)、大电流(几百安培)加热方式。可根据蒸发材料的性质以及蒸发源材料的浸润性加以选用。(2)电子束加热:电子束加热法的基本原理是基于由热阴极发射的电子在电场作用下,获得动能轰击到作为阳极的蒸发材料上,将其动能转化为加热材料的内能而使材料蒸发。由于聚集电子束的能量密度大,可使材料表面局部区域达到3000℃~4000℃的高温,适于蒸发高熔点金属、化合物材料和要求高蒸发速率的场合。(3)射频感应加热:感应加热是将射频电源的能量直接耦合到金属、石墨一类的导体上,其原理是利用高频电磁场在导体材料中感生的热量来直接加热导体本身。真空镀膜机每完成200个镀膜程序以上,应清洁工作室一次。蒸镀机系列-FS450价位
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真空镀膜机扩散泵维修与保养:1、扩散泵在长期工作后性能会逐渐变坏,应定期检查。如:泵油是否减少或氧化,按相应要求加油或更换处理;零件及泵腔先用航空汽油清洗,然后用清水进行擦洗,并置于80-100摄氏度温度下烘干或用电吹风吹干。处理完后,按顺序进行装配,保持泵芯与泵底垂直与泵腔同心,各级喷嘴间隙要按原要求调整好。2、待水分挥发干以后装好泵芯,加入新扩散泵油,并装回机体,接好水管,装好电炉盘,便可以重新开机。3、在重新开机前,要注意检漏工作。方法是:启动维护泵,关好真空室门,数分钟后,观察真空度是否6*10的0帕,否则要进行检漏,检查连接处是否漏装密封胶圈,或者压坏密封圈。排除漏气隐患后方可加热,否则扩散泵油会烧坏,无法进入工作状态。福建薄膜蒸镀机
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