真空镀膜技术是在真空条件下采用物理或者化学方法,使物体表面获取所需膜体,真空镀膜技术根据其采用方法的不同各分成蒸发镀、溅射镀、离子镀,真空蒸镀设备生产公司、束流沉积以及分子束外延等,这次分析的镀膜设备采用的是磁控溅射镀膜。真空室是真空镀膜机的主要部件之一。镀膜机真空室均配有各种元件,能够满足各种类型的真空镀膜的工艺要求。就像蒸发镀膜机真空室内置蒸发金属的装置的话,真空蒸镀设备生产公司,便能完成金属薄膜的蒸镀工艺。尽管镀膜机真空室的可能适配的工艺不同,但基本上它的组成离不开气缸、封头、法兰、管道,真空蒸镀设备生产公司、门、水冷等结构。真空室是真空设备的一个主要组成部位,真空镀膜设备真空室设计主要考虑的就是密封性和可靠性,结构须要合理,真空设备的材料生产都是在真空室内进行的。真空镀膜设备使用的源材料要符合纯度要求。真空蒸镀设备生产公司
真空镀膜机的操作注意事项:1、真空镀膜机操作员要穿着整洁,袖口扣紧(佩戴袖套),上衣下摆不能敞开,不得穿拖鞋、高跟鞋;2、检查电路各控制开关能否正常断开闭合,电压指示380±20V;3、检查各螺钉处连接是否牢固,电控柜、主机的连接线有无松脱现象、接地是否良好;所有电器的开关在零或者“关”的位置上;4、检查镀膜机室内不锈钢挡板的插销是否牢固,角部有无弯曲翘曲等变形情况;5、检查水压、气压是否正常;水、油、气是否有漏滴现象;6、设备中途停水时,应立即关闭扩散泵、粗抽泵、罗茨泵,让维持泵继续运行;7、设备中途停气时,应立即关闭扩散泵、粗抽泵、罗茨泵,让维持泵继续运行。福建蒸镀机工作原理真空镀膜机每完结200个镀膜程序以上,应清洁作业室一次。
真空镀膜机的真空室该如何设计?(一)焊接要求,根据需要,在该设备真空室的结构设计上也有所差别,常见有圆柱形、圆锥形、盒形等结构。对于我们的镀膜机真空室的焊接技术上,要求有基本五点:为了防止镀膜机的外壳变形,真空室的非气密焊接一般用间断焊。焊缝的总长度尽量短些,高度要大于真空室壳体的三分之一厚度,才能避免一些漏气的可能。焊缝要便于做真空检漏工作,尽量别在焊缝上开孔。焊缝与焊缝间别存在交叉,两缝的中心线位置间应大于10cm的距离。(二)主体材料,镀膜机真空室通常以金属轧制板材作为主要材料制作,作为真空室的主体材料要求可焊性、气密性要求比较高。对于一般的镀膜机真空室使用的主体材料通常是低碳钢、合金钢、铝和铜之类的金属或合金。而不锈钢则一般用于需要高真空、耐腐蚀的工艺的型号中。(三)封头类型,作为镀膜机真空室的一个重要零件——封头,可与筒体焊接组成一个整体。真空镀膜设备的封头形式有球形、锥形、凸形、平盖形等封头类型。
真空镀膜机扩散泵维修与保养:扩散泵是真空镀膜机的主要部件,为机器能运作在良好状态,平时对真空镀膜机扩散泵的维护和保养非常重要。1、扩散泵工作过程中冷却水必须保证畅通,停止加热后必须保证泵工作液已完全冷却后方可关闭冷却水。2、扩散泵停止工作时,泵内应保持真空状态,以免泵油劣化。3、被抽气体应是干燥、无腐蚀、无灰尘的气体。4、扩散泵如暂时不用,保管期间应该保持真空状态,以免泵油污染和各零件腐蚀并将冷却水套入的剩水吹净。保持场地的室温应在10-40摄氏度之间。真空镀膜机是在真空室中利用电阻加热法。
真空镀膜机基本技术要求如下:1、真空镀膜机中的真空管道、静态密封零部件(法兰、密封圈等)的结构形式,应符合GB/T6070的规定。2、在低真空和高真空管道上及真空镀膜室上应安装真空测量规管,分别测量各部位的真空度。当发现电场对测量造成干扰时,应在测量口处安装电场屏蔽装置。3、如果设备使用的主泵为扩散泵时,应在泵的进气口一侧装设有油蒸捕集阱。4、设备的镀膜室应设有观察窗,应设有挡板装置。观察窗应能观察到沉积源的情况以及其他关键部位。5、离子镀沉积源的设计应尽可能提高镀膜过程中的离化率,提高镀膜材料的利用率,合理匹配沉积源的功率,合理布置沉积源在真空室体的位置。6、合理布置加热装置,一般加热器结构布局应使被镀工件温升均匀一致。7、工件架应与真空室体绝缘,工件架的设计应使工件膜层均匀。8、离子镀膜设备一般应具有工件负偏压和离子轰击电源,离子轰击电源应具有抑制非正常放电装置,维持稳定。真空镀膜机的观察窗应能观察到沉积源的情况以及其他关键部位。真空蒸镀设备生产公司
真空镀膜技术代替传统的电镀工艺可以消除湿法镀膜中所产生的环境污染。真空蒸镀设备生产公司
真空镀膜机镀塑料时抽真空时间过长主要原因就是:1、真空室有漏气现象:大家都知道,多弧离子镀膜机是的基本条件是工件在真空状态下才能进行镀膜加工的,若真空室有漏气现象而没有经过检漏找出漏气位置,则真空镀很长时间都不能抽得上来的;2、即使真空室没有漏气,因为塑料产品的放气量大,所以抽真空,溅控溅射镀膜机特别是高真空很难达到。而且由于塑料产品的放气,造成真空室内镀膜气体的不纯,有杂气的存在,造成镀膜产品的颜色发暗,发黄,发黑等。真空蒸镀设备生产公司
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