氦质谱检漏仪的校准方法：1、标准漏孔校准氦质谱检漏仪方法，采用标准漏孔对氦质谱检漏仪进行校准，将一系列经过校准的不同量级标准漏孔分别接入氦质谱检漏仪系统，实验室温度保持在23±1℃，可以读出一组标准漏孔漏率的检漏仪示值，从而得到标准漏孔漏率值与检漏仪示值的关系曲线，并通过对这条曲线进行数学拟合，得到氦质谱检漏仪全量程测量范围示值与漏率值之间的拟合公式。2、校准仪器的选择，为了满足氦质谱检漏仪现场校准，便于携带，真空标准漏孔选用薄膜渗氦型标准漏孔。薄膜渗氦型标准漏孔具有对污染不敏感；漏率可以做得很小；重复性、稳定性等计量特性好；对温度变化敏感，使用需要对漏率温度修正等特点。氦质谱检漏仪由离子源，无锡客制化检漏仪特点，无锡客制化检漏仪特点、分析仪，无锡客制化检漏仪特点、收集器、冷阴极电离计、气体萃取系统和电气部分组成。无锡客制化检漏仪特点

氦质谱检漏仪检漏标准：1）真空法氦质谱检漏。真空法氦质谱检漏标准主要有QJ3123-2000《氦质谱真空检漏方法》、GB/T15823-2009《氦泄漏检验》，主要应用于真空密封性能要求，但不带压工作的产品，如空间活动部件、液氢槽车、环境模拟设备等。2）正压法氦质谱检漏。正压法氦质谱检漏标准主要有QJ3089-1999《氦质谱正压检漏方法》、QJ2862-1996《压力容器焊缝氦质谱盒检漏试验方法》，主要应用于大容积高压密闭容器产品的检漏，如高压氦气瓶、舱门检漏仪等。合肥密封检漏仪一般来说氦质谱检漏仪的平均寿命在2-5年。

检漏仪常规氦检漏的基本要求：在使用前需要采用标准氦校准漏孔进行校准，该标准漏孔必须经过计量校准过的，它与温度和使用年限有关。如LK-8标准校准漏孔的漏率为1.65X10-8 Pa M3/s；在正式检漏前，工件内部要用氦气将工件内部的空气排出，保证一定的氦气浓度，并保持氦气压力必须高于标准大气压(0.1MPa)以上, 且持续保压至少30min以上。检测时，工件周围防止通风，且不能降低氦气的检测灵敏度。注意周边的环境必须保持没有额外的氦气存在。检测时要注意安全防止氦气引起的窒息。检测中要使吸口嘴必须保持与检测位置的距离不超过3mm，为了便于检测可以在吸口嘴外套个塑料盖确保在泄漏点出来的氦气不会立刻散开，提高检测灵敏度。漏率可以直接从仪器上读取，可以设置漏率超标时报警；该方法属于半定量方法，一般要求漏率小于1 X 10-6 Pa M3/s为合格。

检漏仪真空度不能提高的几个潜在原因：检漏仪的真空度抽不上去，首先确定是不是真的真空抽不上去，因为也有可能是真空计指示不对。真空计故障，如冷规的阳极和阴极短路，就会造成真空抽不上去的假象。这种情况，只要更换一个新的真空计，即可使检漏仪恢复正常工作。检漏仪的真空系统某部分出现了漏气。检漏仪自身产生漏气的情况大多是由于仪器在进行大拆卸情况下重新安装后，某个连接处没有拧紧而产生。如果是这种情况，较好是用分段查找的办法，将整个真空系统分隔成几段，一段一段地查找。先查机械真空泵有没有问题，再查机械泵到扩散泵或分子泵之间，较后再查扩散泵（或分子泵）以上部分。如果漏隙小，仪器还能基本工作的话，可以用仪器自身检查自身。质谱室是检漏仪的重点部分，它包括离子源、聚焦、质量分析器和测量部分。

检漏仪的检漏原理：利用氦气是比氢气小的第二轻的惰性气体，氦气在自然状态下会向上垂直扩散，在被检测的管道中注入氦气。如果这些设备有漏点，那么我们就能通过监测仪器探测到有氦气在管道外部。这就是管道中氦气检漏的方法。对于一些高精尖的细小电子元件，氦气怎么检漏呢？将要检测的元件放入充满氦气的容器中并且加压。在压力的作用下，如果这些元件存在漏点，必然会有氦气通过 这些小孔进入到元件内部。使用压缩空气将元件表面的少量残留氦气吹扫干净之后，再利用质谱仪检测元件表面泄露的氦气。氦质谱检漏仪能适合各种检漏方法的要求，以满足各种各样的检漏应用。台式检漏设备原理

小型便捷的检漏仪能够为企业工件设备提供小巧方便的检测。无锡客制化检漏仪特点

检漏仪的本底漏率值是什么？底值是指由所处环境所形成的较稳定的辐射水平或声量，由于氦气在空气中的体积含量约为5ppm，5.24×10-6，也就是百万分之五左右，这说明正常空气环境中氦气的含量很小，即氦本底很好。这也是用氦气作为示踪气体的重要原因之一。只有在空气中含量尽可能少的气体，才能满足检漏灵敏度方面的要求。在材料出气中也很少，因此本底压力小，输出的本底电流也小. 正因为本底小，由某些原因引起本底的波动，亦即本底噪声也就小，因此微小漏率也就能反应出来。本地高一般都是泄漏的原因，建议检查阀有没有内漏，试试增加清扫气体的压力，但是也不能过高，因为会影响抽空效率。另外检漏时切勿将大量的氦气通进仪器，避免本底太大，难以清理。无锡客制化检漏仪特点

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