真空镀膜机在镀膜的时候,太阳能电池蒸镀机生产厂家,需要镀层表面的化学成分保持均匀性,这主要体现在以下三个方面:1、厚度上的均匀性,太阳能电池蒸镀机生产厂家,太阳能电池蒸镀机生产厂家,也可以理解为粗糙度,在光学薄膜的尺度上看也就是1/10波长作为单位,约为100A,真空镀膜的均匀性已经相当好,可以轻松将粗糙度控制在可见光波长的1/10范围内,也就是说对于薄膜的光学特性来说,真空镀膜没有任何障碍。但是如果是指原子层尺度上的均匀度,也就是说要实现10A甚至1A的表面平整,具体控制因素下面会根据不同镀膜给出详细解释。2、化学组分上的均匀性:就是说在薄膜中,化合物的原子组分会由于尺度过小而很容易的产生不均匀特性,SiTiO3薄膜,如果镀膜过程不科学,那么实际表面的组分并不是SiTiO3,而可能是其他的比例,镀的膜并非是想要的膜的化学成分,这也是真空镀膜的技术含量所在。3、晶格有序度的均匀性:这决定了薄膜是单晶,多晶,非晶,是真空镀膜技术中的热点问题。真空镀膜机进行真空镀膜一段时间后,真空室内壁要清洁处理。太阳能电池蒸镀机生产厂家
蒸镀机的操作步骤:1.将要蒸发的基底材料洗干净放在蒸发头下面的基板上。2.将要蒸发的金属用镊子团成球形放入钨篮中。3.将蒸发头装在仪器盖上,插好电线,打开仪器电源开关。将氮气钢瓶的开关旋开,使流量控制在0.035Mpa左右。4.按“ENTER”按钮设置仪器参数。如果选择“SinglePulse”模式,其余参数不需要设置,值设置除气时间,在0~60秒内调节。5.然后按“START”键仪器开始抽真空。6.等仪器进入泵保持状态,真空度达到9×10-5mbar是,可进行下一步操作。由于铝比较容易氧化,蒸铝时至少要在泵保持进行30分钟之后才能进行下一步操作。7.按“START”键。8.按“△”键仪器开始除气。主要除去要蒸发的金属材料表面的一些污垢等。操作时要小心的向右旋下面的黑色按钮,当“Current”显示为8是就要通知旋动,稍等片刻钨篮就会发红,开始除气。除气持续10秒左右然后就将旋钮向左旋到底。9.然后按“▽”键仪器进入蒸发状态。10.蒸镀完毕后,按“STOP”键,停止抽真空,然后打开盖子取出样品,关闭主机电源盒气源。太阳能电池蒸镀机生产厂家真空蒸镀工艺一般包括基片表面清洁、镀膜前的准备、蒸镀、取件、镀后处理、检测、成品等步骤。
真空镀膜设备维修保养又有什么技巧呢?1、当粗抽泵(滑阀泵,旋片泵)连续工作一个月(雨季减半),需更换新油。方法是:拧开放油螺栓,放掉旧油,再将泵启动数秒,使泵内的旧油完全排放出来。拧回放油螺栓,加入新油至额定量(油视镜观察)。连续使用半年以上,换油时应将油盖打开,用布擦干净箱内污垢。2、扩散泵连续使用6个月以上,抽速明显变慢,或操作失当,充入大气,拆去联结水管,卸下电炉盘,将一级喷嘴拧出,先用汽油将泵腔及泵胆清洗一遍,再用洗衣粉兑水清洗一遍,然后用清水彻底清洗干净,待水份挥发干以后,装好泵胆,加入新扩散泵油,并装回机体,接好水管,装好电炉盘,便可以重新开机。
真空镀膜机运用镀膜资料镀膜之前,对镀膜资料做简略的外表清洁能延伸镀膜机运用寿命,由于各种污染物不仅使真空体系不能获得所要求的真空度,还会影响真空部件衔接处的强度和密封性能。真空镀膜机常见的污染物有:1、油脂包含加工、装配、操作的时候沾染上的润滑剂、切削液、真空油脂等;2、操作时候的手汗,吹气的时候的水汽和唾液等等;酸、碱、盐类物质清洗时的剩余物质、手汗、水中的矿物质等;还有抛光残渣及环境空气中的尘埃和其它有机物。清洁这些污染物的意图是为了改善真空镀膜机工作稳定性,使工作能够更顺利的进行。真空镀膜机在真空密封的腔体内成膜,几乎无任何环境污染问题,有利于环保。
真空镀膜机有哪些类型及其原理?常见的真空镀膜设备按其工作原理可分为蒸发绕线镀膜、磁控溅射绕线镀膜和组合绕线镀膜。蒸发式卷绕膜涂覆设备根据蒸发过程可分为连续、半连续和间歇三种,因设备结构的不同也可分为:单室、双室和多室卷绕膜涂覆设备。主要用于塑料、布、纸、钢带等带材表面的真空蒸发膜,作为食品金属化包装材料、反光材料、保温材料、表面装饰材料、电气材料及各种标志、标签、商标等装饰材料。应用于包装、装饰、印刷、纺织、食品、防伪、卷烟、电子行业等领域。磁控溅射绕线镀膜机工作原理及特点:采用磁控溅射(直流、中频、射频)方法在柔性基板上沉积各种金属、合金、化合物、陶瓷等材料,单层或多层镀膜。适用于柔性衬底上各种镀介质膜系统(二氧化硅、氮化硅、氧化铝、SnO2,氧化锌,Ta2O5,等等),导电薄膜(ITO,偶氮),基于“增大化现实”技术的电影,减少人力资源高反膜、低辐射低辐射膜、合金薄膜和金属薄膜(铝、铬、铜、铁、镍、SUS不锈钢、钛铝合金,等)主要用于:柔性线路板、ITO透明导电膜、薄膜电容、汽车/火车/船舶薄膜、薄膜太阳能电池、柔性太阳能电池FPD平板显示、柔性显示装置等。真空镀膜机中途停电时,应立即关总电源,后关扩散泵、粗抽泵、维持泵。吉林蒸镀机原理
检查真空镀膜机电路各控制开关能否正常断开闭合,电压指示380±20V。太阳能电池蒸镀机生产厂家
如何处理真空镀膜机返油?1.启动电源主开关,这里需要注意的是电压和气压是否正常,另外冷却循环水势否大于1.5KG/cm2,这里需要先开冷却开关和水泵开关。2.启动扩散泵按钮时电流是否正常,以及扩散泵的下面是否有杂物,要是发现杂物要立即进行清理,正常情况下要预热一个半钟头才能进行抽真空。3.启动维持泵按钮,需要注意油和油位是否干净,皮带松紧是否合适。要是油位低于正常水平要及时进行加油。4.主泵按钮启动,在操作的时候要注意主泵有无异响和异味,油和油位是否干净,另外还需要检查马达皮带松紧是否合适,检测皮带松紧的标准是使用手压皮带下沉10—15毫米为准。5.关闭设备门进行抽真空,在进行这步操作的时候要注意粗转精抽切换是否正常,换向阀运行是否正常,以及各项参数、性能有无异常。需要做好记录,以备日后检修参考。6.充气,时间不可进行过长,正常情况下小于两分钟,同时需要注意开门和关门的时间,做好记录,一遍下回检修的时候进行参考。太阳能电池蒸镀机生产厂家
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