检漏仪的基本原理与结构：检漏仪一般由质谱管，真空系统和电子系统组成。其中质谱管包括离子源，质量分析器和离子检测器; 真空系统一般由分子泵、机械泵、电磁阀和真空计组成。离子源的作用是将原子电离成带电离子并聚焦成束，以一定能量注入分析器，目前常用的电子轰击型离子源有尼尔型和震荡型两种形式。分析器的作用起将各类离子按其质荷比的不同实现分离。离子检测器的作用是手机质量分析器所选定的氦离子流并加以放大，再通过比对运算，得出泄漏率，真空系统的作用是获取质谱过程所需的真空，同时完成被检件的抽空和氦气的引入。真空系统一般由分子泵，常州台式检漏仪原理、机械泵、电磁阀和真空计组成组成。按照真空系统的不同结构，检漏仪分为常规系统和逆扩散两种。常规系统多用于早期的检漏仪，该种检漏仪的被检件与高真空部分直接相通，由被检件泄入的氮气首先到达质谱管被检到，因而具有较高的灵敏度，但是会对质谱管有污染。逆扩散系统检漏仪与常规系统相比，常州台式检漏仪原理，被检件只与低真空相通，因此只需将被检工件抽至低真空就能进行检漏，常州台式检漏仪原理，氦气是逆扩散到质谱管，不会对系统有污染，因此被普遍采用，已成为市场的主流产品。检漏仪应在无风条件下使用。常州台式检漏仪原理

检漏仪可以用于镀膜设备的检漏。镀膜设备氨质谱检漏，1.将氨质检漏仪启动完成，再将检漏仪内部的检漏方式，设置为“停止不放气”。2.按‘停止’键，使检漏仪处在“待机”状态。3.将检漏仪检漏口和真空炉或镀膜机通过波纹管连接，可在波纹管一端加高真空手动挡板阀。4.开启真空炉或镀膜机的本身抽空系统，再打开连接检漏仪的高真空手动挡板阀。待真空炉或镀膜机内的真空度抽到200Pa以下，真空度相对稳定后。5.按下检漏仪的‘开始’键，让检漏仪进入检漏状态。6.待检漏仪显示的漏率值相对稳定后，就可以对真空炉或镀膜机的可疑漏点进行喷氨检漏。7.检漏结束后，先关闭高真空手动挡板阀，再按下检漏仪的‘停止’键，让检漏仪处在“待机”状态。8.较后关闭真空炉或镀膜机的抽空系统。9.拆除检漏仪与真空炉或镀膜机连接的波纹管。关闭检漏仪电源。南通模块式检漏机检漏仪在使用前需要采用标准氦校准漏孔进行校准，该标准漏孔必须经过计量校准过的。

氦质谱检漏仪对示漏气体的要求及选择一般应从以下几方面考虑：(1)无害，不能对人体或环境造成伤害；(2)质量轻，惰性气体，穿透能力强，能穿透微小细缝；(3)化学性质稳定，不会引起化学反应和易燃易爆；(4)在空气环境中含量尽可能少且组分基本恒定的气体，满足检漏灵敏度方面的要求，减少本底干扰检测的准确性。氦质谱检漏仪的检漏方式通常有两种，一种为常规检漏，另一种为逆扩散检漏。逆扩散检漏是把被检件接在分子泵出气口一端，漏入的氦气由分子泵出气口逆着泵的排气方向进入安装在泵的进气口端的质谱管内而被检测。

氦质谱检漏仪的检漏地点如果不固定，需要经常搬运氦质谱检漏仪时，就要选择小型便携式仪器。在满足上述检漏基本要求的基础上，还要综合考虑氦质谱检漏仪的价格是否低、操作是否简易、维修是否方便等方面的问题。可采用主机与前级泵单独采买，前级泵可使用油封式旋片泵或涡卷式干泵，对于便携式氦质谱检漏仪，既可选择带有连接配件的主机形式，也可选择安装在两轮小车上的整体形式。在坚固耐用方面的革新设计，使得全自动氦质谱检漏仪能适应各种恶劣的工业环境。适用于大漏率、真空卫生较差的真空系统的检漏。使用氦质谱检漏仪常用的方法大体可分为三种，即喷氦法（负压法），正压法，氦罩法。

正确使用氦气检漏仪：如果气密检漏仪在运行过程中没有在高压下进行泄漏测试，那么氦气检漏设备就不能检测到一些泄漏孔。因此，在检漏过程中使用较高的测试压力可以有效地检测实际操作中没有出现的泄漏孔。检漏试验中的可检测泄漏率与检漏气体的背景浓度有很大关系，背景浓度越高，波动越大。如果泄漏测试后泄漏检测气体排放到泄漏检测区域，背景浓度将在整个工作日持续增加。此外，在加注或排放过程中，确保没有气体溢出，并定期检查连接件是否有泄漏。如果检漏气体泄漏氦和氢，它将像气球一样飞到检漏区的室顶，并逐渐漂浮在整个检漏区。因此，应该为泄漏测试区域提供足够的通风。由于两种泄漏检测气体都倾向于向上移动，因此建议从底部输入新鲜空气，从顶部向外排放气体。在坚固耐用方面的革新设计，使得全自动氦质谱检漏仪能适应各种恶劣的工业环境。常州台式检漏仪原理

检漏仪在高压容器空调制冷设备制造等领域，必须模拟具体工作条件进行检漏。常州台式检漏仪原理

检漏仪分子泵故障及处理：1、仪器界面上TMP显示“0”即分子泵没有工作，有可能是前级压力过高(该分子泵的启动压力为200Pa)导致分子泵无法启动。检查导致压力过高的项目有：真空规管是否有问题，分子泵出口是否打开，机械泵油是否太脏或机械泵是否转动，系统是否有泄漏。也有可能是分子泵的叶片或转子被损害，可自行用工具拨动叶片，判断其能否转动。2、分子泵加速指示灯不亮，电路板上的保险丝烧断，更换保险丝或检查是否有短路现象。3、分子泵故障灯亮，检查电路板设置开关是否处于R位置，此时应该在N位置。检查风扇是否停止，如风扇正常，则可能为检漏仪分子泵电源故障。常州台式检漏仪原理

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