平面对应型-旋风超高精密除尘模组设备目前已有应用的行业有，平面显示、功能膜片、医疗器械、医用包装、新能源等领域，在其行业头部企业及其产业链中的使用评价良好。光学膜除异物设备适用领域：印刷电路板：软性电路板，贵州电子级除异物设备、铜箔基板、聚亚醢胺薄膜、薄膜按键、陶瓷基板、底片与各种厚度的基板在暴光、印刷、贴、压合、钻孔、分条、裁切、检查等作业的板面清洁。光电显示器：TFT-LCD、STN、TN、液晶电视、触控面板，贵州电子级除异物设备、偏光片、背光模组、反射片，扩散片，导光板、光学压克力、玻璃基板等基材裁切、涂布、贴合、印刷，贵州电子级除异物设备、组装、检查等作业的板面清洁。精密网版印刷：PC、PP、PE、PET、PMMA、PVC、商标、雷射商标、贴纸、离型纸等裁切、涂布、贴布、贴膜、暴光、印刷等作业的板面清洁。除异物设备的性能对于提升产品良率至关重要。贵州电子级除异物设备

各种晶圆的制程工艺极其精密复杂，各大厂有不同的工艺管控能力。作为前后道主制程工艺的辅助清洁设备单元，旋风清洁/除尘/除异物系统，以非接触式、高效清洁、方便加装等优势，得到了晶圆厂及设备商的采用。在半导体产业链中，晶圆清洁是一个重要环节，它应用于对原料和半成品每一步可能存在的杂质进行清洁，以避免杂质影响产品的质量和下游产品的性能，晶圆除异物设备对于单晶硅的生产、光刻、刻蚀、沉积等关键工艺以及封装工艺中的使用都是不可缺少的。由于工艺技术和应用条件的不同，使得目前市场上的半导体晶圆除异物设备也存在明显的差异性。除异物设备清洁能力强，适于大批量生产，包括锯晶圆、晶圆磨薄、抛光、CVD等环节，尤其在晶圆抛光后的清洁中占有重要地位。贵州电子级除异物设备除异物设备能有效去除键合区的表面污染，活化表面，显著提高引线的键合张力。

旋风清洁/除尘/除异物系统目前在如下场景有应用：1)FAB设备中内置轻型旋风模组头，以辅助搬运机器人传递晶圆过程中的清洁。2)晶圆Grinding Disk Wheel的旋风清洁。3)晶圆切割后的异物去除。4)内存芯片激光器标记后残留异物的去除。5)芯片流转用托盘异物的去除。6)芯片贴片前后的去除异物。芯片制作需要在无尘室中进行，如果在制作进程中，有沾污现象，将影响芯片上器材的正常功用。据估计，80%的芯片电学失效都是由沾污带来的缺点引起的。沾污杂质是指半导体制作进程中引入的任何损害芯片成品率及电学功用的物质，沾污包含颗粒、有机物、金属和天然氧化层等。一般来说，工艺越精密关于控污的要求越高，并且难度越大，跟着半导体芯片工艺技能节点进入28纳米、14纳米等更先进等级，工艺流程的延长且越趋杂乱，产线成品率也会随之下降。形成这种现象的一个原因便是先进制程对杂质的敏感度更高，小尺度污染物的高效清洗更困难，解决的方法是使用除异物设备进行清洁。

卷对卷（薄膜、卷板)对应型-旋风超高精密除尘模组设备是指对以Roll To Roll工艺生产的卷板、薄膜、膜片等产品进行非接触式精密清洁。薄膜除异物设备包括固定架，固定架顶端水平设置有行走辊，行走辊上方固定架上设置有粘尘机构，粘尘机构包括支撑横梁，支撑横梁与行走辊平行设置，支撑横梁上设置有粘纸滚筒和粘辊，粘纸滚筒上套装有粘纸。粘纸滚筒的两端设置可上下调节转动装置，转动装置为上下调节的轴承座，粘纸滚筒的滚轴套装在可上下调节的轴承座上。轴承座通过滑块与滑轨机构的配合实现上下位移调节，支撑横梁两端设置竖向的滑轨，滑轨上套装有第1滑块，轴承座固定在第1滑块上，滑块顶部固定连接有驱动气缸。薄膜除异物设备结构新颖，实现薄膜表面异物及灰尘的去除，去除效率高，保证薄膜质量。晶圆除异物设备支持自动拾取和处理圆或方形晶圆/基板，尺寸范围可以覆盖到从75mm到300mm。

卷对卷（薄膜、卷板)对应型-旋风超高精密除尘模组设备是指对以Roll To Roll工艺生产的卷板、薄膜、膜片等产品进行非接触式精密清洁。薄膜是一种薄而软的透明薄片，用塑料、胶粘剂、橡胶或其他材料制成。薄膜科学上的解释为：由原子，分子或离子沉积在基片表面形成的二维材料。例：光学薄膜、复合薄膜、超导薄膜、聚酯薄膜、尼龙薄膜、塑料薄膜等等。薄膜被普遍用于电子电器，机械，印刷等行业。薄膜材料是指厚度介于单原子到几毫米间的薄金属或有机物层。电子半导体功能器件和光学镀膜是薄膜技术的主要应用；薄膜生产运行过程中经常放出时产生静电，由于材料较薄，容易吸附小的杂质，压合后造成产品质量问题，因此需要使用薄膜除异物设备。除异物设备去除元件上的有机物、氧化物、微小颗粒等，活化提升元件表明的附着力和粘接力。安徽精密模具除异物设备

光学膜除异物设备特点：采用双面双辊清洁技术、上下各2支粘尘胶辊，可迅速去除表面微尘与杂质。贵州电子级除异物设备

平面对应型-旋风超高精密除尘模组设备内部由旋风高璇转轴及特制气嘴组成，其排列组合以多年现场经验和所积累的气流模拟量算法布置排列，可针对用户的不同使用场景设定使用。除异物设备作为一种先进的清洁技术，具有绿色环保的特点。随着微电子技术的不断发展，除异物设备在半导体行业得到越来越普遍的应用。除异物设备具有工艺简单、操作方便、无废物处理和环境污染等优点。除异物设备常用于光刻胶去除过程，除异物设备具有操作方便、效率高、表面清洁、无划痕等优点，有利于保证产品质量。而且不使用酸、碱、有机溶剂，越来越受到人们的重视。半导体技术中常见的金属杂质囊括铁、铜、铝、铬、钨、钛、钠、钾、锂等。贵州电子级除异物设备

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