真空镀膜是必须保持在真空环境下进行的才行。因此真空镀膜机若有灰尘，将会影响真空镀膜的效果和质量。但是，需要镀膜材料表面是没办法保证是完全无灰尘的，因此，为了尽量减小材料表面灰尘的前提下，真空镀膜机镀膜的时候必须要注意以下几点才行，真空镀膜机厂家直供。（1）真空镀膜设备使用一段时间后，真空镀膜机厂家直供，必须要对设备进行清洁维护；（2）规范操作人员及操作要求，包括穿戴专业的服装、手套、脚套等；（3）严格处理衬底材料，真空镀膜机厂家直供，做到清洁干净，合乎工艺要求；（4）源材料符合必要的纯度要求；（5）保证设施设备及操作环境清洁。如材料、样品放置地环境要求，环境温度湿度要求等；（6）降低真空镀膜设备室内空气流动性低、尽量减小室外灰尘侵入。真空镀膜机中途停电时，应立即关总电源，后关扩散泵、粗抽泵、维持泵。真空镀膜机厂家直供

真空镀膜技术是在真空条件下采用物理或者化学方法，使物体表面获取所需膜体，真空镀膜技术根据其采用方法的不同各分成蒸发镀、溅射镀、离子镀、束流沉积以及分子束外延等，这次分析的镀膜设备采用的是磁控溅射镀膜。真空室是真空镀膜机的主要部件之一。镀膜机真空室均配有各种元件，能够满足各种类型的真空镀膜的工艺要求。就像蒸发镀膜机真空室内置蒸发金属的装置的话，便能完成金属薄膜的蒸镀工艺。尽管镀膜机真空室的可能适配的工艺不同，但基本上它的组成离不开气缸、封头、法兰、管道、门、水冷等结构。真空室是真空设备的一个主要组成部位，真空镀膜设备真空室设计主要考虑的就是密封性和可靠性，结构须要合理，真空设备的材料生产都是在真空室内进行的。浙江蒸镀机系列-FS-G2.5真空镀膜机对环境的要求一般包括真空设备对实验室（或车间）温度、空气和其他周围环境中颗粒物的要求。

真空镀膜技术代替传统的电镀工艺，不但能节省大量的膜材和降低能耗，而且还会消除湿法镀膜中所产生的环境污染。因此国外在钢铁零件涂镀防腐层和保护膜方面，已采用真空镀膜工艺来代替电镀工艺。在冶金工业中，为钢铁和带钢加镀铝防护层已很普遍；在机械制造业中，真空镀膜机用于改变改变某些加工工艺和节约贵重的原材料，如飞机涡轮发动机的叶片已经不用价格昂贵的耐高温金属制造，而是采用价格低廉易加工材料，成形后再用真空镀膜的方法在叶片表面上加镀耐高温，耐腐蚀的防护层。再如汽车制造业中采用塑料制品金属化零件代替各种金属零件，既减轻了汽车的重量又节约了燃油的消耗。在金属切削刀具上加镀TiN硬膜可使用刀具寿命提高3～6倍，从而节省了大量的高速钢材。塑料薄膜采用真空镀膜的方法加镀铝等金属膜，再进行染色，可得到用于工业中的装饰品薄膜。

真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，真空镀膜有很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种。应用较多的是蒸发和溅射两种。蒸发镀膜和磁探溅射镀膜的特点如下：一、对于蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来，并且沉降在基片表面，通过成膜过程（散点－岛状结构-迷走结构-层状生长）形成薄膜。1、厚度均匀性主要取决于：A.基片材料与靶材的晶格匹配程度；B.基片表面温度；C.蒸发功率、速率；D.真空度；E.镀膜时间、厚度大小。2、组分均匀性：蒸发镀膜组分均匀性不是很容易保证，具体可以调控的因素同上，但是由于原理所限，对于非单一组分镀膜，蒸发镀膜的组分均匀性不好。真空镀膜机的镀膜室应设有观察窗，应设有挡板装置。

真空镀膜机扩散泵维修与保养：扩散泵是真空镀膜机的主要部件，为机器能运作在良好状态，平时对真空镀膜机扩散泵的维护和保养非常重要。1、扩散泵工作过程中冷却水必须保证畅通，停止加热后必须保证泵工作液已完全冷却后方可关闭冷却水。2、扩散泵停止工作时，泵内应保持真空状态，以免泵油劣化。3、被抽气体应是干燥、无腐蚀、无灰尘的气体。4、扩散泵如暂时不用，保管期间应该保持真空状态，以免泵油污染和各零件腐蚀并将冷却水套入的剩水吹净。保持场地的室温应在10-40摄氏度之间。真空蒸镀装置由真空抽气系统和蒸发室组成。陕西真空镀膜机

真空镀膜机的观察窗应能观察到沉积源的情况以及其他关键部位。真空镀膜机厂家直供

真空蒸镀使用的加热方式主要有：(1)电弧加热：电弧蒸镀利用高真空中两导电材料制成的电极之间形成电弧放电产生的高温，使电极材料蒸发而在基体上凝聚成膜。(2)激光加热：脉冲激光加热表面可实现材料的瞬时蒸发，脉冲激光作为一种新的加热源，其特点之一是能量在时间和空间上高度集中，与常规的热蒸发有明显区别。带有离子轰击装置的激光蒸发，已用于若干材料的低温沉积，其中包括高质量的高温超导氧化物薄膜。激光蒸发可用于透明材料上薄膜的蒸发，从透明材料的背面照射待蒸发薄膜，把基体面向待蒸发薄膜放置，通过控制蒸发区域，则在基体上可沉积出带花纹的薄膜。真空镀膜机厂家直供

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