真空蒸镀，简称蒸镀，是指在真空条件下，采用一定的加热蒸发方式蒸发镀膜材料（或称膜料）并使之气化，粒子飞至基片表面凝聚成膜的工艺方法。蒸镀是使用较早、用途较广的气相沉积技术，具有成膜方法简单，杭州蒸镀机系列-FS600、薄膜纯度和致密性高、膜结构和性能独特等优点，杭州蒸镀机系列-FS600。蒸镀的物理过程包括：沉积材料蒸发或升华为气态粒子→气态粒子快速从蒸发源向基片表面输送→气态粒子附着在基片表面形核、长大成固体薄膜→薄膜原子重构或产生化学键合。将基片放入真空室内，以电阻，杭州蒸镀机系列-FS600、电子束、激光等方法加热膜料，使膜料蒸发或升华，气化为具有一定能量（0.1～0.3eV）的粒子（原子、分子或原子团）。气态粒子以基本无碰撞的直线运动飞速传送至基片，到达基片表面的粒子一部分被反射，另一部分吸附在基片上并发生表面扩散，沉积原子之间产生二维碰撞，形成簇团，有的可能在表面短时停留后又蒸发。粒子簇团不断地与扩散粒子相碰撞，或吸附单粒子，或放出单粒子。此过程反复进行，当聚集的粒子数超过某一临界值时就变为稳定的核，再继续吸附扩散粒子而逐步长大，然后通过相邻稳定核的接触、合并，形成连续薄膜。真空镀膜机操作人员必须严格按设备操作指导书和安全操作规程进行作业。杭州蒸镀机系列-FS600

为什么真空镀膜设备要配套冷水机？冷却配套冷水机的作用是维持真空镀膜设备的温度，使其工作到高精度、高效率控制温度的目的。以前在没冷水机的情况下，自然水和水塔散热都不可避免地受到自然气温的影响，而且此方式控制是不稳定的。因此，可以说冷水机是设备中很重要的配套冷却设备，因为冷水机直接关系到其工作效果的好坏。这个要从真空镀膜设备的工作原理查看：膜料在高温下蒸发落在工件表面结晶。由于空气对蒸发的膜料分子会产生阻力造成碰撞使结晶体变得粗糙无光，所以在高真空下才能使结晶体细密光亮，如果真空度不高结晶体就会失去光泽，结合力也很差。冷水机设有制冷系统和冷却水循环系统，水温在5℃～30℃范围内调节控制，可以到高精度、高效率控制温度的目的。其冷却原理是：制冷系统将水冷却，再由水泵将低温冷却水送入真空镀膜设备进行降温，冷水机冷冻水将热量带走后温度升高再回流到水箱，起到冷却的作用。国内蒸镀设备厂家供货真空镀膜机的结构焊缝不应与密封焊缝相交叉。

真空镀膜机的操作注意事项：1、真空镀膜机操作员要穿着整洁，袖口扣紧（佩戴袖套），上衣下摆不能敞开，不得穿拖鞋、高跟鞋；2、检查电路各控制开关能否正常断开闭合，电压指示380±20V；3、检查各螺钉处连接是否牢固，电控柜、主机的连接线有无松脱现象、接地是否良好；所有电器的开关在零或者“关”的位置上；4、检查镀膜机室内不锈钢挡板的插销是否牢固，角部有无弯曲翘曲等变形情况；5、检查水压、气压是否正常；水、油、气是否有漏滴现象；6、设备中途停水时，应立即关闭扩散泵、粗抽泵、罗茨泵，让维持泵继续运行；7、设备中途停气时，应立即关闭扩散泵、粗抽泵、罗茨泵，让维持泵继续运行。

真空镀膜设备应用很广，如今在我们的生活中到处可见，是很重要的一个设备。但是设备在使用一段时间后，表面就会留下灰尘影响真空镀膜的整体效果。那么如何减少灰尘的出现呢？1、真空镀膜设备使用的源材料要符合纯度要求。2、设备样品取出后要注意放置环境的清洁问题。3、真空镀膜一段时间后，真空室内壁要清洁处理。4、真空镀膜清洗衬底材料，要做到严格合乎工艺要求。5、真空镀膜适当的增加环境的湿度，利于减少周围环境的悬浮固体颗粒物。6、工作人员在操作时需要戴手套、脚套等，要穿戴服装。真空镀膜机使用的主要是塑料件，如ABS塑料电镀设备。

真空镀膜机基本技术要求如下：1、真空镀膜机中的真空管道、静态密封零部件（法兰、密封圈等）的结构形式，应符合GB/T6070的规定。2、在低真空和高真空管道上及真空镀膜室上应安装真空测量规管，分别测量各部位的真空度。当发现电场对测量造成干扰时，应在测量口处安装电场屏蔽装置。3、如果设备使用的主泵为扩散泵时，应在泵的进气口一侧装设有油蒸捕集阱。4、设备的镀膜室应设有观察窗，应设有挡板装置。观察窗应能观察到沉积源的情况以及其他关键部位。5、离子镀沉积源的设计应尽可能提高镀膜过程中的离化率，提高镀膜材料的利用率，合理匹配沉积源的功率，合理布置沉积源在真空室体的位置。6、合理布置加热装置，一般加热器结构布局应使被镀工件温升均匀一致。7、工件架应与真空室体绝缘，工件架的设计应使工件膜层均匀。8、离子镀膜设备一般应具有工件负偏压和离子轰击电源，离子轰击电源应具有抑制非正常放电装置，维持稳定。真空镀膜机本身是一个复杂的系统，包括真空、自动化、机械等多个系统。国内蒸镀设备厂家供货

利用真空镀膜机可以有效的改善电镀的污染状况。杭州蒸镀机系列-FS600

真空镀膜机的使用范围：1．建筑五金：卫浴五金（如水龙头）．门锁．门拉手．卫浴、五金合叶、家具等。2．制表业：可用于表壳．表带的镀膜、水晶制品。3．其它小五金：皮革五金．不锈钢餐具．眼镜框、刀具、模具等．4．大型工件：汽车轮毂、不锈钢板．招牌．雕塑等。5、不锈钢管和板（各种类型表面）6、家具、灯具、宾馆用具。7、锁具、拉手、卫浴五金、高尔夫球头、不锈钢餐具、器皿等五金制品镀超硬装饰膜。8、手表、表带、眼镜、首饰等装饰品镀超耐磨装饰（金银）纳米膜和纳米膜和纳米叠层膜。杭州蒸镀机系列-FS600

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